Pusmēness daļas cilindrs ar SiC pārklājumu, ko izmanto SiC epitaksiālajās iekārtās

Īss apraksts:

Produkta ieviešana un lietošana: Savienota kvarca caurule, var izvadīt gāzi, lai vadītu paplātes pamatnes rotāciju, temperatūras kontroli

Produkta ierīces atrašanās vieta: reakcijas kamerā, kas nav tiešā saskarē ar vafeli

Galvenie pakārtotie produkti: barošanas ierīces

Galvenais termināļa tirgus: jauni enerģijas transportlīdzekļi

 


Produkta informācija

Produktu etiķetes

SiC pārklāta grafīta pusmēness daļais a taustiņukomponents, ko izmanto pusvadītāju ražošanas procesos, īpaši SiC epitaksiālajām iekārtām.Mēs izmantojam mūsu patentēto tehnoloģiju, lai izgatavotu pusmēness daļu arārkārtīgi augsta tīrības pakāpe,labipārklājumsviendabīgumsun lielisks kalpošanas laiks, kā arīaugsta ķīmiskā izturība un termiskās stabilitātes īpašības.

PIA enerģija ir uzīsts pielāgotu grafīta un silīcija karbīda izstrādājumu ražotājs ar CVD pārklājumu,var piegādātdažādipielāgotas detaļas pusvadītāju un fotoelementu rūpniecībai. Ojūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, un tā var nodrošināt profesionālākus materiālu risinājumuspriekš jums.

Mēs nepārtraukti attīstām progresīvus procesus, lai nodrošinātu modernākus materiālus,unir izstrādājuši ekskluzīvu patentētu tehnoloģiju, kas var padarīt savienojumu starp pārklājumu un pamatni ciešāku un mazāk pakļautu atdalīšanai.

Fmūsu produktu īpašības:

1. Augstas temperatūras oksidācijas izturība līdz 1700.
2. Augstas tīrības untermiskā vienmērība
3. Lieliska izturība pret koroziju: skābes, sārmi, sāls un organiskie reaģenti.
4. Augsta cietība, kompakta virsma, smalkas daļiņas.
5. Ilgāks kalpošanas laiks un izturīgāks

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC galvenās fizikālās īpašībaspārklājums

性质 / Īpašums

典型数值 / Tipiskā vērtība

晶体结构 / Kristālu struktūra

FCC β fāze多晶,主要为(111)取向

密度 / Blīvums

3,21 g/cm³

硬度 / Cietība

2500 维氏硬度 (500 g krava)

晶粒大小 / Graudu izmērs

2 ~ 10 μm

纯度 / Ķīmiskā tīrība

99,99995%

热容 / Siltuma jauda

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimācijas temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4 punktu

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃

导热系数 / ThermalVadītspēja

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Laipni lūdzam apmeklēt mūsu rūpnīcu, apspriedīsimies tālāk!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Iepriekšējais:
  • Nākamais:

  • WhatsApp tiešsaistes tērzēšana!