പവർ അർദ്ധചാലക വേഫർ കട്ടിംഗിനായി നിരവധി തരം പ്രക്രിയകൾ

വേഫർപവർ അർദ്ധചാലക ഉൽപാദനത്തിലെ പ്രധാന കണ്ണികളിലൊന്നാണ് കട്ടിംഗ്. അർദ്ധചാലക വേഫറുകളിൽ നിന്ന് വ്യക്തിഗത ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളോ ചിപ്പുകളോ കൃത്യമായി വേർതിരിക്കുന്നതിനാണ് ഈ ഘട്ടം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്.

താക്കോൽവേഫർഅതിലോലമായ ഘടനകളും സർക്യൂട്ടുകളും ഉൾച്ചേർത്തിരിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കിക്കൊണ്ട് വ്യക്തിഗത ചിപ്പുകൾ വേർതിരിക്കാനാണ് കട്ടിംഗ്.വേഫർകേടുപാടുകൾ സംഭവിച്ചിട്ടില്ല. കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ വിജയമോ പരാജയമോ ചിപ്പിൻ്റെ വേർതിരിക്കൽ ഗുണനിലവാരത്തെയും വിളവിനെയും ബാധിക്കുക മാത്രമല്ല, മുഴുവൻ ഉൽപാദന പ്രക്രിയയുടെയും കാര്യക്ഷമതയുമായി നേരിട്ട് ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു.

▲മൂന്നു തരം വേഫർ കട്ടിംഗ് | ഉറവിടം: KLA ചൈന
നിലവിൽ, സാധാരണവേഫർകട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളെ തിരിച്ചിരിക്കുന്നു:
ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ്: കുറഞ്ഞ ചെലവ്, സാധാരണയായി കട്ടിയുള്ളതിന് ഉപയോഗിക്കുന്നുവേഫറുകൾ
ലേസർ കട്ടിംഗ്: ഉയർന്ന വില, സാധാരണയായി 30μm-ൽ കൂടുതൽ കട്ടിയുള്ള വേഫറുകൾക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു
പ്ലാസ്മ കട്ടിംഗ്: ഉയർന്ന വില, കൂടുതൽ നിയന്ത്രണങ്ങൾ, സാധാരണയായി 30μm-ൽ താഴെ കനം ഉള്ള വേഫറുകൾക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു

മെക്കാനിക്കൽ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ്

ഹൈ-സ്പീഡ് റൊട്ടേറ്റിംഗ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഡിസ്ക് (ബ്ലേഡ്) ഉപയോഗിച്ച് സ്‌ക്രൈബ് ലൈനിനൊപ്പം മുറിക്കുന്ന പ്രക്രിയയാണ് ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ്. ബ്ലേഡ് സാധാരണയായി ഉരച്ചിലുകളോ അൾട്രാ-നേർത്ത വജ്ര വസ്തുക്കളോ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, സിലിക്കൺ വേഫറുകളിൽ അരിഞ്ഞെടുക്കുന്നതിനോ ഗ്രോവിംഗ് ചെയ്യുന്നതിനോ അനുയോജ്യമാണ്. എന്നിരുന്നാലും, ഒരു മെക്കാനിക്കൽ കട്ടിംഗ് രീതി എന്ന നിലയിൽ, ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ് ഫിസിക്കൽ മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു, ഇത് എളുപ്പത്തിൽ ചിപ്പിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ചിപ്പ് എഡ്ജ് വിള്ളലിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, അങ്ങനെ ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിക്കുകയും വിളവ് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും.

കട്ടിംഗ് വേഗത, ബ്ലേഡ് കനം, ബ്ലേഡ് വ്യാസം, ബ്ലേഡ് റൊട്ടേഷൻ സ്പീഡ് എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള ഒന്നിലധികം പാരാമീറ്ററുകൾ മെക്കാനിക്കൽ സോവിംഗ് പ്രോസസ് നിർമ്മിക്കുന്ന അന്തിമ ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിക്കുന്നു.

ഫുൾ കട്ട് ഏറ്റവും അടിസ്ഥാനപരമായ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ് രീതിയാണ്, ഇത് ഒരു നിശ്ചിത മെറ്റീരിയലിലേക്ക് (സ്ലൈസിംഗ് ടേപ്പ് പോലുള്ളവ) മുറിച്ച് വർക്ക്പീസ് പൂർണ്ണമായും മുറിക്കുന്നു.

