കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (സിവിഡി) തിൻ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജിയുടെ ആമുഖം

കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (സിവിഡി) ഒരു പ്രധാന നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്, ഇത് പലപ്പോഴും വിവിധ ഫങ്ഷണൽ ഫിലിമുകളും നേർത്ത പാളികളും തയ്യാറാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലും മറ്റ് മേഖലകളിലും ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

1. സിവിഡിയുടെ പ്രവർത്തന തത്വം

CVD പ്രക്രിയയിൽ, ഒരു വാതക മുൻഗാമി (ഒന്നോ അതിലധികമോ വാതക മുൻഗാമി സംയുക്തങ്ങൾ) അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലവുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തുകയും ഒരു നിശ്ചിത താപനിലയിൽ ചൂടാക്കുകയും ഒരു രാസപ്രവർത്തനത്തിന് കാരണമാവുകയും ആവശ്യമുള്ള ഫിലിം അല്ലെങ്കിൽ കോട്ടിംഗ് രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. പാളി. ഈ രാസപ്രവർത്തനത്തിൻ്റെ ഉൽപ്പന്നം ഒരു സോളിഡ് ആണ്, സാധാരണയായി ആവശ്യമുള്ള പദാർത്ഥത്തിൻ്റെ സംയുക്തമാണ്. നമുക്ക് ഒരു പ്രതലത്തിൽ സിലിക്കൺ ഒട്ടിക്കാൻ താൽപ്പര്യമുണ്ടെങ്കിൽ, നമുക്ക് ട്രൈക്ലോറോസിലേൻ (SiHCl3) മുൻഗാമി വാതകമായി ഉപയോഗിക്കാം: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl സിലിക്കൺ ഏത് തുറന്ന പ്രതലത്തിലും (ആന്തരികവും ബാഹ്യവും) ബന്ധിപ്പിക്കും, അതേസമയം ക്ലോറിൻ, ഹൈഡ്രോക്ലോറിക് ആസിഡ് വാതകങ്ങൾ ചേമ്പറിൽ നിന്ന് ഡിസ്ചാർജ് ചെയ്യണം.

2. CVD വർഗ്ഗീകരണം

തെർമൽ സിവിഡി: മുൻഗാമി വാതകത്തെ ചൂടാക്കി വിഘടിപ്പിക്കുകയും അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുക. പ്ലാസ്മ എൻഹാൻസ്ഡ് സിവിഡി (പിഇസിവിഡി): പ്രതികരണ നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കാനും നിക്ഷേപ പ്രക്രിയ നിയന്ത്രിക്കാനും പ്ലാസ്മ തെർമൽ സിവിഡിയിൽ ചേർക്കുന്നു. മെറ്റൽ ഓർഗാനിക് CVD (MOCVD): ലോഹ ഓർഗാനിക് സംയുക്തങ്ങളെ മുൻഗാമി വാതകങ്ങളായി ഉപയോഗിച്ച്, ലോഹങ്ങളുടെയും അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെയും നേർത്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാം, കൂടാതെ LED- കൾ പോലുള്ള ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

3. അപേക്ഷ

(1) അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം

സിലിസൈഡ് ഫിലിം: ഇൻസുലേറ്റിംഗ് പാളികൾ, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ, ഐസൊലേഷൻ പാളികൾ മുതലായവ തയ്യാറാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. നൈട്രൈഡ് ഫിലിം: സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്, അലുമിനിയം നൈട്രൈഡ് മുതലായവ തയ്യാറാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, എൽഇഡികൾ, പവർ ഉപകരണങ്ങൾ മുതലായവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. മെറ്റൽ ഫിലിം: ചാലക പാളികൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, മെറ്റലൈസ്ഡ് പാളികൾ മുതലായവ.

(2) ഡിസ്പ്ലേ ടെക്നോളജി

ITO ഫിലിം: ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകളിലും ടച്ച് സ്ക്രീനുകളിലും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന സുതാര്യമായ ചാലക ഓക്സൈഡ് ഫിലിം. കോപ്പർ ഫിലിം: ഡിസ്പ്ലേ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് പാക്കേജിംഗ് പാളികൾ, ചാലക ലൈനുകൾ മുതലായവ തയ്യാറാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

(3) മറ്റ് ഫീൽഡുകൾ

ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകൾ: ആൻ്റി-റിഫ്ലക്ടീവ് കോട്ടിംഗുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫിൽട്ടറുകൾ മുതലായവ ഉൾപ്പെടെ. ആൻ്റി-കോറോൺ കോട്ടിംഗ്: ഓട്ടോമോട്ടീവ് ഭാഗങ്ങൾ, എയ്‌റോസ്‌പേസ് ഉപകരണങ്ങൾ മുതലായവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

4. CVD പ്രക്രിയയുടെ സവിശേഷതകൾ

പ്രതികരണ വേഗത പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിന് ഉയർന്ന താപനില അന്തരീക്ഷം ഉപയോഗിക്കുക. സാധാരണയായി ഒരു വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ നടത്തുന്നു. പെയിൻ്റിംഗ് ചെയ്യുന്നതിന് മുമ്പ് ഭാഗത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലെ മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യണം. ഈ പ്രക്രിയയ്ക്ക് പൂശാൻ കഴിയുന്ന സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളിൽ പരിമിതികൾ ഉണ്ടായിരിക്കാം, അതായത് താപനില പരിമിതികൾ അല്ലെങ്കിൽ പ്രതിപ്രവർത്തന പരിമിതികൾ. ത്രെഡുകൾ, അന്ധമായ ദ്വാരങ്ങൾ, ആന്തരിക പ്രതലങ്ങൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ ഭാഗത്തിൻ്റെ എല്ലാ ഭാഗങ്ങളും CVD കോട്ടിംഗ് ഉൾക്കൊള്ളുന്നു. നിർദ്ദിഷ്ട ടാർഗെറ്റ് ഏരിയകൾ മറയ്ക്കാനുള്ള കഴിവ് പരിമിതപ്പെടുത്തിയേക്കാം. പ്രോസസ്സ്, മെറ്റീരിയൽ അവസ്ഥകൾ എന്നിവയാൽ ഫിലിം കനം പരിമിതമാണ്. സുപ്പീരിയർ അഡീഷൻ.