PECVD Graphite Wafer Support

PECVD Graphite Wafer Fanohanana sary nasongadina

Famaritana fohy:

Namboarina ho amin'ny fahitsiana sy ny fampisehoana, ny VET Energy's Graphite Wafer Support no fitaovana tsara indrindra ampiasaina amin'ny fanodinana wafer mandroso, izay tena zava-dehibe ny fahamarinan-toerana mafana sy ny fampisehoana tsy tapaka. Na miasa amin'ny wafer semiconductor ianao na substrate saro-pady hafa, ity fanohanan'ny graphite avo lenta ity dia hampitombo ny fahatokisanao ny fizotranao sy ny kalitaon'ny vokatra, ka mahatonga azy io ho singa ilaina amin'ny famokarana maoderina.

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

VET Energy PECVD process graphite wafer support dia fanjifàna fototra natao ho an'ny PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ity vokatra ity dia vita amin'ny fitaovana grafita avo lenta, avo lenta, miaraka amin'ny fanoherana ny hafanana ambony, ny fanoherana ny harafesina, ny fahamarinan-toerana ary ny toetra hafa, dia afaka manome sehatra fanohanana miorina amin'ny fizotran'ny PECVD, mba hiantohana ny fitoviana sy ny fahatsoram-pon'ny sarimihetsika.

Ny "fanohanana graphite" ny famolavolana ny VET Energy graphite wafer fanohanana dia tsy vitan'ny hoe manohana tsara ny wafer, fa koa manome fahamarinan-toerana mafana ao amin'ny hafanana ambony sy ny tsindry ambony PECVD tontolo iainana mba hiantohana ny fahamarinan-toerana ny dingana.

VET Energy PECVD process graphite wafer support dia manana ireto toetra manaraka ireto:

▪Fahadiovana ambony:ambany dia ambany ny loto, misoroka ny fandotoana ny sarimihetsika, mba hiantohana ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪hakitroky avo:hakitroky avo, hery mekanika avo lenta, mahatohitra ny hafanana ambony sy ny tsindry ambony PECVD tontolo iainana.

▪Filaminana tsara dimensional:fiovana kely refy amin'ny hafanana avo mba hiantohana ny fahamarinan-toerana ny dingana.

▪Conductivity mafana tsara:mamindra hafanana tsara mba hisorohana ny hafanana tafahoatra.

▪Strong corrosion fanoherana:Mahay manohitra ny erosiation amin'ny entona manimba isan-karazany sy ny plasma.

▪Serivisy namboarina:Ny latabatra fanohanana grafita amin'ny habe sy endrika samihafa dia azo amboarina araka ny filan'ny mpanjifa.

Fitaovana grafita avy amin'ny SGL:

Parameter mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Unit
Salanisan'ny voamadinika	ISO 13320	10	μm
hakitroky betsaka	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Open porosity	DIN66133	10	%
Haben'ny pore antonony	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hamafin'ny HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ny fanoherana elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hery flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hery fanerena	DIN 51910	130	MPa
Ny modulus Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ny fanitarana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductivity mafana (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Izy io dia natao manokana ho an'ny famokarana sela solar mahomby, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny famolavolan'ny mpitatitra efa nohatsaraina dia mampitombo be ny fivezivezena, manome ny taham-pamokarana avo kokoa ary mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Type	Mpitondra wafer laharana
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 156	156-13 sambo grephite	144
	156-19 sambo grephite	216
	156-21 sambo grephite	240
	156-23 sambo grafita	308
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 125	125-15 sambo grephite	196
	125-19 sambo grephite	252
	125-21 sambo grafite	280