അർദ്ധചാലക പാറ്റേണിംഗ് പ്രക്രിയ ഫ്ലോ-എച്ചിംഗ്

ആദ്യകാല നനഞ്ഞ കൊത്തുപണികൾ വൃത്തിയാക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ ചാരം പ്രക്രിയകളുടെ വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിച്ചു. ഇന്ന്, പ്ലാസ്മ ഉപയോഗിച്ചുള്ള ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് മുഖ്യധാരയായി മാറിയിരിക്കുന്നുകൊത്തുപണി പ്രക്രിയ. പ്ലാസ്മയിൽ ഇലക്ട്രോണുകളും കാറ്റേഷനുകളും റാഡിക്കലുകളും അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു. പ്ലാസ്മയിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന ഊർജ്ജം ഒരു ന്യൂട്രൽ അവസ്ഥയിലുള്ള സ്രോതസ് വാതകത്തിൻ്റെ ഏറ്റവും പുറത്തെ ഇലക്ട്രോണുകൾ നീക്കം ചെയ്യപ്പെടുകയും അതുവഴി ഈ ഇലക്ട്രോണുകളെ കാറ്റേഷനുകളാക്കി മാറ്റുകയും ചെയ്യുന്നു.

കൂടാതെ, വൈദ്യുത ന്യൂട്രൽ റാഡിക്കലുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഊർജ്ജം പ്രയോഗിച്ച് തന്മാത്രകളിലെ അപൂർണ്ണമായ ആറ്റങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യാവുന്നതാണ്. ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് പ്ലാസ്മ ഉണ്ടാക്കുന്ന കാറ്റേഷനുകളും റാഡിക്കലുകളും ഉപയോഗിക്കുന്നു, അവിടെ കാറ്റേഷനുകൾ അനിസോട്രോപിക് (ഒരു നിശ്ചിത ദിശയിൽ എച്ചിംഗിന് അനുയോജ്യം), റാഡിക്കലുകൾ ഐസോട്രോപിക് (എല്ലാ ദിശകളിലും എച്ചിംഗിന് അനുയോജ്യമാണ്). റാഡിക്കലുകളുടെ എണ്ണം കാറ്റേഷനുകളുടെ എണ്ണത്തേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്. ഈ സാഹചര്യത്തിൽ, ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് വെറ്റ് എച്ചിംഗ് പോലെ ഐസോട്രോപിക് ആയിരിക്കണം.

എന്നിരുന്നാലും, ഡ്രൈ എച്ചിംഗിൻ്റെ അനിസോട്രോപിക് എച്ചിംഗാണ് അൾട്രാ-മിനിയറ്ററൈസ്ഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ സാധ്യമാക്കുന്നത്. എന്താണ് ഇതിന് കാരണം? കൂടാതെ, കാറ്റേഷനുകളുടെയും റാഡിക്കലുകളുടെയും കൊത്തുപണി വേഗത വളരെ കുറവാണ്. ഈ പോരായ്മയുടെ പശ്ചാത്തലത്തിൽ വൻതോതിലുള്ള ഉൽപാദനത്തിന് പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് രീതികൾ എങ്ങനെ പ്രയോഗിക്കാം?

 

1. വീക്ഷണാനുപാതം (A/R)

 

ചിത്രം 1. വീക്ഷണാനുപാതം എന്ന ആശയവും സാങ്കേതിക പുരോഗതിയുടെ സ്വാധീനവും

 

വീക്ഷണാനുപാതം എന്നത് തിരശ്ചീന വീതിയും ലംബമായ ഉയരവും തമ്മിലുള്ള അനുപാതമാണ് (അതായത്, ഉയരം വീതി കൊണ്ട് ഹരിച്ചാൽ). സർക്യൂട്ടിൻ്റെ ക്രിട്ടിക്കൽ ഡയമൻഷൻ (സിഡി) ചെറുതാകുമ്പോൾ, വീക്ഷണാനുപാത മൂല്യം വലുതായിരിക്കും. അതായത്, വീക്ഷണാനുപാത മൂല്യം 10 ​​ഉം 10nm വീതിയും കണക്കാക്കിയാൽ, എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ തുളച്ചിരിക്കുന്ന ദ്വാരത്തിൻ്റെ ഉയരം 100nm ആയിരിക്കണം. അതിനാൽ, അൾട്രാ മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ (2D) അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത (3D) ആവശ്യമുള്ള അടുത്ത തലമുറ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾക്ക്, എച്ചിംഗ് സമയത്ത് കാറ്റേഷനുകൾക്ക് താഴെയുള്ള ഫിലിമിലേക്ക് തുളച്ചുകയറാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ വളരെ ഉയർന്ന വീക്ഷണാനുപാത മൂല്യങ്ങൾ ആവശ്യമാണ്.

