6 Inihi N Momo SiC Wafer

Whakaahuatanga Poto:

Ko te 6 Inihi N Momo SiC Wafer mai i te VET Energy he tïpako mahi teitei i hangaia mo nga tono semiconductor matatau, he pai ake te kawe wera me te kaha o te hiko. Ka whakamahi a VET Energy i nga hangarau hou ki te whakaputa i nga wafers-kounga teitei e tutuki ana i nga hiahia o te hikohiko hou, me te whakarite i te pono me te mau tonu o nga taputapu hiko.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko tenei 6 Inihi N Momo SiC Wafer kua hangaia mo te whakarei ake i nga mahi i roto i nga ahuatanga tino nui, ka waiho hei whiringa pai mo nga tono e hiahia ana ki te kaha me te kaha o te wera. Ko nga hua matua e hono ana ki tenei wafer ko Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me SiN Substrate. Ko enei rawa e whakarite ana i nga mahi tino pai i roto i nga momo mahi hangahanga semiconductor, e taea ai e nga taputapu he pai te kaha me te roa.

Mo nga kamupene e mahi tahi ana me Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, Cassette, AlN Wafer ranei, ko te VET Energy's 6 Inihi N Momo SiC Wafer te turanga e tika ana mo te whanaketanga hua auaha. Ahakoa kei roto i te hikohiko hiko teitei, i te mea hou ranei o te hangarau RF, ka whakarite enei angiangi i te pai o te kawe me te iti o te aukati waiariki, e turaki ana i nga rohe o te pai me te mahi.

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-Inihi
Tūemi	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Tapa Wafer	Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-Inihi
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Whakaoti Mata	Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP
Te Roughness Mata	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Mata Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-kanohi Ra≤0.5nm
Tipi Tipi	Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)
Nuku	Kore e Whakaaetia
Nga karawarawa(Si-kanohi)	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter			Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter
Kapiti	Kore e Whakaaetia
Whakakorenga Tapa	3mm