PECVD Послужавник за вчитување Графитен послужавник за таложење

PECVD Вчитување на фиоката Таложење на фиока Графитна фиока Избрана слика

Краток опис:

Послужавникот за вчитување PECVD на VET Energy е дизајниран да обезбеди сигурна и рамномерна поддршка за наполитанките за време на таложењето, подобрувајќи ја конзистентноста и квалитетот на процесот на таложење. Со својата одлична отпорност на топлина, фиоката за графит помага во одржување на контролирана средина во PECVD коморите, намалувајќи го ризикот од контаминација и обезбедувајќи висока ефикасност на процесот.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Послужавникот за полнење VET Energy PECVD е прецизен носач дизајниран за процес PECVD (плазма засилено хемиско таложење на пареа). Оваа висококвалитетна фиока за таложење на графит е направена од графитен материјал со висока чистота и висока густина. Има одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики. Може да обезбеди стабилна платформа за носење за процесот PECVD и да обезбеди униформност и плошност на таложење на филмот.

VET Energy PECVD фиоките за полнење се широко користени во полупроводнички, фотоволтаични, LED и други полиња. На пример:

▪ Полупроводник: PECVD процес за полупроводнички материјали како што се силиконски наполитанки и епитаксијални наполитанки.

▪ Фотоволтаичен: PECVD процес за тенки филмови со соларни ќелии.

▪ LED: PECVD процес за LED чипови.

Предности на производот

▪Подобрете го квалитетот на филмот:Обезбедете еднообразно таложење на филмот и подобрете го квалитетот на филмот.

▪Продолжете го животниот век на опремата:Одлична отпорност на корозија, продолжување на работниот век на опремата PECVD.

▪Намалете ги трошоците за производство:Висококвалитетните графитни фиоки може да ја намалат стапката на отпад и да ги намалат трошоците за производство.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Масовна густина	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропустливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Тврдост на Роквел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Јачина на притисок	DIN 51910	130	MPa
Модул на Јанг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термичка експанзија (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на соларни ќелии со висока ефикасност, поддржувајќи обработка на нафора со големи димензии G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително ја зголемува пропусната моќ, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број носач на нафора
ПЕВЦД Грефит брод - Серијата 156	156-13 грефит брод	144
	156-19 грефит брод	216
	156-21 грефит брод	240
	156-23 графитен брод	308
PEVCD Grephite брод - Серијата 125	125-15 грефит брод	196
	125-19 грефит брод	252
	125-21 грфит брод	280