PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Famaritana fohy:

Ny VET Energy's PECVD Loading Tray dia natao hanomezana antoka sy fanohanana ho an'ny wafers mandritra ny fametrahana, hanatsarana ny tsy fitoviana sy ny kalitaon'ny fizotran'ny fametrahana. Miaraka amin'ny fanoherana hafanana tsara, ny Graphite Tray dia manampy amin'ny fitazonana tontolo iainana voafehy ao anatin'ny efitranon'ny PECVD, mampihena ny mety hisian'ny loto ary miantoka ny fahombiazan'ny dingana.

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

VET Energy PECVD loading tray dia mpitatitra mazava tsara natao ho an'ny PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ity lovia graphite deposition avo lenta ity dia vita amin'ny akora graphite madio sy avo lenta. Izy io dia manana fanoherana tsara amin'ny mari-pana ambony, fanoherana ny harafesina, ny fahamarinan-toerana ary ny toetra hafa. Afaka manome sehatra mpitatitra marin-toerana ho an'ny fizotran'ny PECVD izy ary miantoka ny fitoviana sy ny tsy fahampian'ny fametrahana sarimihetsika.

VET Energy PECVD loading trays dia be mpampiasa amin'ny semiconductor, photovoltaic, LED sy ny saha hafa. Ohatra:

▪ Semiconductor: fizotry ny PECVD ho an'ny fitaovana semiconductor toy ny wafer silisiôna sy wafer epitaxial.

▪ Photovoltaic: Dingan'ny PECVD ho an'ny sarimihetsika manify amin'ny sela masoandro.

▪ LED: dingana PECVD ho an'ny chips LED.

Tombontsoa vokatra

▪Manatsara ny kalitaon'ny sarimihetsika:Ataovy azo antoka ny fametrahana sarimihetsika fanamiana ary manatsara ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪Hanitatra ny fiainan'ny fitaovana:Ny fanoherana ny harafesina tsara, manitatra ny fiainan'ny fitaovana PECVD.

▪Ahena ny vidin'ny famokarana:Ny lovia grafita avo lenta dia afaka mampihena ny tahan'ny fako ary mampihena ny vidin'ny famokarana.

Fitaovana grafita avy amin'ny SGL:

Parameter mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Unit
Salanisan'ny voamadinika	ISO 13320	10	μm
hakitroky betsaka	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Open porosity	DIN66133	10	%
Haben'ny pore antonony	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hamafin'ny HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ny fanoherana elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hery flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hery fanerena	DIN 51910	130	MPa
Ny modulus Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ny fanitarana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductivity mafana (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Izy io dia natao manokana ho an'ny famokarana sela solar mahomby, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny famolavolan'ny mpitatitra efa nohatsaraina dia mampitombo be ny fivezivezena, manome ny taham-pamokarana avo kokoa ary mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Type	Mpitondra wafer laharana
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 156	156-13 sambo grephite	144
	156-19 sambo grephite	216
	156-21 sambo grephite	240
	156-23 sambo grafita	308
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 125	125-15 sambo grephite	196
	125-19 sambo grephite	252
	125-21 sambo grafite	280