അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ മുഴുവൻ പ്രക്രിയയും

ഓരോ അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെയും നിർമ്മാണത്തിന് നൂറുകണക്കിന് പ്രക്രിയകൾ ആവശ്യമാണ്. മുഴുവൻ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയും ഞങ്ങൾ എട്ട് ഘട്ടങ്ങളായി വിഭജിക്കുന്നു:വേഫർപ്രോസസ്സിംഗ്-ഓക്സിഡേഷൻ-ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രഫി-എച്ചിംഗ്-തിൻ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ-എപിറ്റാക്സിയൽ ഗ്രോത്ത്-ഡിഫ്യൂഷൻ-അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ.
അർദ്ധചാലകങ്ങളും അനുബന്ധ പ്രക്രിയകളും മനസ്സിലാക്കാനും തിരിച്ചറിയാനും നിങ്ങളെ സഹായിക്കുന്നതിന്, മുകളിലുള്ള ഓരോ ഘട്ടങ്ങളും ഓരോന്നായി അവതരിപ്പിക്കാൻ ഞങ്ങൾ ഓരോ ലക്കത്തിലും WeChat ലേഖനങ്ങൾ നൽകും.
മുൻ ലേഖനത്തിൽ, അത് സംരക്ഷിക്കാൻ വേണ്ടി സൂചിപ്പിച്ചിരുന്നുവേഫർവിവിധ മാലിന്യങ്ങളിൽ നിന്ന് ഒരു ഓക്സൈഡ് ഫിലിം നിർമ്മിച്ചു - ഓക്സിഡേഷൻ പ്രക്രിയ. രൂപംകൊണ്ട ഓക്സൈഡ് ഫിലിം ഉപയോഗിച്ച് വേഫറിൽ അർദ്ധചാലക ഡിസൈൻ സർക്യൂട്ട് ഫോട്ടോ എടുക്കുന്നതിനുള്ള "ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയ" ഇന്ന് നമ്മൾ ചർച്ച ചെയ്യും.

ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയ

1. എന്താണ് ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയ
ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന് ആവശ്യമായ സർക്യൂട്ടുകളും പ്രവർത്തന മേഖലകളും നിർമ്മിക്കുന്നതാണ് ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി.
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന പ്രകാശം ഒരു പാറ്റേൺ ഉള്ള ഒരു മാസ്കിലൂടെ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് കൊണ്ട് പൊതിഞ്ഞ നേർത്ത ഫിലിം തുറന്നുകാട്ടാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രകാശം കണ്ടതിനുശേഷം ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് അതിൻ്റെ ഗുണങ്ങൾ മാറ്റും, അങ്ങനെ മാസ്കിലെ പാറ്റേൺ നേർത്ത ഫിലിമിലേക്ക് പകർത്തുന്നു, അങ്ങനെ നേർത്ത ഫിലിമിന് ഒരു ഇലക്ട്രോണിക് സർക്യൂട്ട് ഡയഗ്രാമിൻ്റെ പ്രവർത്തനമുണ്ട്. ക്യാമറ ഉപയോഗിച്ച് ചിത്രങ്ങൾ എടുക്കുന്നതിന് സമാനമായ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ പങ്ക് ഇതാണ്. ക്യാമറ എടുത്ത ഫോട്ടോകൾ ഫിലിമിൽ അച്ചടിച്ചിരിക്കുന്നു, അതേസമയം ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഫോട്ടോകൾ കൊത്തിവയ്ക്കുന്നില്ല, സർക്യൂട്ട് ഡയഗ്രാമുകളും മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളും.

ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഒരു കൃത്യമായ മൈക്രോ മെഷീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്

