Grafito substrato plokštelių laikiklis PECVD

Grafito substrato plokštelių laikiklis, skirtas PECVD išskirtiniam vaizdui

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ grafito substrato laikiklis sukurtas taip, kad išlaikytų plokštelių išlygiavimą ir stabilumą viso PECVD proceso metu, užkertant kelią užteršimui ir sumažinant žalos riziką. Grafito plokštelių laikiklis suteikia saugią, lygią platformą, užtikrinančią, kad plokštelės būtų tolygiai veikiamos plazmos, kad būtų užtikrintas nuoseklus ir aukštos kokybės nusodinimas. Dėl didelio šilumos laidumo ir išskirtinio stiprumo šis laikiklis padeda pagerinti bendrą proceso efektyvumą ir produkto našumą.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder yra tikslus laikiklis, sukurtas PECVD (plazmoje patobulinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis aukštos kokybės grafito substrato laikiklis pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos, pasižyminčios puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis. Tai gali suteikti stabilią PECVD proceso palaikymo platformą ir užtikrinti plėvelės nusodinimo vienodumą ir lygumą.

VET Energy PECVD proceso grafito plokštelių atraminė lentelė turi šias charakteristikas:

▪Aukštas grynumas:itin mažas priemaišų kiekis, išvengti plėvelės užteršimo, užtikrinti plėvelės kokybę.

▪Didelis tankis:didelis tankis, didelis mechaninis stiprumas, gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir aukšto slėgio PECVD aplinką.

▪Geras matmenų stabilumas:mažas matmenų pokytis esant aukštai temperatūrai, užtikrinantis proceso stabilumą.

▪Puikus šilumos laidumas:efektyviai perduoda šilumą, kad būtų išvengta plokštelės perkaitimo.

▪Stiprus atsparumas korozijai:gali atsispirti įvairių korozinių dujų ir plazmos erozijai.

▪Individualizuota paslauga:Įvairių dydžių ir formų grafito atraminiai stalai gali būti pritaikyti pagal klientų poreikius.

Produkto privalumai

▪Pagerinkite filmo kokybę:Užtikrinkite vienodą plėvelės nusodinimą ir pagerinkite plėvelės kokybę.

▪Pailginti įrangos tarnavimo laiką:Puikus atsparumas korozijai, prailgina PECVD įrangos tarnavimo laiką.

▪Sumažinti gamybos sąnaudas:Aukštos kokybės grafito padėklai gali sumažinti atliekų kiekį ir sumažinti gamybos sąnaudas.

Grafitinė medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Rodyklė	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stiprumas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Suspaudimo jėga	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikantis G12 didelio dydžio plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina pralaidumą, todėl gaunamas didesnis derlius ir mažesnės gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis – 156 serija	156-13 grefitinė valtis	144
	156-19 grefitinė valtis	216
	156-21 grefitinė valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis – 125 serija	125-15 grefitinė valtis	196
	125-19 grefitinė valtis	252
	125-21 grfito valtis	280