▲ മെക്കാനിക്കൽ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ്-ഫുൾ കട്ട് | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

വർക്ക്പീസിൻ്റെ മധ്യഭാഗത്തേക്ക് മുറിച്ച് ഒരു ഗ്രോവ് നിർമ്മിക്കുന്ന ഒരു പ്രോസസ്സിംഗ് രീതിയാണ് ഹാഫ് കട്ട്. ഗ്രൂവിംഗ് പ്രക്രിയ തുടർച്ചയായി നടത്തുന്നതിലൂടെ, ചീപ്പും സൂചി ആകൃതിയിലുള്ള പോയിൻ്റുകളും നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും.

▲ മെക്കാനിക്കൽ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ്-ഹാഫ് കട്ട് | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

ഒരേ സമയം രണ്ട് പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനുകളിൽ പൂർണ്ണമായോ പകുതിയായോ മുറിക്കുന്നതിന് രണ്ട് സ്പിൻഡിലുകളുള്ള ഡബിൾ സ്ലൈസിംഗ് സോ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രോസസ്സിംഗ് രീതിയാണ് ഡബിൾ കട്ട്. ഇരട്ട സ്ലൈസിംഗ് സോയ്ക്ക് രണ്ട് സ്പിൻഡിൽ അക്ഷങ്ങളുണ്ട്. ഈ പ്രക്രിയയിലൂടെ ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ട് നേടാനാകും.

▲ മെക്കാനിക്കൽ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ്-ഇരട്ട കട്ട് | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

സ്റ്റെപ്പ് കട്ട് രണ്ട് ഘട്ടങ്ങളിലായി പൂർണ്ണവും പകുതിയും മുറിക്കുന്നതിന് രണ്ട് സ്പിൻഡിലുകളുള്ള ഇരട്ട സ്ലൈസിംഗ് സോ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് നേടുന്നതിന്, വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ വയറിംഗ് ലെയർ മുറിക്കുന്നതിന് ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത ബ്ലേഡുകളും ശേഷിക്കുന്ന സിലിക്കൺ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റലിനായി ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത ബ്ലേഡുകളും ഉപയോഗിക്കുക.

▲ മെക്കാനിക്കൽ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ് – സ്റ്റെപ്പ് കട്ടിംഗ് | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

സ്റ്റെപ്പ് കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ വേഫർ രണ്ട് ഘട്ടങ്ങളായി മുറിക്കുന്നതിന് പകുതി കട്ട് അരികിൽ വി ആകൃതിയിലുള്ള അരികുള്ള ബ്ലേഡ് ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രോസസ്സിംഗ് രീതിയാണ് ബെവൽ കട്ടിംഗ്. കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ചാംഫറിംഗ് പ്രക്രിയ നടത്തുന്നു. അതിനാൽ, ഉയർന്ന പൂപ്പൽ ശക്തിയും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സംസ്കരണവും നേടാൻ കഴിയും.

▲ മെക്കാനിക്കൽ ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗ് - ബെവൽ കട്ടിംഗ് | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്
ലേസർ കട്ടിംഗ്

അർദ്ധചാലക വേഫറുകളിൽ നിന്ന് വ്യക്തിഗത ചിപ്പുകളെ വേർതിരിക്കുന്നതിന് ഫോക്കസ് ചെയ്ത ലേസർ ബീം ഉപയോഗിക്കുന്ന നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് വേഫർ കട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് ലേസർ കട്ടിംഗ്. ഉയർന്ന ഊർജമുള്ള ലേസർ ബീം വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ കേന്ദ്രീകരിക്കുകയും അബ്ലേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ താപ വിഘടിപ്പിക്കൽ പ്രക്രിയകളിലൂടെ മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച കട്ടിംഗ് ലൈനിനൊപ്പം മെറ്റീരിയൽ ബാഷ്പീകരിക്കുകയോ നീക്കം ചെയ്യുകയോ ചെയ്യുന്നു.