2000 മുതൽ 4500 വരെ തരംഗദൈർഘ്യമുള്ള അൾട്രാവയലറ്റ് രശ്മികൾ ഇമേജ് ഇൻഫർമേഷൻ കാരിയറായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രക്രിയയാണ് പരമ്പരാഗത ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, കൂടാതെ ഗ്രാഫിക്‌സിൻ്റെ പരിവർത്തനം, കൈമാറ്റം, പ്രോസസ്സിംഗ് എന്നിവ നേടുന്നതിന് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഇൻ്റർമീഡിയറ്റ് (ഇമേജ് റെക്കോർഡിംഗ്) മാധ്യമമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഒടുവിൽ ചിത്രം പ്രക്ഷേപണം ചെയ്യുന്നു. ചിപ്പ് (പ്രധാനമായും സിലിക്കൺ ചിപ്പ്) അല്ലെങ്കിൽ വൈദ്യുത പാളിയിലേക്കുള്ള വിവരങ്ങൾ.
ആധുനിക അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, മൈക്രോഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ്, ഇൻഫർമേഷൻ വ്യവസായങ്ങൾ എന്നിവയുടെ അടിസ്ഥാനം ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയാണെന്ന് പറയാം, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഈ സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ വികസന നിലവാരത്തെ നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു.
1959-ൽ ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ വിജയകരമായ കണ്ടുപിടിത്തത്തിനു ശേഷമുള്ള 60 വർഷത്തിലേറെയായി, അതിൻ്റെ ഗ്രാഫിക്‌സിൻ്റെ ലൈൻ വീതി ഏകദേശം നാല് ഓർഡറുകൾ കുറഞ്ഞു, കൂടാതെ സർക്യൂട്ട് സംയോജനം ആറിലധികം മാഗ്നിറ്റ്യൂഡ് കൊണ്ട് മെച്ചപ്പെടുത്തി. ഈ സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള പുരോഗതി പ്രധാനമായും ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ വികാസത്തിന് കാരണമാകുന്നു.

(ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ആവശ്യകതകൾ)

2. ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ അടിസ്ഥാന തത്വങ്ങൾ
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി സാമഗ്രികൾ സാധാരണയായി ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റുകളെ പരാമർശിക്കുന്നു, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയിലെ ഏറ്റവും നിർണായകമായ പ്രവർത്തന സാമഗ്രികളായ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റുകൾ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു. ഇത്തരത്തിലുള്ള മെറ്റീരിയലിന് പ്രകാശത്തിൻ്റെ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഉണ്ട് (ദൃശ്യപ്രകാശം, അൾട്രാവയലറ്റ് ലൈറ്റ്, ഇലക്ട്രോൺ ബീം മുതലായവ) പ്രതികരണം. ഫോട്ടോകെമിക്കൽ പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിന് ശേഷം, അതിൻ്റെ ലായകത ഗണ്യമായി മാറുന്നു.
അവയിൽ, ഡവലപ്പറിൽ പോസിറ്റീവ് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിൻ്റെ സോളിബിലിറ്റി വർദ്ധിക്കുന്നു, കൂടാതെ ലഭിച്ച പാറ്റേൺ മാസ്കിന് തുല്യമാണ്; നെഗറ്റീവ് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് വിപരീതമാണ്, അതായത്, ഡെവലപ്പറുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തിയതിന് ശേഷം ലായകത കുറയുന്നു അല്ലെങ്കിൽ ലയിക്കില്ല, കൂടാതെ ലഭിച്ച പാറ്റേൺ മാസ്കിന് വിപരീതമാണ്. രണ്ട് തരം ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റുകളുടെ ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡുകൾ വ്യത്യസ്തമാണ്. പോസിറ്റീവ് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റുകളാണ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്, മൊത്തം 80% ത്തിലധികം വരും.

ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയുടെ ഒരു സ്കീമാറ്റിക് ഡയഗ്രമാണ് മുകളിൽ നൽകിയിരിക്കുന്നത്

