Kāpēc sausās kodināšanas laikā sānu sienas izliecas?

Jonu bombardēšanas nevienmērība

Sausskodināšanaparasti ir process, kas apvieno fizikālos un ķīmiskos efektus, un jonu bombardēšana ir svarīga fizikālā kodināšanas metode. Laikākodināšanas process, jonu krišanas leņķis un enerģijas sadalījums var būt nevienmērīgs.

Ja jonu krišanas leņķis dažādās sānu sienas pozīcijās ir atšķirīgs, arī jonu kodināšanas efekts uz sānu sienu būs atšķirīgs. Teritorijās ar lielākiem jonu krišanas leņķiem jonu kodināšanas efekts uz sānu sienu ir spēcīgāks, kā rezultātā sānu siena šajā zonā tiks vairāk iegravēta, izraisot sānu malas izliekšanos. Turklāt nevienmērīgs jonu enerģijas sadalījums radīs līdzīgus efektus. Joni ar lielāku enerģiju var efektīvāk noņemt materiālus, izraisot nekonsekvencikodināšanasānu malas pakāpes dažādās pozīcijās, kas savukārt izraisa sānu malas izliekšanos.

Fotorezista ietekme

Fotorezists pilda maskas lomu sausajā kodināšanā, aizsargājot vietas, kuras nav nepieciešams kodināt. Tomēr fotorezistu ietekmē arī plazmas bombardēšana un ķīmiskās reakcijas kodināšanas procesa laikā, un tā veiktspēja var mainīties.

Ja fotorezista biezums ir nevienmērīgs, patēriņa ātrums kodināšanas procesa laikā ir nekonsekvents vai saķere starp fotorezistu un pamatni dažādās vietās ir atšķirīga, tas var izraisīt nevienmērīgu sānu sienu aizsardzību kodināšanas procesa laikā. Piemēram, apgabali ar plānāku fotorezistentu vai vājāku adhēziju var padarīt pamatmateriālu vieglāk iegravētu, izraisot sānu malu saliekšanos šajās vietās.

Pamatnes materiāla īpašību atšķirības

Pašam iegravētajam substrāta materiālam var būt dažādas īpašības, piemēram, atšķirīga kristāla orientācija un dopinga koncentrācija dažādos reģionos. Šīs atšķirības ietekmēs kodināšanas ātrumu un kodināšanas selektivitāti.
Piemēram, kristāliskā silīcijā silīcija atomu izvietojums dažādās kristālu orientācijās ir atšķirīgs, un arī to reaktivitāte un kodināšanas ātrums ar kodināšanas gāzi būs atšķirīgs. Kodināšanas procesa laikā dažādie kodināšanas ātrumi, ko izraisa materiāla īpašību atšķirības, padarīs sānu sienu kodināšanas dziļumu dažādās vietās nekonsekventu, galu galā izraisot sānu malu lieces.

Ar aprīkojumu saistīti faktori

Kodināšanas iekārtas veiktspēja un statuss arī būtiski ietekmē kodināšanas rezultātus. Piemēram, tādas problēmas kā nevienmērīgs plazmas sadalījums reakcijas kamerā un nevienmērīgs elektrodu nodilums var izraisīt nevienmērīgu parametru, piemēram, jonu blīvuma un enerģijas sadalījumu uz plāksnītes virsmas kodināšanas laikā.

Turklāt nevienmērīga iekārtas temperatūras kontrole un nelielas gāzes plūsmas svārstības var ietekmēt arī kodināšanas vienmērīgumu, izraisot sānu malas izliekšanos.