SiC danga / padengtas grafito substratas / dėklas puslaidininkiams

SiC danga / dengtas grafito substratas / dėklas puslaidininkių vaizdams

Trumpas aprašymas:

VET Energy SiC padengtas grafito susceptorius epitaksiniam augimui yra didelio našumo produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis turi ypač gerą atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, aukštą grynumą, atsparumą erozijai, todėl yra puikus sprendimas plokštelių apdorojimui.

Siųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

SiC danga / padengta grafito susceptoriumi puslaidininkiui

TheSiC padengtas grafito substratasyra labai patvarus ir efektyvus sprendimas, sukurtas taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių perdirbimo pramonės reikalavimus. Su didelio grynumo sluoksniusilicio karbido (SiC) danga, šis substratas užtikrina išskirtinį šiluminį stabilumą, atsparumą oksidacijai ir ilgesnį tarnavimo laiką, todėl idealiai tinka naudoti MOCVD procesuose, grafito plokštelių laikikliuose ir kitose aukštos temperatūros aplinkose.

Savybės:
· Puikus atsparumas šiluminiam smūgiui
· Puikus fizinis atsparumas smūgiams
· Puikus cheminis atsparumas
· Itin didelio grynumo
· Sudėtingos formos prieinamumas
· Galima naudoti oksiduojančioje atmosferoje

Taikymas:

Produkto savybės ir privalumai:

1. Puikus terminis atsparumas:Su didelio grynumoSiC danga, substratas atlaiko ekstremalias temperatūras, todėl užtikrina pastovų veikimą sudėtingose aplinkose, tokiose kaip epitaksijos ir puslaidininkių gamyba.

2. Padidintas patvarumas:SiC padengti grafito komponentai yra sukurti taip, kad būtų atsparūs cheminei korozijai ir oksidacijai, o tai padidina pagrindo tarnavimo laiką, palyginti su standartiniais grafito pagrindais.

3. Stikliniu sluoksniu padengtas grafitas:Unikali stiklakūnio struktūraSiC dangaužtikrina puikų paviršiaus kietumą, sumažina susidėvėjimą apdorojant aukštoje temperatūroje.

4. Didelio grynumo SiC danga:Mūsų substratas užtikrina minimalų užteršimą jautriuose puslaidininkių procesuose, todėl užtikrinamas patikimumas pramonės šakoms, kurioms reikalingas griežtas medžiagų grynumas.

5. Platus rinkos pritaikymas:TheSiC dengtas grafito susceptoriusrinka ir toliau auga, nes didėja pažangių SiC dengtų gaminių paklausa puslaidininkių gamyboje, todėl šis substratas yra pagrindinis žaidėjas tiek grafito plokštelių laikiklių, tiek silicio karbidu dengtų grafito padėklų rinkoje.

Tipinės pagrindinės grafito medžiagos savybės:

Tariamas tankis:	1,85 g/cm3
Elektrinė varža:	11 μΩm
Lankstumo stiprumas:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Šoro kietumas:	58
Pelenai:	<5 ppm
Šilumos laidumas:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga
性质 / Nuosavybė	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β fazė 多晶，主要为（111）取向
密度 / Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 / Grūdų dydis	2 ~ 10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995 %
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lanksčioji jėga	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / Šilumos laidumas	300 W · m^-1·K^-1
热膨胀系数 / terminis plėtimasis (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

„VET Energy“ yra tikras pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių gamintojas su skirtingomis dangomis, tokiomis kaip SiC danga, TaC danga, stiklinė anglies danga, pirolitinė anglies danga ir kt., Gali tiekti įvairias pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinės energijos pramonei.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnius medžiagų sprendimus.

Mes nuolat plėtojame pažangius procesus, kad gautume pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, dėl kurios dangos ir pagrindo sujungimas tampa tvirtesnis ir mažiau linkęs atsiskirti.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!