Kā parādīts iepriekš, ir tipisks
Pirmais puslaiks:
▪ Apkures elements (sildīšanas spole):
kas atrodas ap krāsns cauruli, parasti izgatavota no pretestības vadiem, ko izmanto krāsns caurules iekšpuses apsildīšanai.
▪ Kvarca caurule:
Karstās oksidēšanas krāsns kodols, kas izgatavots no augstas tīrības pakāpes kvarca, kas spēj izturēt augstu temperatūru un paliek ķīmiski inerts.
▪ Gāzes padeve:
Atrodas krāsns caurules augšpusē vai sānos, to izmanto, lai transportētu skābekli vai citas gāzes uz krāsns caurules iekšpusi.
▪ SS atloks:
sastāvdaļas, kas savieno kvarca caurules un gāzes vadus, nodrošinot savienojuma hermētiskumu un stabilitāti.
▪ Gāzes padeves līnijas:
Caurules, kas savieno MFC ar gāzes padeves portu gāzes pārvadei.
▪ MFC (masas plūsmas kontrolieris):
Ierīce, kas kontrolē gāzes plūsmu kvarca caurulē, lai precīzi regulētu nepieciešamo gāzes daudzumu.
▪ Ventilācija:
Izmanto, lai izvadītu izplūdes gāzes no krāsns caurules iekšpuses uz iekārtas ārpusi.
Apakšējā daļa:
▪ Silīcija vafeles turētājā:
Silīcija vafeles ir ievietotas īpašā turētājā, lai nodrošinātu vienmērīgu siltumu oksidācijas laikā.
▪ Vafeļu turētājs:
Izmanto, lai noturētu silīcija vafeles un nodrošinātu, ka silīcija vafele paliek stabila procesa laikā.
▪ Pjedestāls:
Konstrukcija, kurā ir silīcija vafeļu turētājs, parasti izgatavots no augstas temperatūras izturīga materiāla.
▪ Lifts:
Izmanto, lai paceltu vafeļu turētājus kvarca caurulēs un izņemtu no tām silīcija vafeļu automātiskai iekraušanai un izkraušanai.
▪ Vafeļu pārsūtīšanas robots:
atrodas krāsns caurules ierīces sānos, to izmanto, lai automātiski izņemtu silīcija plāksni no kastes un ievietotu krāsns caurulē vai izņemtu pēc apstrādes.
▪ Kasešu uzglabāšanas karuselis:
Kasešu uzglabāšanas karuselis tiek izmantots, lai uzglabātu kastīti, kurā ir silīcija vafeles, un to var pagriezt, lai piekļūtu robotam.
▪ Vafeļu kasete:
vafeļu kasete tiek izmantota, lai uzglabātu un pārsūtītu apstrādājamās silīcija vafeles.
Publicēšanas laiks: 22.04.2024