PECVD pakrovimo dėklo nusodinimo grafito dėklas

PECVD pakrovimo dėklo nusodinimas grafito dėklas Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ PECVD pakrovimo padėklas sukurtas taip, kad užtikrintų saugią ir tolygią plokštelių palaikymą nusodinimo metu, pagerinant nusodinimo proceso nuoseklumą ir kokybę. Dėl puikaus atsparumo karščiui grafito padėklas padeda palaikyti kontroliuojamą aplinką PECVD kamerose, sumažina užteršimo riziką ir užtikrina aukštą proceso efektyvumą.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

VET Energy PECVD pakrovimo padėklas yra tikslus laikiklis, sukurtas PECVD (plazmoje sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis aukštos kokybės nusodinimo grafito padėklas pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos. Jis pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis. Tai gali būti stabili PECVD proceso nešiklio platforma ir užtikrinti plėvelės nusodinimo vienodumą ir lygumą.

VET Energy PECVD pakrovimo padėklai plačiai naudojami puslaidininkių, fotovoltinių, LED ir kitose srityse. Pavyzdžiui:

▪ Puslaidininkis: PECVD procesas puslaidininkinėms medžiagoms, tokioms kaip silicio plokštelės ir epitaksinės plokštelės.

▪ Fotovoltinė: PECVD procesas saulės elementų plonoms plėvelėms.

▪ LED: PECVD procesas LED lustams.

Produkto privalumai

▪Pagerinkite filmo kokybę:Užtikrinkite vienodą plėvelės nusodinimą ir pagerinkite plėvelės kokybę.

▪Pailginti įrangos tarnavimo laiką:Puikus atsparumas korozijai, prailgina PECVD įrangos tarnavimo laiką.

▪Sumažinti gamybos sąnaudas:Aukštos kokybės grafito padėklai gali sumažinti atliekų kiekį ir sumažinti gamybos sąnaudas.

Grafitinė medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Rodyklė	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stiprumas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Suspaudimo jėga	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikantis G12 didelio dydžio plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina pralaidumą, todėl gaunamas didesnis derlius ir mažesnės gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis – 156 serija	156-13 grefitinė valtis	144
	156-19 grefitinė valtis	216
	156-21 grefitinė valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis – 125 serija	125-15 grefitinė valtis	196
	125-19 grefitinė valtis	252
	125-21 grfito valtis	280