ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുമായി താരതമ്യം ചെയ്യുമ്പോൾ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടിൻ്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ

യുടെ പ്രധാന പ്രവർത്തനങ്ങൾസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്പിന്തുണയും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് പിന്തുണയും ഒന്നുതന്നെയാണ്.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്പിന്തുണയ്ക്ക് മികച്ച പ്രകടനമുണ്ട്, പക്ഷേ ഉയർന്ന വിലയുണ്ട്. കഠിനമായ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളുള്ള (LPCVD ഉപകരണങ്ങളും ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ ഉപകരണങ്ങളും പോലുള്ളവ) ബാറ്ററി പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ട് പിന്തുണയുമായി ഇത് ഒരു ബദൽ ബന്ധം സ്ഥാപിക്കുന്നു. സാധാരണ ജോലി സാഹചര്യങ്ങളുള്ള ബാറ്ററി പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ, വില ബന്ധങ്ങൾ കാരണം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് പിന്തുണയും ഒരുമിച്ച് നിലനിൽക്കുന്നതും മത്സരിക്കുന്നതുമായ വിഭാഗങ്ങളായി മാറുന്നു.

① എൽപിസിവിഡിയിലും ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ ഉപകരണങ്ങളിലും സബ്സ്റ്റിറ്റ്യൂഷൻ ബന്ധം

ബാറ്ററി സെൽ ടണലിംഗ് ഓക്‌സിഡേഷനും ഡോപ്ഡ് പോളിസിലിക്കൺ ലെയർ തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയ്ക്കും LPCVD ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രവർത്തന തത്വം:

താഴ്ന്ന മർദ്ദമുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ, ഉചിതമായ താപനിലയും രാസപ്രവർത്തനവും ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിം രൂപീകരണവും ചേർന്ന് അൾട്രാ-നേർത്ത ടണലിംഗ് ഓക്സൈഡ് പാളിയും പോളിസിലിക്കൺ ഫിലിമും തയ്യാറാക്കുന്നു. ടണലിംഗ് ഓക്‌സിഡേഷനിലും ഡോപ്പ് ചെയ്ത പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയിലും, ബോട്ട് സപ്പോർട്ടിന് ഉയർന്ന പ്രവർത്തന താപനിലയുണ്ട്, കൂടാതെ ഒരു സിലിക്കൺ ഫിലിം ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കപ്പെടും. ക്വാർട്സിൻ്റെ താപ വികാസ ഗുണകം സിലിക്കണിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമാണ്. മേൽപ്പറഞ്ഞ പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, സിലിക്കണിൽ നിന്നുള്ള വ്യത്യസ്ത താപ വികാസ ഗുണകം മൂലം താപ വികാസവും സങ്കോചവും കാരണം ക്വാർട്സ് ബോട്ട് പിന്തുണ തകരുന്നത് തടയാൻ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന സിലിക്കൺ പതിവായി അച്ചാറിട്ട് നീക്കം ചെയ്യേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. ഇടയ്‌ക്കിടെയുള്ള അച്ചാറും കുറഞ്ഞ ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും കാരണം, ക്വാർട്‌സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് ഹ്രസ്വകാല ആയുസ്സുണ്ട്, കൂടാതെ ടണൽ ഓക്‌സിഡേഷനും ഡോപ്ഡ് പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയിലും ഇടയ്‌ക്കിടെ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ബാറ്ററി സെല്ലിൻ്റെ ഉൽപാദനച്ചെലവ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. വിപുലീകരണ ഗുണകംസിലിക്കൺ കാർബൈഡ്സിലിക്കണിന് അടുത്താണ്. സംയോജിതസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്ടണൽ ഓക്‌സിഡേഷനിലും ഡോപ്പ് ചെയ്ത പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയിലും ഹോൾഡർക്ക് അച്ചാർ ആവശ്യമില്ല. ഇതിന് ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും നീണ്ട സേവന ജീവിതവുമുണ്ട്. ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് ഇത് നല്ലൊരു ബദലാണ്.