▲ ലേസർ കട്ടിംഗ് ഡയഗ്രം | ചിത്ര ഉറവിടം: KLA ചൈന

അൾട്രാവയലറ്റ് ലേസറുകൾ, ഇൻഫ്രാറെഡ് ലേസറുകൾ, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസറുകൾ എന്നിവ നിലവിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ലേസറുകളുടെ തരങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. അവയിൽ, അൾട്രാവയലറ്റ് ലേസറുകൾ അവയുടെ ഉയർന്ന ഫോട്ടോൺ എനർജി കാരണം കൃത്യമായ ശീതീകരണത്തിനായി ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്, ചൂട് ബാധിച്ച മേഖല വളരെ ചെറുതാണ്, ഇത് വേഫറിനും ചുറ്റുമുള്ള ചിപ്പുകൾക്കും താപ കേടുപാടുകൾ വരുത്താനുള്ള സാധ്യത ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കും. ഇൻഫ്രാറെഡ് ലേസറുകൾ കട്ടിയുള്ള വേഫറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്, കാരണം അവ മെറ്റീരിയലിലേക്ക് ആഴത്തിൽ തുളച്ചുകയറാൻ കഴിയും. അൾട്രാഷോർട്ട് ലൈറ്റ് പൾസുകളിലൂടെ ഏതാണ്ട് നിസ്സാരമായ താപ കൈമാറ്റം ഉപയോഗിച്ച് ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസറുകൾ ഉയർന്ന കൃത്യതയും കാര്യക്ഷമവുമായ മെറ്റീരിയൽ നീക്കംചെയ്യൽ കൈവരിക്കുന്നു.

പരമ്പരാഗത ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗിനെ അപേക്ഷിച്ച് ലേസർ കട്ടിംഗിന് കാര്യമായ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. ആദ്യം, ഒരു നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് പ്രക്രിയ എന്ന നിലയിൽ, ലേസർ കട്ടിംഗിന് വേഫറിൽ ശാരീരിക സമ്മർദ്ദം ആവശ്യമില്ല, ഇത് മെക്കാനിക്കൽ കട്ടിംഗിൽ സാധാരണമായ വിഘടനവും വിള്ളലുകളും കുറയ്ക്കുന്നു. ഈ സവിശേഷത, പ്രത്യേകിച്ച് സങ്കീർണ്ണമായ ഘടനകളോ മികച്ച സവിശേഷതകളോ ഉള്ളവ, ദുർബലമായ അല്ലെങ്കിൽ വളരെ നേർത്ത വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നതിന് ലേസർ കട്ടിംഗിനെ അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

▲ ലേസർ കട്ടിംഗ് ഡയഗ്രം | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

കൂടാതെ, ലേസർ കട്ടിംഗിൻ്റെ ഉയർന്ന കൃത്യതയും കൃത്യതയും ലേസർ ബീമിനെ വളരെ ചെറിയ സ്‌പോട്ട് സൈസിലേക്ക് ഫോക്കസ് ചെയ്യാനും സങ്കീർണ്ണമായ കട്ടിംഗ് പാറ്റേണുകളെ പിന്തുണയ്ക്കാനും ചിപ്പുകൾ തമ്മിലുള്ള ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ അകലം വേർതിരിക്കാനും ഇത് പ്രാപ്‌തമാക്കുന്നു. ചുരുങ്ങുന്ന വലിപ്പമുള്ള നൂതന അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഈ സവിശേഷത വളരെ പ്രധാനമാണ്.

എന്നിരുന്നാലും, ലേസർ കട്ടിംഗിനും ചില പരിമിതികളുണ്ട്. ബ്ലേഡ് കട്ടിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഇത് സാവധാനവും ചെലവേറിയതുമാണ്, പ്രത്യേകിച്ച് വലിയ തോതിലുള്ള ഉൽപാദനത്തിൽ. കൂടാതെ, ശരിയായ ലേസർ തരം തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതും കാര്യക്ഷമമായ മെറ്റീരിയൽ നീക്കംചെയ്യലും കുറഞ്ഞ ചൂട്-ബാധിത മേഖലയും ഉറപ്പാക്കാൻ പാരാമീറ്ററുകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നത് ചില മെറ്റീരിയലുകൾക്കും കനങ്ങൾക്കും വെല്ലുവിളിയാകും.

ലേസർ അബ്ലേഷൻ കട്ടിംഗ്

ലേസർ അബ്ലേഷൻ കട്ടിംഗ് സമയത്ത്, ലേസർ ബീം കൃത്യമായി വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ ഒരു നിർദ്ദിഷ്ട സ്ഥലത്ത് കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ലേസർ ഊർജ്ജം മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച കട്ടിംഗ് പാറ്റേൺ അനുസരിച്ച് നയിക്കപ്പെടുന്നു, ക്രമേണ വേഫറിലൂടെ താഴേക്ക് മുറിക്കുന്നു. കട്ടിംഗ് ആവശ്യകതകളെ ആശ്രയിച്ച്, ഒരു പൾസ്ഡ് ലേസർ അല്ലെങ്കിൽ തുടർച്ചയായ വേവ് ലേസർ ഉപയോഗിച്ചാണ് ഈ പ്രവർത്തനം നടത്തുന്നത്. ലേസറിൻ്റെ അമിതമായ പ്രാദേശിക ചൂടാക്കൽ കാരണം വേഫറിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് തടയാൻ, തണുപ്പിക്കാനും വേഫറിനെ താപ തകരാറിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കാനും കൂളിംഗ് വാട്ടർ ഉപയോഗിക്കുന്നു. അതേസമയം, കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഉണ്ടാകുന്ന കണങ്ങളെ ഫലപ്രദമായി നീക്കം ചെയ്യാനും മലിനീകരണം തടയാനും കട്ടിംഗ് ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കാനും തണുപ്പിക്കുന്ന വെള്ളത്തിന് കഴിയും.

