Graphite Substrate Wafer Holder ho an'ny PECVD

Graphite Substrate Wafer Holder ho an'ny sary nasongadina PECVD

Famaritana fohy:

VET Energy's Graphite Substrate Holder dia novolavolaina mba hitazonana ny firindrana sy ny fitoniana mandritra ny fizotran'ny PECVD, hisorohana ny fandotoana sy hampihenana ny mety ho fahasimbana. Ny Graphite Wafer Holder dia manome sehatra azo antoka, mirindra tsara, miantoka fa ny wafers dia mibaribary amin'ny plasma ho an'ny fametrahana tsy miovaova sy avo lenta. Miaraka amin'ny conductivity mafana avo lenta sy ny tanjany miavaka, ity mpihazona ity dia manampy amin'ny fanatsarana ny fahombiazan'ny dingana sy ny fahombiazan'ny vokatra.

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder dia mpitatitra mazava tsara natao ho an'ny fizotran'ny PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ity Graphite Substrate Holder ity dia vita amin'ny fitaovana grafita avo lenta, avo lenta, miaraka amin'ny fanoherana ny mari-pana ambony, ny fanoherana ny harafesina, ny fahamarinan-toerana ary ny toetra hafa. Afaka manome sehatra fanohanana azo antoka ho an'ny fizotran'ny PECVD izy ary miantoka ny fitoviana sy ny tsy fahampian'ny fametrahana sarimihetsika.

VET Energy PECVD process graphite wafer table support dia manana ireto toetra manaraka ireto:

▪Fahadiovana ambony:ambany dia ambany ny loto, misoroka ny fandotoana ny sarimihetsika, miantoka ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪hakitroky avo:hakitroky avo, hery mekanika avo lenta, mahatohitra ny hafanana ambony sy ny tsindry ambony PECVD tontolo iainana.

▪Filaminana tsara dimensional:fiovana kely refy amin'ny hafanana avo, miantoka ny fahamarinan-toerana dingana.

▪Conductivity mafana tsara:mamindra hafanana tsara mba hisorohana ny hafanana tafahoatra.

▪Strong corrosion fanoherana:afaka manohitra ny erosiation amin'ny entona manimba isan-karazany sy ny plasma.

▪Serivisy namboarina:Ny latabatra fanohanana grafit amin'ny habe sy ny endriny samihafa dia azo namboarina araka ny filan'ny mpanjifa.

Tombontsoa vokatra

▪Manatsara ny kalitaon'ny sarimihetsika:Ataovy azo antoka ny fametrahana sarimihetsika fanamiana ary manatsara ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪Hanitatra ny fiainan'ny fitaovana:Ny fanoherana ny harafesina tsara, manitatra ny fiainan'ny fitaovana PECVD.

▪Ahena ny vidin'ny famokarana:Ny lovia grafita avo lenta dia afaka mampihena ny tahan'ny fako ary mampihena ny vidin'ny famokarana.

Fitaovana grafita avy amin'ny SGL:

Parameter mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Unit
Salanisan'ny voamadinika	ISO 13320	10	μm
hakitroky betsaka	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Open porosity	DIN66133	10	%
Haben'ny pore antonony	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hamafin'ny HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ny fanoherana elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hery flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hery fanerena	DIN 51910	130	MPa
Ny modulus Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ny fanitarana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductivity mafana (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Izy io dia natao manokana ho an'ny famokarana sela solar mahomby, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny famolavolan'ny mpitatitra efa nohatsaraina dia mampitombo be ny fivezivezena, manome ny taham-pamokarana avo kokoa ary mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Type	Mpitondra wafer laharana
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 156	156-13 sambo grephite	144
	156-19 sambo grephite	216
	156-21 sambo grephite	240
	156-23 sambo grafita	308
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 125	125-15 sambo grephite	196
	125-19 sambo grephite	252
	125-21 sambo grafite	280