Внатрешната структура на опремата на цевката на печката е детално објаснета

Како што е прикажано погоре, е типичен

Прво полувреме:

▪ Елемент за греење (греен калем):

лоцирана околу цевката на печката, обично направена од жици за отпор, кои се користат за загревање на внатрешноста на цевката на печката.

▪ Кварцна цевка:

Јадрото на жешката печка за оксидација, изработена од кварц со висока чистота што може да издржи високи температури и да остане хемиски инертен.

▪ Напојување со гас:

Се наоѓа на горниот или на страната на цевката на печката, а се користи за транспорт на кислород или други гасови во внатрешноста на цевката на печката.

▪ SS прирабница:

компоненти кои поврзуваат кварцни цевки и гасоводи, обезбедувајќи затегнатост и стабилност на врската.

▪ Линии за довод на гас:

Цевки што го поврзуваат MFC со приклучокот за снабдување со гас за пренос на гас.

▪ MFC (Контролор за масовен проток):

Уред што го контролира протокот на гас во кварцна цевка за прецизно да го регулира количеството на гас што е потребно.

▪ Отвор за вентилација:

Се користи за проветрување на издувните гасови од внатрешноста на цевката на печката кон надворешната страна на опремата.

Долниот дел:

▪ Силиконски наполитанки во држач:

Силиконските наполитанки се сместени во посебен држач за да се обезбеди рамномерна топлина за време на оксидацијата.

▪ Држач за нафора:

Се користи за држење на силиконската обланда и за обезбедување дека силиконската обланда останува стабилна во текот на процесот.

▪ пиедестал:

Структура која држи силиконски држач за нафора, обично изработен од материјал отпорен на високи температури.

▪ Лифт:

Се користи за подигање на држачи за нафора во и надвор од кварцните цевки за автоматско полнење и растоварување на силиконски наполитанки.

▪ Робот за пренос на нафора:

кој се наоѓа на страната на уредот за цевка на печката, се користи за автоматско отстранување на силиконската обланда од кутијата и ставање во цевката на печката или за отстранување по обработката.