ലേസർ അദൃശ്യ കട്ടിംഗ്

"ഇൻവിസിബിൾ ലേസർ കട്ടിംഗ്" എന്ന് വിളിക്കുന്ന ഒരു രീതിയെ വേഫറിൻ്റെ പ്രധാന ശരീരത്തിലേക്ക് താപം കൈമാറുന്നതിനും ലേസർ ഫോക്കസ് ചെയ്യാവുന്നതാണ്. ഈ രീതിക്ക്, ലേസറിൽ നിന്നുള്ള താപം സ്‌ക്രൈബ് ലെയ്‌നുകളിൽ വിടവുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു. ഈ ദുർബലമായ പ്രദേശങ്ങൾ വേഫർ വലിച്ചുനീട്ടുമ്പോൾ തകർക്കുന്നതിലൂടെ സമാനമായ ഒരു നുഴഞ്ഞുകയറ്റ പ്രഭാവം കൈവരിക്കുന്നു.

▲ലേസർ അദൃശ്യ കട്ടിംഗിൻ്റെ പ്രധാന പ്രക്രിയ

ഉപരിതലത്തിൽ ലേസർ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്ന ലേസർ അബ്ലേഷനേക്കാൾ, അദൃശ്യമായ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയ ഒരു ആന്തരിക ആഗിരണം ലേസർ പ്രക്രിയയാണ്. അദൃശ്യമായ കട്ടിംഗിനൊപ്പം, വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലിലേക്ക് അർദ്ധ സുതാര്യമായ തരംഗദൈർഘ്യമുള്ള ലേസർ ബീം ഊർജ്ജം ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രക്രിയയെ രണ്ട് പ്രധാന ഘട്ടങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു, ഒന്ന് ലേസർ അധിഷ്ഠിത പ്രക്രിയയാണ്, മറ്റൊന്ന് മെക്കാനിക്കൽ വേർതിരിക്കൽ പ്രക്രിയയാണ്.

▲ലേസർ ബീം വേഫർ പ്രതലത്തിന് താഴെ ഒരു സുഷിരം സൃഷ്ടിക്കുന്നു, മുന്നിലും പിന്നിലും വശങ്ങൾ ബാധിക്കില്ല | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

ആദ്യ ഘട്ടത്തിൽ, ലേസർ ബീം വേഫറിനെ സ്കാൻ ചെയ്യുമ്പോൾ, ലേസർ ബീം വേഫറിനുള്ളിലെ ഒരു പ്രത്യേക ബിന്ദുവിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുകയും ഉള്ളിൽ ഒരു വിള്ളൽ പോയിൻ്റ് ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ബീം എനർജി ഉള്ളിൽ വിള്ളലുകളുടെ ഒരു പരമ്പര രൂപപ്പെടാൻ കാരണമാകുന്നു, അവ ഇതുവരെ വേഫറിൻ്റെ മുഴുവൻ കനവും മുകളിലേക്കും താഴെയുമുള്ള പ്രതലങ്ങളിലേക്ക് വ്യാപിച്ചിട്ടില്ല.

▲ബ്ലേഡ് രീതിയും ലേസർ ഇൻവിസിബിൾ കട്ടിംഗ് രീതിയും ഉപയോഗിച്ച് മുറിച്ച 100μm കട്ടിയുള്ള സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യം | ഇമേജ് ഉറവിട നെറ്റ്‌വർക്ക്

