Silīcija karbīda laivas atbalsta priekšrocības salīdzinājumā ar kvarca laivas balstu

Galvenās funkcijassilīcija karbīda laivaatbalsts un kvarca laivas atbalsts ir vienādi.Silīcija karbīda laivaatbalstam ir lieliska veiktspēja, bet augsta cena. Tā ir alternatīva saikne ar kvarca laivu atbalstu akumulatoru apstrādes iekārtās ar skarbiem darba apstākļiem (piemēram, LPCVD iekārtas un bora difūzijas iekārtas). Akumulatoru apstrādes iekārtās ar parastajiem darba apstākļiem cenu attiecību dēļ silīcija karbīda un kvarca laivu atbalsts kļūst par līdzāspastāvošām un konkurējošām kategorijām.

① Aizvietošanas attiecības LPCVD un bora difūzijas iekārtās

LPCVD iekārtas tiek izmantotas akumulatora elementu tunelēšanas oksidācijas un leģēta polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā. Darbības princips:

Zema spiediena atmosfērā kopā ar atbilstošu temperatūru tiek panākta ķīmiska reakcija un nogulsnēšanās plēves veidošanās, lai sagatavotu īpaši plānu tuneļa oksīda slāni un polisilīcija plēvi. Tunelēšanas oksidācijas un leģēta polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā laivas balstam ir augsta darba temperatūra un uz virsmas tiks nogulsnēta silīcija plēve. Kvarca termiskās izplešanās koeficients ir diezgan atšķirīgs no silīcija. Lietojot iepriekš minētajā procesā, ir nepieciešams regulāri kodināt un noņemt uz virsmas nogulsnējušos silīciju, lai novērstu kvarca laivas balsta pārrāvumu termiskās izplešanās un saraušanās dēļ, ko izraisa silīcija atšķirīgais termiskās izplešanās koeficients. Biežās kodināšanas un zemās augstās temperatūras izturības dēļ kvarca laivas turētājam ir īss kalpošanas laiks, un tas tiek bieži nomainīts tuneļa oksidācijas un leģēta polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā, kas ievērojami palielina akumulatora elementa ražošanas izmaksas. Izplešanās koeficientssilīcija karbīdsir tuvu silīcijam. Integrētaissilīcija karbīda laivaturētājam nav nepieciešama kodināšana tuneļa oksidācijas un leģēta polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā. Tam ir augsta izturība augstā temperatūrā un ilgs kalpošanas laiks. Tā ir laba alternatīva kvarca laivas turētājam.

Bora izplešanās iekārtas galvenokārt tiek izmantotas bora elementu dopinga procesā uz akumulatora elementa N-tipa silīcija vafeles substrāta, lai sagatavotu P-veida emitētāju PN savienojuma veidošanai. Darbības princips ir realizēt ķīmiskās reakcijas un molekulārās nogulsnēšanās plēves veidošanos augstas temperatūras atmosfērā. Pēc plēves izveidošanas to var izkliedēt ar augstas temperatūras karsēšanu, lai realizētu silīcija vafeles virsmas dopinga funkciju. Pateicoties bora izplešanās aprīkojuma augstajai darba temperatūrai, kvarca laivas turētājam ir zema augstas temperatūras izturība un īss kalpošanas laiks bora izplešanās iekārtā. Integrētaissilīcija karbīda laivaTurētājam ir augsta izturība augstā temperatūrā, un tā ir laba alternatīva kvarca laivas turētājam bora izplešanās procesā.

② Aizstāšanas attiecības citās procesa iekārtās

SiC laivu balstiem ir neliela ražošanas jauda un lieliska veiktspēja. To cenas parasti ir augstākas nekā kvarca laivu balstu cenas. Vispārējos šūnu apstrādes iekārtu darba apstākļos SiC laivu balstu un kvarca laivu balstu kalpošanas laika atšķirība ir neliela. Pakārtotie klienti galvenokārt salīdzina un izvēlas starp cenu un veiktspēju, pamatojoties uz saviem procesiem un vajadzībām. SiC laivu balsti un kvarca laivu balsti ir kļuvuši līdzāspastāvoši un konkurētspējīgi. Tomēr SiC laivu balstu bruto peļņas norma šobrīd ir salīdzinoši augsta. Samazinoties SiC laivu balstu ražošanas izmaksām, ja SiC laivu balstu pārdošanas cena aktīvi samazināsies, tas arī radīs lielāku konkurētspēju kvarca laivu balstiem.

Lietošanas attiecība

Šūnu tehnoloģiju maršruts galvenokārt ir PERC tehnoloģija un TOPCon tehnoloģija. PERC tehnoloģijas tirgus daļa ir 88%, bet TOPCon tehnoloģijas tirgus daļa ir 8,3%. Abu kopējā tirgus daļa ir 96,30%.

Kā parādīts zemāk esošajā attēlā:

PERC tehnoloģijā priekšējās fosfora difūzijas un atlaidināšanas procesos ir nepieciešami laivas balsti. TOPCon tehnoloģijā laivas balsti ir nepieciešami priekšējās bora difūzijas, LPCVD, aizmugurējās fosfora difūzijas un atlaidināšanas procesos. Pašlaik silīcija karbīda laivu balsti galvenokārt tiek izmantoti TOPCon tehnoloģijas LPCVD procesā, un to pielietojums bora difūzijas procesā galvenokārt ir pārbaudīts.

Attēls Laivas balstu pielietojums šūnu apstrādes procesā

Piezīme: Pēc PERC un TOPCon tehnoloģiju priekšējā un aizmugurējā pārklājuma joprojām ir saites, piemēram, sietspiede, saķepināšana un testēšana un šķirošana, kas neietver laivas balstu izmantošanu un nav norādītas iepriekš redzamajā attēlā.