Држач за нафора од графитна подлога за PECVD

Држач за нафора од графитна подлога за избрана слика PECVD

Краток опис:

Држачот за графитна подлога на VET Energy е дизајниран да одржува усогласување и стабилност на обландите во текот на процесот на PECVD, спречувајќи ја контаминацијата и минимизирајќи го ризикот од оштетување. Графитниот држач за нафора обезбедува сигурна, рамномерна платформа, осигурувајќи дека обландите се рамномерно изложени на плазмата за постојано и висококвалитетно таложење. Со својата висока топлинска спроводливост и исклучителна цврстина, овој држач помага да се подобри севкупната ефикасност на процесот и перформансите на производот.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Држачот за нафора за подлога од графит VET Energy е прецизен носач дизајниран за процес PECVD (Плазма засилено хемиско таложење на пареа). Овој висококвалитетен држач за подлога од графит е направен од графитен материјал со висока чистота и густина, со одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, стабилност на димензиите и други карактеристики. Може да обезбеди стабилна платформа за поддршка за процесот PECVD и да обезбеди униформност и рамномерност на таложење на филмот.

Табелата за поддршка на графитни обланди за процесирање VET Energy PECVD ги има следните карактеристики:

▪Висока чистота:екстремно ниска содржина на нечистотии, избегнувајте контаминација на филмот, обезбедувајте квалитет на филмот.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка сила, може да издржи висока температура и висок притисок PECVD околина.

▪Добра димензионална стабилност:мала димензионална промена при висока температура, обезбедувајќи стабилност на процесот.

▪Одлична топлинска спроводливост:ефикасно пренесување на топлина за да се спречи прегревање на нафората.

▪Силна отпорност на корозија:може да се спротивстави на ерозијата од разни корозивни гасови и плазма.

▪Прилагодена услуга:Табелите за поддршка на графит со различни големини и форми може да се прилагодат според потребите на клиентите.

Предности на производот

▪Подобрете го квалитетот на филмот:Обезбедете еднообразно таложење на филмот и подобрете го квалитетот на филмот.

▪Продолжете го животниот век на опремата:Одлична отпорност на корозија, продолжување на работниот век на опремата PECVD.

▪Намалете ги трошоците за производство:Висококвалитетните графитни фиоки може да ја намалат стапката на отпад и да ги намалат трошоците за производство.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Масовна густина	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропустливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Тврдост на Роквел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Јачина на притисок	DIN 51910	130	MPa
Модул на Јанг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термичка експанзија (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на соларни ќелии со висока ефикасност, поддржувајќи обработка на нафора со големи димензии G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително ја зголемува пропусната моќ, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број носач на нафора
ПЕВЦД Грефит брод - Серијата 156	156-13 грефит брод	144
	156-19 грефит брод	216
	156-21 грефит брод	240
	156-23 графитен брод	308
PEVCD Grephite брод - Серијата 125	125-15 грефит брод	196
	125-19 грефит брод	252
	125-21 грфит брод	280