 

2D ഉൽപ്പന്നങ്ങളിൽ 10nm-ൽ താഴെയുള്ള നിർണായകമായ അളവിലുള്ള അൾട്രാ-മിനിയറ്ററൈസേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യ നേടുന്നതിന്, ഡൈനാമിക് റാൻഡം ആക്‌സസ് മെമ്മറിയുടെ (DRAM) കപ്പാസിറ്റർ വീക്ഷണാനുപാത മൂല്യം 100-ന് മുകളിൽ നിലനിർത്തണം. അതുപോലെ, 3D NAND ഫ്ലാഷ് മെമ്മറിക്ക് ഉയർന്ന വീക്ഷണാനുപാത മൂല്യങ്ങളും ആവശ്യമാണ്. 256 ലെയറുകളോ അതിലധികമോ സെൽ സ്റ്റാക്കിംഗ് ലെയറുകളോ അടുക്കാൻ. മറ്റ് പ്രക്രിയകൾക്ക് ആവശ്യമായ വ്യവസ്ഥകൾ പാലിച്ചാലും, ആവശ്യമായ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയില്ലകൊത്തുപണി പ്രക്രിയനിലവാരം പുലർത്തുന്നില്ല. അതുകൊണ്ടാണ് എച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ കൂടുതൽ പ്രാധാന്യമർഹിക്കുന്നത്.

 

2. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗിൻ്റെ അവലോകനം

 

ചിത്രം 2. ഫിലിം തരം അനുസരിച്ച് പ്ലാസ്മ ഉറവിട വാതകം നിർണ്ണയിക്കുന്നു

 

ഒരു പൊള്ളയായ പൈപ്പ് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, പൈപ്പ് വ്യാസം ഇടുങ്ങിയതാണ്, ദ്രാവകത്തിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, ഇത് കാപ്പിലറി പ്രതിഭാസം എന്ന് വിളിക്കപ്പെടുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, തുറന്ന സ്ഥലത്ത് ഒരു ദ്വാരം (അടച്ച അവസാനം) തുളച്ചാൽ, ദ്രാവകത്തിൻ്റെ ഇൻപുട്ട് വളരെ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്. അതിനാൽ, 1970-കളുടെ മധ്യത്തിൽ സർക്യൂട്ടിൻ്റെ നിർണായക വലുപ്പം 3um മുതൽ 5um വരെ ആയിരുന്നതിനാൽ, വരണ്ടകൊത്തുപണിനനഞ്ഞ കൊത്തുപണിയെ ക്രമേണ മുഖ്യധാരയായി മാറ്റിസ്ഥാപിച്ചു. അതായത്, അയോണൈസ്ഡ് ആണെങ്കിലും, ഒരു തന്മാത്രയുടെ അളവ് ഒരു ഓർഗാനിക് പോളിമർ ലായനി തന്മാത്രയേക്കാൾ ചെറുതായതിനാൽ ആഴത്തിലുള്ള ദ്വാരങ്ങളിൽ തുളച്ചുകയറുന്നത് എളുപ്പമാണ്.

പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് സമയത്ത്, പ്രസക്തമായ പാളിക്ക് അനുയോജ്യമായ പ്ലാസ്മ ഉറവിട വാതകം കുത്തിവയ്ക്കുന്നതിന് മുമ്പ്, എച്ചിംഗിനായി ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്രോസസ്സിംഗ് ചേമ്പറിൻ്റെ ഉൾവശം ഒരു വാക്വം അവസ്ഥയിലേക്ക് ക്രമീകരിക്കണം. സോളിഡ് ഓക്സൈഡ് ഫിലിമുകൾ എച്ചിംഗ് ചെയ്യുമ്പോൾ, ശക്തമായ കാർബൺ ഫ്ലൂറൈഡ് അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഉറവിട വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കണം. താരതമ്യേന ദുർബലമായ സിലിക്കൺ അല്ലെങ്കിൽ മെറ്റൽ ഫിലിമുകൾക്ക്, ക്ലോറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പ്ലാസ്മ ഉറവിട വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കണം.