(1) ഗ്ലൂയിംഗ്: അതായത്, ഏകീകൃത കനം, ശക്തമായ അഡീഷൻ, സിലിക്കൺ വേഫറിൽ വൈകല്യങ്ങൾ എന്നിവയുള്ള ഒരു ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിം ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിമും സിലിക്കൺ വേഫറും തമ്മിലുള്ള അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന്, ഹെക്‌സാമെതൈൽഡിസിലാസെയ്ൻ (എച്ച്എംഡിഎസ്), ട്രൈമെതൈൽസിലിലിഡിഎതൈലാമൈൻ (ടിഎംഎസ്ഡിഇഎ) തുടങ്ങിയ പദാർത്ഥങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലം ആദ്യം പരിഷ്കരിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. പിന്നെ, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിം സ്പിൻ കോട്ടിംഗിലൂടെ തയ്യാറാക്കപ്പെടുന്നു.
(2) പ്രീ-ബേക്കിംഗ്: സ്പിൻ കോട്ടിംഗിന് ശേഷം, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിമിൽ ഒരു നിശ്ചിത അളവിൽ ലായകമുണ്ട്. ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ ബേക്കിംഗ് ചെയ്ത ശേഷം, ലായകത്തെ കഴിയുന്നത്ര കുറച്ച് നീക്കം ചെയ്യാം. പ്രീ-ബേക്കിംഗിന് ശേഷം, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിൻ്റെ ഉള്ളടക്കം ഏകദേശം 5% ആയി കുറയുന്നു.
(3) എക്സ്പോഷർ: അതായത്, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് പ്രകാശത്തിന് വിധേയമാണ്. ഈ സമയത്ത്, ഒരു ഫോട്ടോ റിയാക്ഷൻ സംഭവിക്കുന്നു, കൂടാതെ പ്രകാശമുള്ള ഭാഗവും പ്രകാശമില്ലാത്ത ഭാഗവും തമ്മിലുള്ള ലയിക്കുന്ന വ്യത്യാസം സംഭവിക്കുന്നു.
(4) വികസനവും കാഠിന്യവും: ഉൽപ്പന്നം ഡെവലപ്പറിൽ മുഴുകിയിരിക്കുന്നു. ഈ സമയത്ത്, പോസിറ്റീവ് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിൻ്റെ തുറന്ന പ്രദേശവും നെഗറ്റീവ് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിൻ്റെ നോൺ-എക്സ്പോസ്ഡ് ഏരിയയും വികസനത്തിൽ അലിഞ്ഞുചേരും. ഇത് ഒരു ത്രിമാന പാറ്റേൺ അവതരിപ്പിക്കുന്നു. വികസനത്തിന് ശേഷം, ഒരു ഹാർഡ് ഫിലിമായി മാറുന്നതിന് ചിപ്പിന് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഒരു ചികിത്സാ പ്രക്രിയ ആവശ്യമാണ്, ഇത് പ്രധാനമായും അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിൻ്റെ അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു.
(5) എച്ചിംഗ്: ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിനു കീഴിലുള്ള മെറ്റീരിയൽ കൊത്തിവെച്ചിരിക്കുന്നു. ലിക്വിഡ് വെറ്റ് എച്ചിംഗും ഗ്യാസ് ഡ്രൈ എച്ചിംഗും ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, സിലിക്കണിൻ്റെ നനഞ്ഞ കൊത്തുപണിക്ക്, ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡിൻ്റെ അസിഡിക് ജലീയ ലായനി ഉപയോഗിക്കുന്നു; ചെമ്പ് നനഞ്ഞ കൊത്തുപണികൾക്കായി, നൈട്രിക് ആസിഡ്, സൾഫ്യൂറിക് ആസിഡ് എന്നിവ പോലുള്ള ശക്തമായ ആസിഡ് ലായനി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതേസമയം ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് പലപ്പോഴും പ്ലാസ്മ അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന ഊർജ്ജ അയോൺ ബീമുകൾ ഉപയോഗിച്ച് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഉപരിതലത്തെ നശിപ്പിക്കുന്നു.
(6) ഡീഗമ്മിംഗ്: അവസാനമായി, ലെൻസിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് നീക്കം ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്. ഈ ഘട്ടത്തെ degumming എന്ന് വിളിക്കുന്നു.

എല്ലാ അർദ്ധചാലക ഉൽപാദനത്തിലും ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട പ്രശ്നം സുരക്ഷയാണ്. ചിപ്പ് ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയിലെ പ്രധാന അപകടകരവും ദോഷകരവുമായ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി വാതകങ്ങൾ ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്:

1. ഹൈഡ്രജൻ പെറോക്സൈഡ്
ഹൈഡ്രജൻ പെറോക്സൈഡ് (H2O2) ഒരു ശക്തമായ ഓക്സിഡൻ്റാണ്. നേരിട്ടുള്ള സമ്പർക്കം ചർമ്മത്തിനും കണ്ണിനും വീക്കം, പൊള്ളൽ എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകും.

