SiC pārklāti grafīta nesēji, silts pārklājums, SiC pārklājums ar grafīta substrāta pārklājumu pusvadītājiem

Pārklāts ar silīcija karbīdugrafīta disks ir paredzēts silīcija karbīda aizsargslāņa sagatavošanai uz grafīta virsmas ar fizisku vai ķīmisku tvaiku nogulsnēšanos un izsmidzināšanu. Sagatavoto silīcija karbīda aizsargslāni var stingri savienot ar grafīta matricu, padarot grafīta pamatnes virsmu blīvu un bez tukšumiem, piešķirot grafīta matricai īpašas īpašības, tostarp izturību pret oksidēšanu, izturību pret skābēm un sārmiem, izturību pret eroziju, izturību pret koroziju, utt. Pašlaik Gan pārklājums ir viens no labākajiem galvenajiem komponentiem silīcija karbīda epitaksiālai augšanai.

Silīcija karbīda pusvadītājs ir jaunizveidotā platjoslas pusvadītāja pamatmateriāls. Tās ierīcēm ir augstas temperatūras pretestības, augsta sprieguma pretestības, augstas frekvences, lielas jaudas un starojuma izturības īpašības. Tam ir ātrs pārslēgšanās ātrums un augsta efektivitāte. Tas var ievērojami samazināt produkta enerģijas patēriņu, uzlabot enerģijas pārveidošanas efektivitāti un samazināt produkta apjomu. To galvenokārt izmanto 5g komunikācijā, valsts aizsardzībā un militārajā rūpniecībā. RF jomai, ko pārstāv kosmosa nozare, un spēka elektronikas jomai, ko pārstāv jauni enerģijas transportlīdzekļi un “jauna infrastruktūra”, ir skaidras un ievērojamas tirgus perspektīvas gan civilajā, gan militārajā jomā.

Silīcija karbīda substrāts ir jaunizveidotā platjoslas pusvadītāja pamatmateriāls. Silīcija karbīda substrātu galvenokārt izmanto mikroviļņu elektronikā, spēka elektronikā un citās jomās. Tas atrodas pusvadītāju nozares ķēdes priekšgalā un ir visprogresīvākais un pamata galvenais materiāls. Silīcija karbīda substrātu var iedalīt divos veidos: daļēji izolējošā un vadošā. Starp tiem daļēji izolējošam silīcija karbīda substrātam ir augsta pretestība (pretestība ≥ 105 Ω· cm). Daļēji izolācijas substrāts apvienojumā ar neviendabīgu gallija nitrīda epitaksiālo loksni var tikt izmantots kā RF ierīču materiāls, ko galvenokārt izmanto 5g komunikācijā, valsts aizsardzībā un militārajā rūpniecībā iepriekš minētajās ainās; Otrs ir vadošs silīcija karbīda substrāts ar zemu pretestību (pretestības diapazons ir 15 ~ 30 m Ω· cm). Vadoša silīcija karbīda substrāta un silīcija karbīda viendabīgo epitaksiju var izmantot kā materiālus barošanas ierīcēm. Galvenie pielietojuma scenāriji ir elektriskie transportlīdzekļi, energosistēmas un citas jomas