അപ്പോൾ, ഗേറ്റ് ലെയറും അണ്ടർലൈയിംഗ് സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് (SiO2) ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ലെയറും എങ്ങനെ കൊത്തിവയ്ക്കണം?

ആദ്യം, ഗേറ്റ് ലെയറിനായി, പോളിസിലിക്കൺ എച്ചിംഗ് സെലക്റ്റിവിറ്റിയുള്ള ക്ലോറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പ്ലാസ്മ (സിലിക്കൺ + ക്ലോറിൻ) ഉപയോഗിച്ച് സിലിക്കൺ നീക്കം ചെയ്യണം. താഴെയുള്ള ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ലെയറിനായി, സിലിക്കൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ് ഫിലിം രണ്ട് ഘട്ടങ്ങളായി കാർബൺ ഫ്ലൂറൈഡ് അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പ്ലാസ്മ സോഴ്സ് ഗ്യാസ് (സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് + കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്) ഉപയോഗിച്ച് ശക്തമായ എച്ചിംഗ് സെലക്റ്റിവിറ്റിയും ഫലപ്രാപ്തിയും ഉപയോഗിച്ച് കൊത്തിവയ്ക്കണം.

 

3. റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (RIE അല്ലെങ്കിൽ ഫിസിക്കോകെമിക്കൽ എച്ചിംഗ്) പ്രക്രിയ

 

ചിത്രം 3. റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗിൻ്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ (അനിസോട്രോപ്പിയും ഉയർന്ന എച്ചിംഗ് നിരക്കും)

 

പ്ലാസ്മയിൽ ഐസോട്രോപിക് ഫ്രീ റാഡിക്കലുകളും അനിസോട്രോപിക് കാറ്റേഷനുകളും അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു, അതിനാൽ അത് അനിസോട്രോപിക് എച്ചിംഗ് എങ്ങനെ നിർവഹിക്കും?

പ്ലാസ്മ ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് പ്രധാനമായും റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (RIE, റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ്) അല്ലെങ്കിൽ ഈ രീതിയെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ വഴിയാണ് നടത്തുന്നത്. അനിസോട്രോപിക് കാറ്റേഷനുകൾ ഉപയോഗിച്ച് എച്ചിംഗ് ഏരിയയെ ആക്രമിച്ച് ഫിലിമിലെ ടാർഗെറ്റ് തന്മാത്രകൾ തമ്മിലുള്ള ബൈൻഡിംഗ് ബലം ദുർബലപ്പെടുത്തുക എന്നതാണ് RIE രീതിയുടെ കാതൽ. ദുർബലമായ പ്രദേശം സ്വതന്ത്ര റാഡിക്കലുകളാൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു, പാളി നിർമ്മിക്കുന്ന കണങ്ങളുമായി സംയോജിപ്പിച്ച് വാതകമായി (ഒരു അസ്ഥിര സംയുക്തം) പരിവർത്തനം ചെയ്യപ്പെടുകയും പുറത്തുവിടുകയും ചെയ്യുന്നു.

സ്വതന്ത്ര റാഡിക്കലുകൾക്ക് ഐസോട്രോപിക് സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഉണ്ടെങ്കിലും, അടിഭാഗത്തെ (കാറ്റേഷനുകളുടെ ആക്രമണത്താൽ ബൈൻഡിംഗ് ഫോഴ്‌സ് ദുർബലമാകുന്ന) തന്മാത്രകൾ സ്വതന്ത്ര റാഡിക്കലുകളാൽ എളുപ്പത്തിൽ പിടിച്ചെടുക്കുകയും ശക്തമായ ബൈൻഡിംഗ് ഫോഴ്‌സുള്ള പാർശ്വഭിത്തികളേക്കാൾ പുതിയ സംയുക്തങ്ങളായി പരിവർത്തനം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. അതിനാൽ, താഴേക്കുള്ള കൊത്തുപണി മുഖ്യധാരയായി മാറുന്നു. പിടിച്ചെടുത്ത കണങ്ങൾ ഫ്രീ റാഡിക്കലുകളുള്ള വാതകമായി മാറുന്നു, അവ ശൂന്യമാക്കപ്പെടുകയും വാക്വം പ്രവർത്തനത്തിൽ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് പുറത്തുവിടുകയും ചെയ്യുന്നു.