2. സൈലീൻ
നെഗറ്റീവ് ലിത്തോഗ്രാഫിയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ലായകവും ഡെവലപ്പറുമാണ് സൈലീൻ. ഇത് ജ്വലിക്കുന്നതും 27.3 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് (ഏകദേശം മുറിയിലെ താപനില) മാത്രമാണ്. വായുവിലെ സാന്ദ്രത 1%-7% ആകുമ്പോൾ അത് സ്ഫോടനാത്മകമാണ്. സൈലീനുമായുള്ള ആവർത്തിച്ചുള്ള സമ്പർക്കം ചർമ്മത്തിൽ വീക്കം ഉണ്ടാക്കും. സൈലീൻ നീരാവി മധുരമാണ്, വിമാനത്തിൻ്റെ ഗന്ധത്തിന് സമാനമാണ്; സൈലീനുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്നത് കണ്ണ്, മൂക്ക്, തൊണ്ട എന്നിവയുടെ വീക്കം ഉണ്ടാക്കും. ഗ്യാസ് ശ്വസിക്കുന്നത് തലവേദന, തലകറക്കം, വിശപ്പില്ലായ്മ, ക്ഷീണം എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകും.

3. ഹെക്സമെതൈൽഡിസിലാസെൻ (HMDS)
ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിൻ്റെ അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രൈമർ ലെയറായിട്ടാണ് ഹെക്‌സാമെതൈൽഡിസിലാസെൻ (HMDS) സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്. ഇത് ജ്വലിക്കുന്നതും 6.7 ° C ഫ്ലാഷ് പോയിൻ്റും ഉണ്ട്. വായുവിലെ സാന്ദ്രത 0.8%-16% ആകുമ്പോൾ അത് സ്ഫോടനാത്മകമാണ്. അമോണിയ പുറത്തുവിടാൻ വെള്ളം, മദ്യം, മിനറൽ ആസിഡുകൾ എന്നിവയുമായി HMDS ശക്തമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കുന്നു.

4. ടെട്രാമെത്തിലാമോണിയം ഹൈഡ്രോക്സൈഡ്
പോസിറ്റീവ് ലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ ഡെവലപ്പറായി ടെട്രാമെത്തിലാമോണിയം ഹൈഡ്രോക്സൈഡ് (TMAH) വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് വിഷലിപ്തവും വിനാശകരവുമാണ്. വിഴുങ്ങുകയോ ചർമ്മവുമായി നേരിട്ട് ബന്ധപ്പെടുകയോ ചെയ്താൽ ഇത് മാരകമായേക്കാം. TMAH പൊടി അല്ലെങ്കിൽ മൂടൽമഞ്ഞ് എന്നിവയുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്നത് കണ്ണുകൾ, ചർമ്മം, മൂക്ക്, തൊണ്ട എന്നിവയുടെ വീക്കം ഉണ്ടാക്കും. TMAH ൻ്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത ശ്വസിക്കുന്നത് മരണത്തിലേക്ക് നയിക്കും.

5. ക്ലോറിൻ, ഫ്ലൂറിൻ
ക്ലോറിൻ (Cl2), ഫ്ലൂറിൻ (F2) എന്നിവ എക്‌സൈമർ ലേസറുകളിൽ ആഴത്തിലുള്ള അൾട്രാവയലറ്റ്, എക്‌സ്ട്രീം അൾട്രാവയലറ്റ് (EUV) പ്രകാശ സ്രോതസ്സുകളായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. രണ്ട് വാതകങ്ങളും വിഷാംശമുള്ളവയാണ്, ഇളം പച്ചനിറത്തിൽ കാണപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ശക്തമായ പ്രകോപിപ്പിക്കുന്ന ദുർഗന്ധവുമുണ്ട്. ഈ വാതകത്തിൻ്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത ശ്വസിക്കുന്നത് മരണത്തിലേക്ക് നയിക്കും. ഫ്ലൂറിൻ വാതകം ജലവുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് വാതകം ഉത്പാദിപ്പിക്കാം. ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് വാതകം ഒരു ശക്തമായ ആസിഡാണ്, ഇത് ചർമ്മം, കണ്ണുകൾ, ശ്വാസകോശ ലഘുലേഖ എന്നിവയെ പ്രകോപിപ്പിക്കുകയും പൊള്ളൽ, ശ്വസിക്കാൻ ബുദ്ധിമുട്ട് തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും. ഫ്ലൂറൈഡിൻ്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത മനുഷ്യശരീരത്തിൽ വിഷബാധയുണ്ടാക്കുകയും തലവേദന, ഛർദ്ദി, വയറിളക്കം, കോമ തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും.

