Silicio karbido epitaksinis lakštinis padėklas puslaidininkinei epitaksinei krosnei

Trumpas aprašymas:

VET Energy silicio karbido epitaksinis lakštinis padėklas yra didelio našumo gaminys, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis turi ypač gerą atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, aukštą grynumą, atsparumą erozijai, todėl yra puikus sprendimas plokštelių apdorojimui.


Produkto detalė

Produkto etiketės

SiC induktoriai1
SiC induktoriai2

Silicio karbido lakštinis padėklas yra pagrindinis komponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose. Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintume silicio karbido lakštų padėklą, kurio grynumas yra labai aukštas, dangos vienodumas ir ilgaamžiškumas, taip pat aukšto cheminio atsparumo ir terminio stabilumo savybės.

„VET Energy“ yra tikras pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių gamintojas su skirtingomis dangomis, tokiomis kaip SiC, Tac, pirolitinė anglis, stiklinė anglis ir kt., Gali tiekti įvairias pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinės energijos pramonei. Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnius medžiagų sprendimus.

Mes nuolat plėtojame pažangius procesus, kad gautume pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, dėl kurios dangos ir pagrindo sujungimas tampa tvirtesnis ir mažiau linkęs atsiskirti.

Mūsų gaminių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1700 ℃.
2. Didelis grynumas ir šiluminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.

4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

CVD SiC薄膜基本物理性能

Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga

性质 / Turtas

典型数值 / Tipinė vertė

晶体结构 / Kristalinė struktūra

FCC β fazė多晶,主要为(111)取向

密度 / Tankis

3,21 g/cm³

硬度 / Kietumas

2500 维氏硬度 (500 g apkrova)

晶粒大小 / Grūdų dydis

2 ~ 10 μm

纯度 / Cheminis grynumas

99,99995 %

热容 / Šilumos talpa

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimacijos temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Lanksčioji jėga

415 MPa RT 4 taškų

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃

导热系数 / ThermalLaidumas

300 W · m-1·K-1

热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Ankstesnis:
  • Kitas:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!