രണ്ടാം ഘട്ടത്തിൽ, വേഫറിൻ്റെ ചുവടെയുള്ള ചിപ്പ് ടേപ്പ് ശാരീരികമായി വികസിക്കുന്നു, ഇത് വേഫറിനുള്ളിലെ വിള്ളലുകളിൽ ടെൻസൈൽ സമ്മർദ്ദത്തിന് കാരണമാകുന്നു, ഇത് ആദ്യ ഘട്ടത്തിൽ ലേസർ പ്രക്രിയയിൽ പ്രേരിപ്പിക്കുന്നു. ഈ സമ്മർദ്ദം വിള്ളലുകൾ വേഫറിൻ്റെ മുകളിലേക്കും താഴേക്കും ലംബമായി നീട്ടുന്നു, തുടർന്ന് ഈ കട്ടിംഗ് പോയിൻ്റുകളിൽ ചിപ്പുകളായി വേഫറിനെ വേർതിരിക്കുന്നു. അദൃശ്യമായ കട്ടിംഗിൽ, വേഫറുകളെ ചിപ്സ് അല്ലെങ്കിൽ ചിപ്സ് ആയി വേർതിരിക്കുന്നത് സുഗമമാക്കുന്നതിന് സാധാരണയായി പകുതി-കട്ടിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ അടിവശം പകുതി-മുറിക്കൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ലേസർ അബ്ലേഷനേക്കാൾ അദൃശ്യ ലേസർ കട്ടിംഗിൻ്റെ പ്രധാന ഗുണങ്ങൾ:
• കൂളൻ്റ് ആവശ്യമില്ല
• അവശിഷ്ടങ്ങളൊന്നും സൃഷ്ടിക്കപ്പെട്ടിട്ടില്ല
• സെൻസിറ്റീവ് സർക്യൂട്ടുകൾക്ക് കേടുപാടുകൾ വരുത്തുന്ന ചൂട് ബാധിത മേഖലകളൊന്നുമില്ല

പ്ലാസ്മ കട്ടിംഗ്
അർദ്ധചാലക വേഫറുകളിൽ നിന്ന് വ്യക്തിഗത ചിപ്പുകളെ വേർതിരിക്കുന്നതിന് റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (RIE) അല്ലെങ്കിൽ ഡീപ് റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (DRIE) ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നൂതന വേഫർ കട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് പ്ലാസ്മ കട്ടിംഗ് (പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു). പ്ലാസ്മ ഉപയോഗിച്ച് മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച കട്ടിംഗ് ലൈനുകളിൽ രാസവസ്തുക്കൾ നീക്കം ചെയ്തുകൊണ്ട് സാങ്കേതികവിദ്യ മുറിക്കൽ കൈവരിക്കുന്നു.

പ്ലാസ്മ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, അർദ്ധചാലക വേഫർ ഒരു വാക്വം ചേമ്പറിൽ സ്ഥാപിക്കുന്നു, ഒരു നിയന്ത്രിത റിയാക്ടീവ് വാതക മിശ്രിതം ചേമ്പറിൽ അവതരിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള റിയാക്ടീവ് അയോണുകളും റാഡിക്കലുകളും അടങ്ങിയ പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കാൻ ഒരു വൈദ്യുത മണ്ഡലം പ്രയോഗിക്കുന്നു. ഈ റിയാക്ടീവ് സ്പീഷീസുകൾ വേഫർ മെറ്റീരിയലുമായി ഇടപഴകുകയും രാസപ്രവർത്തനത്തിൻ്റെയും ഫിസിക്കൽ സ്‌പട്ടറിംഗിൻ്റെയും സംയോജനത്തിലൂടെ സ്‌ക്രൈബ് ലൈനിലെ വേഫർ മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.

പ്ലാസ്മ കട്ടിംഗിൻ്റെ പ്രധാന നേട്ടം, അത് വേഫറിലെയും ചിപ്പിലെയും മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുകയും ശാരീരിക സമ്പർക്കം മൂലമുണ്ടാകുന്ന കേടുപാടുകൾ കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു എന്നതാണ്. എന്നിരുന്നാലും, ഈ പ്രക്രിയ മറ്റ് രീതികളേക്കാൾ കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണവും സമയമെടുക്കുന്നതുമാണ്, പ്രത്യേകിച്ച് കട്ടിയുള്ള വേഫറുകളോ ഉയർന്ന എച്ചിംഗ് പ്രതിരോധമുള്ള വസ്തുക്കളോ കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ, വൻതോതിലുള്ള ഉൽപാദനത്തിൽ അതിൻ്റെ പ്രയോഗം പരിമിതമാണ്.

▲ചിത്ര ഉറവിട ശൃംഖല

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ, വേഫർ മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ, ചിപ്പിൻ്റെ വലിപ്പവും ജ്യാമിതിയും, ആവശ്യമായ കൃത്യതയും കൃത്യതയും, മൊത്തത്തിലുള്ള ഉൽപ്പാദനച്ചെലവും കാര്യക്ഷമതയും ഉൾപ്പെടെ നിരവധി ഘടകങ്ങളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി വേഫർ കട്ടിംഗ് രീതി തിരഞ്ഞെടുക്കേണ്ടതുണ്ട്.