SiC pārklāts grafīta nesējs/susceptors

Īss apraksts:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor ir augstas veiktspējas produkts, kas izstrādāts, lai nodrošinātu konsekventu un uzticamu veiktspēju ilgākā laika periodā.Tam ir ļoti laba karstumizturība un termiskā viendabība, augsta tīrības pakāpe, izturība pret eroziju, padarot to par ideālu risinājumu vafeļu apstrādei.

Nosūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produktu etiķetes

SiC pārklāts sucetpors ir galvenā sastāvdaļa, ko izmanto dažādos pusvadītāju ražošanas procesos.Mēs izmantojam mūsu patentēto tehnoloģiju, lai izgatavotu SiC pārklājumu ar īpaši augstu tīrības pakāpi, labu pārklājuma viendabīgumu un izcilu kalpošanas laiku, kā arī augstu ķīmiskās izturības un termiskās stabilitātes īpašības.

Mūsu produktu īpašības:

1. Augstas temperatūras oksidācijas izturība līdz 1700 ℃.
2. Augsta tīrība un termiskā vienmērība
3. Lieliska izturība pret koroziju: skābes, sārmi, sāls un organiskie reaģenti.
4. Augsta cietība, kompakta virsma, smalkas daļiņas.
5. Ilgāks kalpošanas laiks un izturīgāks

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC galvenās fizikālās īpašībaspārklājums
性质 / Īpašums	典型数值 / Tipiskā vērtība
晶体结构 / Kristālu struktūra	FCC β fāze多晶，主要为（111）取向
密度 / Blīvums	3,21 g/cm³
硬度 / Cietība	2500 维氏硬度 (500 g krava)
晶粒大小 / Grauda izmērs	2 ~ 10 μm
纯度 / Ķīmiskā tīrība	99,99995%
热容 / Siltuma jauda	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimācijas temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4 punktu
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVadītspēja	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1