 

ഈ സമയത്ത്, ശാരീരിക പ്രവർത്തനത്തിലൂടെ ലഭിക്കുന്ന കാറ്റേഷനുകളും രാസപ്രവർത്തനത്തിലൂടെ ലഭിക്കുന്ന ഫ്രീ റാഡിക്കലുകളും ഫിസിക്കൽ, കെമിക്കൽ എച്ചിംഗിനായി സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ എച്ചിംഗ് നിരക്ക് (എച്ചിംഗ് നിരക്ക്, ഒരു നിശ്ചിത കാലയളവിലെ കൊത്തുപണിയുടെ അളവ്) 10 മടങ്ങ് വർദ്ധിക്കുന്നു. കാറ്റാനിക് എച്ചിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ഫ്രീ റാഡിക്കൽ എച്ചിംഗ് എന്നിവയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ. ഈ രീതിക്ക് അനിസോട്രോപിക് ഡൗൺവേർഡ് എച്ചിംഗിൻ്റെ എച്ചിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ മാത്രമല്ല, എച്ചിംഗിന് ശേഷമുള്ള പോളിമർ അവശിഷ്ടങ്ങളുടെ പ്രശ്നം പരിഹരിക്കാനും കഴിയും. ഈ രീതിയെ റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (RIE) എന്ന് വിളിക്കുന്നു. RIE എച്ചിംഗിൻ്റെ വിജയത്തിൻ്റെ താക്കോൽ ഫിലിം എച്ചിംഗിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു പ്ലാസ്മ ഉറവിട വാതകം കണ്ടെത്തുക എന്നതാണ്. ശ്രദ്ധിക്കുക: പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് RIE എച്ചിംഗ് ആണ്, രണ്ടും ഒരേ ആശയമായി കണക്കാക്കാം.

 

4. എച്ച് റേറ്റും കോർ പെർഫോമൻസ് ഇൻഡക്സും

 

ചിത്രം 4. Etch നിരക്കുമായി ബന്ധപ്പെട്ട കോർ Etch പ്രകടന സൂചിക

 

ഒരു മിനിറ്റിനുള്ളിൽ എത്തുമെന്ന് പ്രതീക്ഷിക്കുന്ന ഫിലിമിൻ്റെ ആഴത്തെ Etch rate സൂചിപ്പിക്കുന്നു. അപ്പോൾ ഒരു വേഫറിൽ ഭാഗങ്ങളിൽ നിന്ന് ഭാഗത്തേക്ക് എച്ച് നിരക്ക് വ്യത്യാസപ്പെടുന്നു എന്നതിൻ്റെ അർത്ഥമെന്താണ്?

ഇതിനർത്ഥം, വേഫറിൻ്റെ ഭാഗങ്ങളിൽ നിന്ന് ഭാഗത്തേക്ക് കൊത്തുപണിയുടെ ആഴം വ്യത്യാസപ്പെടുന്നു എന്നാണ്. ഇക്കാരണത്താൽ, ശരാശരി എച്ച് നിരക്കും എച്ച് ഡെപ്‌ത്തും പരിഗണിച്ച് എച്ചിംഗ് നിർത്തേണ്ട അവസാന പോയിൻ്റ് (ഇഒപി) സജ്ജീകരിക്കുന്നത് വളരെ പ്രധാനമാണ്. EOP സജ്ജീകരിച്ചിട്ടുണ്ടെങ്കിലും, ആദ്യം ആസൂത്രണം ചെയ്തതിനേക്കാൾ ആഴത്തിലുള്ള (അധികം-എച്ചഡ്) അല്ലെങ്കിൽ ആഴം കുറഞ്ഞ (താഴ്ന്ന-എച്ചഡ്) ചില മേഖലകൾ ഇപ്പോഴും ഉണ്ട്. എന്നിരുന്നാലും, എച്ചിംഗ് സമയത്ത് അമിതമായി കൊത്തിയെടുക്കുന്നതിനേക്കാൾ കൂടുതൽ കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് അണ്ടർ എച്ചിംഗ് ആണ്. കാരണം അണ്ടർ എച്ചിംഗിൻ്റെ കാര്യത്തിൽ, അണ്ടർ-എച്ചഡ് ഭാഗം അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ പോലുള്ള തുടർന്നുള്ള പ്രക്രിയകളെ തടസ്സപ്പെടുത്തും.

