PECVD grafito plokštelių palaikymas

PECVD grafito plokštelių palaikymo siūlomas vaizdas

Trumpas aprašymas:

Sukurtas tikslumui ir našumui, „VET Energy“ grafito plokštelių atrama yra ideali medžiaga, skirta naudoti pažangiam plokštelių apdorojimui, kai labai svarbus aukštas terminis stabilumas ir pastovus veikimas. Nesvarbu, ar dirbate su puslaidininkinėmis plokštelėmis ar kitais subtiliais substratais, ši aukštos kokybės grafito atrama padidins jūsų proceso patikimumą ir gaminio kokybę, todėl tai yra nepakeičiamas šiuolaikinės gamybos komponentas.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

VET Energy PECVD proceso grafito plokštelių atrama yra pagrindinė eksploatacinė medžiaga, skirta PECVD (plazmoje sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis produktas pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos, pasižyminčios puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis, gali būti stabili PECVD proceso palaikymo platforma, užtikrinanti plėvelės nusodinimo vienodumą ir lygumą.

„VET Energy“ grafito plokštelės atramos „grafito atramos“ konstrukcija gali ne tik efektyviai palaikyti plokštelę, bet ir užtikrinti šiluminį stabilumą aukštos temperatūros ir aukšto slėgio PECVD aplinkoje, kad būtų užtikrintas proceso stabilumas.

VET Energy PECVD proceso grafito plokštelių atrama turi šias charakteristikas:

▪Aukštas grynumas:itin mažas priemaišų kiekis, venkite plėvelės užteršimo, kad būtų užtikrinta plėvelės kokybė.

▪Didelis tankis:didelis tankis, didelis mechaninis stiprumas, gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir aukšto slėgio PECVD aplinką.

▪Geras matmenų stabilumas:nedideli matmenų pokyčiai aukštoje temperatūroje, kad būtų užtikrintas proceso stabilumas.

▪Puikus šilumos laidumas:efektyviai perduoda šilumą, kad būtų išvengta plokštelės perkaitimo.

▪Stiprus atsparumas korozijai:Atspari įvairių korozinių dujų ir plazmos erozijai.

▪Individualizuota paslauga:Įvairių dydžių ir formų grafito atramos stalai gali būti pritaikyti pagal klientų poreikius.

Grafitinė medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Rodyklė	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stiprumas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Suspaudimo jėga	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikantis G12 didelio dydžio plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina pralaidumą, todėl gaunamas didesnis derlius ir mažesnės gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis – 156 serija	156-13 grefitinė valtis	144
	156-19 grefitinė valtis	216
	156-21 grefitinė valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis – 125 serija	125-15 grefitinė valtis	196
	125-19 grefitinė valtis	252
	125-21 grfito valtis	280