Предности на поддршката за чамци со силициум карбид во споредба со поддршката за чамци со кварц

Главните функции наброд од силициум карбидподдршка и поддршка кварц брод се исти.Брод од силициум карбидподдршката има одлични перформанси, но висока цена. Составува алтернативна врска со поддршката на кварцниот брод во опремата за обработка на батерии со тешки работни услови (како што се опремата за LPCVD и опремата за дифузија на бор). Во опремата за обработка на батерии со обични работни услови, поради односите со цените, поддршката на силициум карбид и кварцни бродови стануваат коегзистирачки и конкурентни категории.

① Однос на супституција во LPCVD и опрема за дифузија на бор

Опремата LPCVD се користи за оксидација на тунелирање на ќелиите на батериите и процес на подготовка на полисилициумски слој. Принцип на работа:

Под атмосфера со низок притисок, во комбинација со соодветна температура, се постигнува хемиска реакција и формирање на филм за таложење за да се подготви ултра-тенок оксиден слој за тунелирање и полисилициумски филм. Во процесот на подготовка на тунелирање на оксидација и допинг полисилициумски слој, носачот на бродот има висока работна температура и силиконски филм ќе се депонира на површината. Коефициентот на термичка експанзија на кварцот е сосема различен од оној на силициумот. Кога се користи во горенаведениот процес, потребно е редовно да се кисела и да се отстранува силиконот наталожен на површината за да се спречи кршењето на кварцниот чамец поради термичка експанзија и контракција поради различниот коефициент на термичка експанзија од силициумот. Поради честото мариноване и ниската цврстина на висока температура, кварцниот држач за чамци има краток век и често се заменува во процесот на подготовка на тунелската оксидација и полисилициумскиот слој, што значително ја зголемува производната цена на ќелијата на батеријата. Коефициентот на проширување насилициум карбиде блиску до силиконот. Интегрираниотброд од силициум карбиддржачот не бара мариноване во процесот на подготовка на тунелската оксидација и полисиликонскиот слој. Има висока јачина на висока температура и долг работен век. Тоа е добра алтернатива на кварцниот држач за чамци.

Опремата за експанзија на бор главно се користи за процесот на допинг на борни елементи на подлогата од силиконски нафора од N-тип на ќелијата на батеријата за да се подготви емитер од P-тип да формира PN спој. Принципот на работа е да се реализира хемиска реакција и формирање на филм за молекуларно таложење во атмосфера на висока температура. Откако ќе се формира филмот, може да се дифузира со загревање на висока температура за да се реализира допинг функцијата на површината на силиконската обланда. Поради високата работна температура на опремата за експанзија на бор, држачот на кварцниот брод има ниска јачина на висока температура и краток век на траење во опремата за проширување на бор. Интегрираниотброд од силициум карбиддржачот има висока јачина на висока температура и е добра алтернатива на кварцниот држач за чамци во процесот на проширување на бор.

② Замена однос во друга процесна опрема

Поддржувачите за чамци SiC имаат тесен производствен капацитет и одлични перформанси. Нивната цена е генерално повисока од онаа на кварцните потпори за чамци. Во општите услови за работа на опремата за обработка на ќелии, разликата во работниот век помеѓу потпирачите за чамци SiC и потпирачите за чамци со кварц е мала. Надолните клиенти главно споредуваат и избираат помеѓу цена и перформанси врз основа на нивните сопствени процеси и потреби. Поддржувачите за чамци SiC и потпорите за чамци со кварц станаа коегзистенцијални и конкурентни. Сепак, бруто-профитната маржа на SiC поддржува бродови е релативно висока во моментов. Со падот на трошоците за производство на поддржувачите за чамци SiC, ако продажната цена на поддршката за чамци SiC активно опаѓа, тоа исто така ќе претставува поголема конкурентност на поддржувачите за чамци од кварц.

Сооднос на користење

Патот на клеточната технологија е главно технологија PERC и технологија TOPCon. Пазарниот удел на технологијата PERC е 88%, а пазарниот удел на технологијата TOPCon е 8,3%. Комбинираниот пазарен удел на двете е 96,30%.

Како што е прикажано на сликата подолу:

Во технологијата PERC, потпорите за чамци се потребни за предната дифузија на фосфор и процесите на жарење. Во технологијата TOPCon, потпорите за чамци се потребни за предната дифузија на бор, LPCVD, задната дифузија на фосфор и процесите на жарење. Во моментов, потпорите за чамци од силициум карбид главно се користат во процесот LPCVD на технологијата TOPCon, а нивната примена во процесот на дифузија на бор е главно потврдена.

Слика Примена на носачи за чамци во процесот на обработка на ќелиите

Забелешка: По предната и задната обвивка на технологиите PERC и TOPCon, сè уште има врски како што се печатење на екран, синтерување и тестирање и сортирање, кои не вклучуваат употреба на носачи на брод и не се наведени на горната слика.