Поддршка за графитни нафора PECVD

PECVD графитна нафора за поддршка Избрана слика

Краток опис:

Дизајниран за прецизност и перформанси, поддршката за графитна обланда на VET Energy е идеален материјал за употреба во напредна обработка на нафора, каде што високата термичка стабилност и постојаните перформанси се клучни. Без разлика дали работите со полупроводнички наполитанки или други деликатни подлоги, оваа висококвалитетна поддршка за графит ќе ја подобри доверливоста на вашиот процес и квалитетот на производот, што ќе ја направи неопходна компонента за современото производство.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Поддршката за графитна обланда за процесирање VET Energy PECVD е јадро потрошен материјал дизајниран за процес PECVD (плазма подобрено хемиско таложење на пареа). Овој производ е направен од графитен материјал со висока чистота, висока густина, со одлична отпорност на висока температура, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики, може да обезбеди стабилна платформа за поддршка за процесот PECVD, за да се обезбеди униформност и плошност на таложење на филмот.

Дизајнот „поддршка за графит“ на поддршката за графитни обланди VET Energy не само што може ефикасно да ја поддржи нафората, туку и да обезбеди термичка стабилност во околината PECVD со висока температура и висок притисок за да се обезбеди стабилност на процесот.

Поддршката за графитна обланда за процесирање VET Energy PECVD ги има следните карактеристики:

▪Висока чистота:екстремно ниска содржина на нечистотии, избегнувајте контаминација на филмот, за да се обезбеди квалитетот на филмот.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка сила, може да издржи висока температура и висок притисок PECVD околина.

▪Добра димензионална стабилност:мали димензионални промени при висока температура за да се обезбеди стабилност на процесот.

▪Одлична топлинска спроводливост:ефикасно пренесување на топлина за да се спречи прегревање на нафората.

▪Силна отпорност на корозија:Способен да се спротивстави на ерозијата од разни корозивни гасови и плазма.

▪Прилагодена услуга:Графитните табели за поддршка со различни големини и форми може да се прилагодат според потребите на клиентите.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Масовна густина	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропустливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Тврдост на Роквел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Јачина на притисок	DIN 51910	130	MPa
Модул на Јанг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термичка експанзија (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на соларни ќелии со висока ефикасност, поддржувајќи обработка на нафора со големи димензии G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително ја зголемува пропусната моќ, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број носач на нафора
ПЕВЦД Грефит брод - Серијата 156	156-13 грефит брод	144
	156-19 грефит брод	216
	156-21 грефит брод	240
	156-23 графитен брод	308
PEVCD Grephite брод - Серијата 125	125-15 грефит брод	196
	125-19 грефит брод	252
	125-21 грфит брод	280