6. ആർഗോൺ
സാധാരണയായി മനുഷ്യശരീരത്തിന് നേരിട്ട് ദോഷം വരുത്താത്ത ഒരു നിഷ്ക്രിയ വാതകമാണ് ആർഗോൺ (Ar). സാധാരണ സാഹചര്യങ്ങളിൽ, ആളുകൾ ശ്വസിക്കുന്ന വായുവിൽ ഏകദേശം 0.93% ആർഗോൺ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു, ഈ സാന്ദ്രത മനുഷ്യശരീരത്തിൽ വ്യക്തമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നില്ല. എന്നിരുന്നാലും, ചില സന്ദർഭങ്ങളിൽ, ആർഗോൺ മനുഷ്യശരീരത്തിന് ദോഷം വരുത്തിയേക്കാം.
സാധ്യമായ ചില സാഹചര്യങ്ങൾ ഇതാ: പരിമിതമായ സ്ഥലത്ത്, ആർഗോണിൻ്റെ സാന്ദ്രത വർദ്ധിച്ചേക്കാം, അതുവഴി വായുവിലെ ഓക്സിജൻ്റെ സാന്ദ്രത കുറയുകയും ഹൈപ്പോക്സിയ ഉണ്ടാകുകയും ചെയ്യും. ഇത് തലകറക്കം, ക്ഷീണം, ശ്വാസതടസ്സം തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും. കൂടാതെ, ആർഗോൺ ഒരു നിഷ്ക്രിയ വാതകമാണ്, പക്ഷേ ഉയർന്ന താപനിലയിലോ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലോ ഇത് പൊട്ടിത്തെറിച്ചേക്കാം.

7. നിയോൺ
നിയോൺ (Ne) സ്ഥിരതയുള്ളതും നിറമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതുമായ വാതകമാണ്, നിയോൺ വാതകം മനുഷ്യൻ്റെ ശ്വസന പ്രക്രിയയിൽ ഉൾപ്പെടുന്നില്ല, അതിനാൽ നിയോൺ വാതകത്തിൻ്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത ശ്വസിക്കുന്നത് ഹൈപ്പോക്സിയയ്ക്ക് കാരണമാകും. നിങ്ങൾ വളരെക്കാലം ഹൈപ്പോക്സിയയുടെ അവസ്ഥയിലാണെങ്കിൽ, നിങ്ങൾക്ക് തലവേദന, ഓക്കാനം, ഛർദ്ദി തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾ അനുഭവപ്പെടാം. കൂടാതെ, നിയോൺ വാതകം ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിലോ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലോ മറ്റ് വസ്തുക്കളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് തീയോ സ്ഫോടനമോ ഉണ്ടാക്കാം.

8. സെനോൺ വാതകം
സെനോൺ വാതകം (Xe) സ്ഥിരതയുള്ളതും നിറമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതുമായ വാതകമാണ്, അത് മനുഷ്യൻ്റെ ശ്വസന പ്രക്രിയയിൽ പങ്കെടുക്കുന്നില്ല, അതിനാൽ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള സെനോൺ വാതകം ശ്വസിക്കുന്നത് ഹൈപ്പോക്സിയയ്ക്ക് കാരണമാകും. നിങ്ങൾ വളരെക്കാലം ഹൈപ്പോക്സിയയുടെ അവസ്ഥയിലാണെങ്കിൽ, നിങ്ങൾക്ക് തലവേദന, ഓക്കാനം, ഛർദ്ദി തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾ അനുഭവപ്പെടാം. കൂടാതെ, നിയോൺ വാതകം ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിലോ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലോ മറ്റ് വസ്തുക്കളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് തീയോ സ്ഫോടനമോ ഉണ്ടാക്കാം.