ഒരു പിഎൻ ജംഗ്ഷൻ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് പി-ടൈപ്പ് എമിറ്റർ തയ്യാറാക്കുന്നതിനായി ബാറ്ററി സെല്ലിൻ്റെ എൻ-ടൈപ്പ് സിലിക്കൺ വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ ബോറോൺ ഘടകങ്ങൾ ഡോപ്പിംഗ് ചെയ്യുന്ന പ്രക്രിയയ്ക്കാണ് ബോറോൺ വിപുലീകരണ ഉപകരണങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്. ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ രാസപ്രവർത്തനവും മോളിക്യുലാർ ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിം രൂപീകരണവും തിരിച്ചറിയുക എന്നതാണ് പ്രവർത്തന തത്വം. ഫിലിം രൂപപ്പെട്ടതിനുശേഷം, സിലിക്കൺ വേഫർ ഉപരിതലത്തിൻ്റെ ഡോപ്പിംഗ് ഫംഗ്‌ഷൻ തിരിച്ചറിയാൻ ഉയർന്ന താപനില ചൂടാക്കൽ വഴി അത് വ്യാപിപ്പിക്കാനാകും. ബോറോൺ വിപുലീകരണ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉയർന്ന പ്രവർത്തന താപനില കാരണം, ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് കുറഞ്ഞ ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും ബോറോൺ വിപുലീകരണ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഒരു ചെറിയ സേവന ജീവിതവുമുണ്ട്. സംയോജിതസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്ഹോൾഡറിന് ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയുണ്ട്, കൂടാതെ ബോറോൺ വിപുലീകരണ പ്രക്രിയയിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് നല്ലൊരു ബദലാണ്.

② മറ്റ് പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങളിൽ സബ്സ്റ്റിറ്റ്യൂഷൻ ബന്ധം

SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾക്ക് ഇറുകിയ ഉൽപ്പാദന ശേഷിയും മികച്ച പ്രകടനവുമുണ്ട്. അവയുടെ വില സാധാരണയായി ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളേക്കാൾ കൂടുതലാണ്. സെൽ പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ പൊതുവായ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളിൽ, SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും തമ്മിലുള്ള സേവന ജീവിതത്തിൽ വ്യത്യാസം കുറവാണ്. ഡൗൺസ്ട്രീം ഉപഭോക്താക്കൾ പ്രധാനമായും അവരുടെ സ്വന്തം പ്രക്രിയകളെയും ആവശ്യങ്ങളെയും അടിസ്ഥാനമാക്കി വിലയും പ്രകടനവും തമ്മിൽ താരതമ്യം ചെയ്യുകയും തിരഞ്ഞെടുക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും ഒരുമിച്ച് നിലനിൽക്കുന്നതും മത്സരപരവുമാണ്. എന്നിരുന്നാലും, SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ മൊത്ത ലാഭം നിലവിൽ താരതമ്യേന ഉയർന്നതാണ്. SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ ഉൽപ്പാദനച്ചെലവ് കുറയുന്നതോടെ, SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ വിൽപ്പന വില സജീവമായി കുറയുകയാണെങ്കിൽ, അത് ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളോട് കൂടുതൽ മത്സരക്ഷമത ഉയർത്തുകയും ചെയ്യും.

ഉപയോഗ അനുപാതം

സെൽ ടെക്നോളജി റൂട്ട് പ്രധാനമായും PERC സാങ്കേതികവിദ്യയും TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയുമാണ്. PERC സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വിപണി വിഹിതം 88% ആണ്, TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വിപണി വിഹിതം 8.3% ആണ്. രണ്ടിൻ്റെയും വിപണി വിഹിതം 96.30% ആണ്.

ചുവടെയുള്ള ചിത്രത്തിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ:

PERC സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഫ്രണ്ട് ഫോസ്ഫറസ് വ്യാപനത്തിനും അനീലിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്കും ബോട്ട് പിന്തുണ ആവശ്യമാണ്. TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഫ്രണ്ട് ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ, എൽപിസിവിഡി, ബാക്ക് ഫോസ്ഫറസ് ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയ്ക്ക് ബോട്ട് പിന്തുണ ആവശ്യമാണ്. നിലവിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾ പ്രധാനമായും TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ LPCVD പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രക്രിയയിൽ അവയുടെ പ്രയോഗം പ്രധാനമായും പരിശോധിച്ചു.

സെൽ പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ ചിത്രം

ശ്രദ്ധിക്കുക: PERC, TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ ഫ്രണ്ട് ആൻഡ് ബാക്ക് കോട്ടിംഗിന് ശേഷം, ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ ഉപയോഗം ഉൾപ്പെടാത്തതും മുകളിലെ ചിത്രത്തിൽ പട്ടികപ്പെടുത്തിയിട്ടില്ലാത്തതുമായ സ്‌ക്രീൻ പ്രിൻ്റിംഗ്, സിൻ്ററിംഗ്, ടെസ്റ്റിംഗ്, സോർട്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ ലിങ്കുകൾ ഇപ്പോഴും ഉണ്ട്.