Kā parādīts iepriekš, ir tipisks
Pirmais puslaiks:
Sildelements (sildīšanas spole): atrodas ap krāsns cauruli, parasti izgatavots no pretestības vadiem, ko izmanto, lai apsildītu krāsns caurules iekšpusi.
Kvarca caurule: karstas oksidācijas krāsns kodols, kas izgatavots no augstas tīrības pakāpes kvarca, kas var izturēt augstu temperatūru un paliek ķīmiski inerts.
Gāzes padeve: atrodas krāsns caurules augšpusē vai sānos, un to izmanto, lai transportētu skābekli vai citas gāzes uz krāsns caurules iekšpusi.
SS Flange: komponenti, kas savieno kvarca caurules un gāzes vadus, nodrošinot savienojuma hermētiskumu un stabilitāti.
Gāzes padeves līnijas: caurules, kas savieno MFC ar gāzes padeves portu gāzes pārvadei.
MFC (Mass Flow Controller) : ierīce, kas kontrolē gāzes plūsmu kvarca caurulē, lai precīzi regulētu nepieciešamo gāzes daudzumu.
Ventilācija: izmanto, lai izvadītu izplūdes gāzes no krāsns caurules iekšpuses uz iekārtas ārpusi.
Apakšējā daļa
Silīcija vafeles turētājā: Silīcija vafeles ir ievietotas īpašā turētājā, lai nodrošinātu vienmērīgu siltumu oksidācijas laikā.
Vafeļu turētājs: izmanto, lai noturētu silīcija vafeles un nodrošinātu, ka silīcija vafele paliek stabila procesa laikā.
Pjedestāls: struktūra, kurā ir silīcija vafeļu turētājs, parasti izgatavots no augstas temperatūras izturīga materiāla.
Lifts: izmanto, lai paceltu vafeļu turētājus kvarca caurulēs un izņemtu no tām silīcija vafeļu automātiskai iekraušanai un izkraušanai.
Vafeļu pārsūtīšanas robots: atrodas krāsns caurules ierīces sānos, to izmanto, lai automātiski izņemtu silīcija vafeles no kastes un ievietotu krāsns caurulē vai izņemtu pēc apstrādes.
Kasešu uzglabāšanas karuselis: Kasešu uzglabāšanas karuselis tiek izmantots, lai uzglabātu kasti, kurā ir silīcija plāksnītes, un to var pagriezt, lai piekļūtu robotam.
Vafeļu kasete: vafeļu kasete tiek izmantota, lai uzglabātu un pārsūtītu apstrādājamās silīcija vafeles.
Izlikšanas laiks: 22.04.2024