9. ക്രിപ്റ്റോൺ വാതകം
ക്രിപ്‌റ്റോൺ വാതകം (Kr) മനുഷ്യൻ്റെ ശ്വസന പ്രക്രിയയിൽ പങ്കെടുക്കാത്ത, സ്ഥിരതയുള്ളതും നിറമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതുമായ വാതകമാണ്, അതിനാൽ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയിലുള്ള ക്രിപ്‌റ്റോൺ വാതകം ശ്വസിക്കുന്നത് ഹൈപ്പോക്സിയയ്ക്ക് കാരണമാകും. നിങ്ങൾ വളരെക്കാലം ഹൈപ്പോക്സിയയുടെ അവസ്ഥയിലാണെങ്കിൽ, നിങ്ങൾക്ക് തലവേദന, ഓക്കാനം, ഛർദ്ദി തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾ അനുഭവപ്പെടാം. കൂടാതെ, സെനോൺ വാതകം ഉയർന്ന താപനിലയിലോ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലോ മറ്റ് വസ്തുക്കളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് തീയോ സ്ഫോടനമോ ഉണ്ടാക്കാം. ഓക്സിജൻ കുറവുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ശ്വസിക്കുന്നത് ഹൈപ്പോക്സിയയ്ക്ക് കാരണമാകും. നിങ്ങൾ വളരെക്കാലം ഹൈപ്പോക്സിയയുടെ അവസ്ഥയിലാണെങ്കിൽ, നിങ്ങൾക്ക് തലവേദന, ഓക്കാനം, ഛർദ്ദി തുടങ്ങിയ ലക്ഷണങ്ങൾ അനുഭവപ്പെടാം. കൂടാതെ, ക്രിപ്‌റ്റോൺ വാതകം മറ്റ് പദാർത്ഥങ്ങളുമായി ഉയർന്ന താപനിലയിലോ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലോ പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് തീയോ സ്ഫോടനമോ ഉണ്ടാക്കാം.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിനുള്ള അപകടകരമായ വാതക കണ്ടെത്തൽ പരിഹാരങ്ങൾ
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ജ്വലിക്കുന്ന, സ്ഫോടനാത്മക, വിഷ, ദോഷകരമായ വാതകങ്ങളുടെ ഉത്പാദനം, നിർമ്മാണം, പ്രക്രിയ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്ലാൻ്റുകളിലെ വാതകങ്ങളുടെ ഉപയോക്താവ് എന്ന നിലയിൽ, ഓരോ ജീവനക്കാരനും ഉപയോഗത്തിന് മുമ്പ് വിവിധ അപകടകരമായ വാതകങ്ങളുടെ സുരക്ഷാ ഡാറ്റ മനസ്സിലാക്കുകയും ഈ വാതകങ്ങൾ ചോർന്നാൽ അടിയന്തിര നടപടിക്രമങ്ങൾ എങ്ങനെ കൈകാര്യം ചെയ്യണമെന്ന് അറിയുകയും വേണം.
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ ഉൽപ്പാദനം, ഉൽപ്പാദനം, സംഭരണം എന്നിവയിൽ, ഈ അപകടകരമായ വാതകങ്ങളുടെ ചോർച്ച മൂലമുണ്ടാകുന്ന ജീവനും സ്വത്തും നഷ്ടപ്പെടാതിരിക്കാൻ, ടാർഗെറ്റ് ഗ്യാസ് കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഗ്യാസ് കണ്ടെത്തൽ ഉപകരണങ്ങൾ സ്ഥാപിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.

ഇന്നത്തെ അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഗ്യാസ് ഡിറ്റക്ടറുകൾ അവശ്യമായ പാരിസ്ഥിതിക നിരീക്ഷണ ഉപകരണങ്ങളായി മാറിയിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഏറ്റവും നേരിട്ടുള്ള നിരീക്ഷണ ഉപകരണങ്ങൾ കൂടിയാണ്.
ആളുകൾക്ക് സുരക്ഷിതമായ തൊഴിൽ അന്തരീക്ഷം സൃഷ്ടിക്കുക എന്ന ലക്ഷ്യത്തോടെ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൻ്റെ സുരക്ഷിതമായ വികസനത്തിൽ റിക്കൻ കെയ്‌കി എപ്പോഴും ശ്രദ്ധ ചെലുത്തിയിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിന് അനുയോജ്യമായ ഗ്യാസ് സെൻസറുകൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിൽ സ്വയം അർപ്പിക്കുകയും വിവിധ പ്രശ്നങ്ങൾക്ക് ന്യായമായ പരിഹാരങ്ങൾ നൽകുകയും ചെയ്തു. ഉപയോക്താക്കൾ, ഉൽപ്പന്ന പ്രവർത്തനങ്ങൾ തുടർച്ചയായി നവീകരിക്കുകയും സിസ്റ്റങ്ങൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.