അതേസമയം, എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ പ്രധാന പ്രകടന സൂചകമാണ് സെലക്ടിവിറ്റി (എച്ച് റേറ്റ് ഉപയോഗിച്ച് അളക്കുന്നത്). മാസ്ക് ലെയറിൻ്റെ (ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിം, ഓക്സൈഡ് ഫിലിം, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് ഫിലിം മുതലായവ) ടാർഗെറ്റ് ലെയറിൻ്റെ എച്ച് നിരക്കിൻ്റെ താരതമ്യത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ് അളവ് മാനദണ്ഡം. ഇതിനർത്ഥം ഉയർന്ന സെലക്‌ടിവിറ്റി, ടാർഗെറ്റ് ലെയർ വേഗത്തിലാക്കുന്നു എന്നാണ്. മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ്റെ ഉയർന്ന തലം, മികച്ച പാറ്റേണുകൾ മികച്ച രീതിയിൽ അവതരിപ്പിക്കാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കുക എന്നതാണ് ഉയർന്ന സെലക്ടിവിറ്റി ആവശ്യകത. എച്ചിംഗ് ദിശ നേരായതിനാൽ, കാറ്റാനിക് എച്ചിംഗിൻ്റെ സെലക്ടിവിറ്റി കുറവാണ്, അതേസമയം റാഡിക്കൽ എച്ചിംഗിൻ്റെ സെലക്റ്റിവിറ്റി ഉയർന്നതാണ്, ഇത് RIE യുടെ സെലക്റ്റിവിറ്റി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

 

5. എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയ

 

ചിത്രം 5. എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയ

 

ആദ്യം, 800 നും 1000℃ നും ഇടയിൽ താപനില നിലനിർത്തുന്ന ഒരു ഓക്സിഡേഷൻ ചൂളയിൽ വേഫർ സ്ഥാപിക്കുന്നു, തുടർന്ന് ഉയർന്ന ഇൻസുലേഷൻ ഗുണങ്ങളുള്ള ഒരു സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് (SiO2) ഫിലിം ഉണങ്ങിയ രീതി ഉപയോഗിച്ച് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ രൂപം കൊള്ളുന്നു. അടുത്തതായി, കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി) / ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി) വഴി ഓക്സൈഡ് ഫിലിമിൽ ഒരു സിലിക്കൺ പാളി അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ചാലക പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് നിക്ഷേപ പ്രക്രിയയിൽ പ്രവേശിക്കുന്നു. ഒരു സിലിക്കൺ പാളി രൂപപ്പെട്ടാൽ, ആവശ്യമെങ്കിൽ ചാലകത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് ഒരു അശുദ്ധി വ്യാപന പ്രക്രിയ നടത്താം. അശുദ്ധി വ്യാപന പ്രക്രിയയിൽ, ഒന്നിലധികം മാലിന്യങ്ങൾ പലപ്പോഴും ആവർത്തിച്ച് ചേർക്കുന്നു.

ഈ സമയത്ത്, ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ലെയറും പോളിസിലിക്കൺ പാളിയും എച്ചിംഗിനായി കൂട്ടിച്ചേർക്കണം. ആദ്യം, ഒരു ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. തുടർന്ന്, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിമിൽ ഒരു മാസ്ക് സ്ഥാപിക്കുകയും ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ഫിലിമിൽ ആവശ്യമുള്ള പാറ്റേൺ (നഗ്നനേത്രങ്ങൾക്ക് അദൃശ്യമായത്) മുദ്രകുത്തുന്നതിന് മുക്കി നനഞ്ഞ എക്സ്പോഷർ നടത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. വികസനം വഴി പാറ്റേൺ രൂപരേഖ വെളിപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഫോട്ടോസെൻസിറ്റീവ് ഏരിയയിലെ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് നീക്കം ചെയ്യപ്പെടും. തുടർന്ന്, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത വേഫർ ഡ്രൈ എച്ചിംഗിനായി എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിലേക്ക് മാറ്റുന്നു.

ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് പ്രധാനമായും നടത്തുന്നത് റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (RIE) ആണ്, ഇതിൽ ഓരോ ഫിലിമിനും അനുയോജ്യമായ ഉറവിട വാതകം മാറ്റിസ്ഥാപിച്ചുകൊണ്ടാണ് പ്രധാനമായും എച്ചിംഗ് ആവർത്തിക്കുന്നത്. ഡ്രൈ എച്ചിംഗും വെറ്റ് എച്ചിംഗും എച്ചിംഗിൻ്റെ വീക്ഷണാനുപാതം (A/R മൂല്യം) വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ ലക്ഷ്യമിടുന്നു. കൂടാതെ, ദ്വാരത്തിൻ്റെ അടിയിൽ അടിഞ്ഞുകൂടിയ പോളിമർ (എച്ചിംഗ് വഴി രൂപം കൊള്ളുന്ന വിടവ്) നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി പതിവായി വൃത്തിയാക്കൽ ആവശ്യമാണ്. ക്ലീനിംഗ് ലായനി അല്ലെങ്കിൽ പ്ലാസ്മ ഉറവിട വാതകം ട്രെഞ്ചിൻ്റെ അടിയിലേക്ക് ഒഴുകാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ എല്ലാ വേരിയബിളുകളും (മെറ്റീരിയലുകൾ, ഉറവിട വാതകം, സമയം, രൂപം, ക്രമം എന്നിവ പോലുള്ളവ) ഓർഗാനിക് ആയി ക്രമീകരിക്കണം എന്നതാണ് പ്രധാന കാര്യം. ഒരു വേരിയബിളിലെ ഒരു ചെറിയ മാറ്റത്തിന് മറ്റ് വേരിയബിളുകളുടെ വീണ്ടും കണക്കുകൂട്ടൽ ആവശ്യമാണ്, ഓരോ ഘട്ടത്തിൻ്റെയും ഉദ്ദേശ്യം നിറവേറ്റുന്നതുവരെ ഈ വീണ്ടും കണക്കുകൂട്ടൽ പ്രക്രിയ ആവർത്തിക്കുന്നു. സമീപകാലത്ത്, ആറ്റോമിക് ലെയർ ഡിപ്പോസിഷൻ (എഎൽഡി) പാളികൾ പോലുള്ള മോണോ ആറ്റോമിക് പാളികൾ കനം കുറഞ്ഞതും കഠിനവുമാണ്. അതിനാൽ, കുറഞ്ഞ താപനിലയുടെയും മർദ്ദത്തിൻ്റെയും ഉപയോഗത്തിലേക്ക് എച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ നീങ്ങുന്നു. മികച്ച പാറ്റേണുകൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിന് ക്രിട്ടിക്കൽ ഡൈമൻഷൻ (സിഡി) നിയന്ത്രിക്കാനും എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയ മൂലമുണ്ടാകുന്ന പ്രശ്നങ്ങൾ ഒഴിവാക്കപ്പെടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കാനും എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയ ലക്ഷ്യമിടുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് അണ്ടർ-എച്ചിംഗ്, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതുമായി ബന്ധപ്പെട്ട പ്രശ്നങ്ങൾ. എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ഉദ്ദേശ്യം, മേൽപ്പറഞ്ഞ ലക്ഷ്യങ്ങൾ കൈവരിക്കുന്നതിനുള്ള തടസ്സങ്ങൾ, അത്തരം തടസ്സങ്ങളെ മറികടക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്രകടന സൂചകങ്ങൾ എന്നിവയെക്കുറിച്ച് വായനക്കാർക്ക് ഒരു ധാരണ നൽകാനാണ് എച്ചിംഗിനെക്കുറിച്ചുള്ള മുകളിലുള്ള രണ്ട് ലേഖനങ്ങൾ ലക്ഷ്യമിടുന്നത്.