Внатрешната структура на опремата на цевката на печката е детално објаснета

Како што е прикажано погоре, е типичен

Прво полувреме:
Елемент за загревање (греен калем): се наоѓа околу цевката на печката, обично направена од отпорни жици, кои се користат за загревање на внатрешноста на цевката на печката.
Кварцна цевка: Јадрото на жешка печка за оксидација, изработена од кварц со висока чистота што може да издржи високи температури и да остане хемиски инертен.
Напојување со гас: Се наоѓа на горниот или на страната на цевката на печката, се користи за транспорт на кислород или други гасови во внатрешноста на цевката на печката.
SS прирабница: компоненти што ги поврзуваат кварцните цевки и гасоводите, обезбедувајќи затегнатост и стабилност на врската.
Линии за снабдување со гас: Цевки што го поврзуваат MFC со пристаништето за снабдување со гас за пренос на гас.
MFC (Контролор за масен проток) : Уред што го контролира протокот на гас во кварцна цевка за прецизно да го регулира количеството потребно гас.
Отвор: Се користи за проветрување на издувните гасови од внатрешноста на цевката на печката кон надворешната страна на опремата.

Долниот дел
Силиконски наполитанки во држач: Силиконските наполитанки се сместени во посебен држач за да се обезбеди рамномерна топлина за време на оксидацијата.
Држач за нафора: Се користи за држење на силиконската обланда и обезбедување дека силиконската обланда останува стабилна во текот на процесот.
Постамент: Структура која држи силиконски држач за нафора, обично изработен од материјал отпорен на високи температури.
Лифт: Се користи за подигање на држачи за нафора во и надвор од кварцните цевки за автоматско полнење и растоварување на силиконски наполитанки.
Роботот за пренос на нафора: кој се наоѓа на страната на уредот за цевка на печката, се користи за автоматско отстранување на силиконската обланда од кутијата и ставање во цевката на печката или за отстранување по обработката.
Рингишпил за складирање на касети: Рингишпилот за складирање на касети се користи за складирање на кутија што содржи силиконски наполитанки и може да се ротира за пристап на роботите.
Касета за нафора: касета за нафора се користи за складирање и пренесување на силиконските наполитанки што треба да се обработат.