Grafitinė vaflių valtis nusodinimui

Trumpas aprašymas:

VET Energy grafito plokštelė yra aukštos kokybės eksploatacinės medžiagos, pritaikytos puslaidininkių, fotovoltinės ir kitose pramonės šakų nusodinimo procesams. Pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos, šis produktas turi puikų atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą korozijai, matmenų stabilumą ir kitas charakteristikas ir gali būti stabili nešiklio platforma nusodinimo procesui, kad būtų užtikrintas plonos plėvelės nusodinimo vienodumas ir lygumas. .

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

PECVD grafito valtis iš VET Energy yra pagaminta iš didelio grynumo izostatinio grafito, kurio poringumas mažesnis nei 15%, o paviršiaus šiurkštumas Ra≤1,6 μm. Puikus matmenų stabilumas ir šilumos laidumas užtikrina vienodą plėvelės nusodinimą ir padidintą elementų efektyvumą.

Grafitinė medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Rodyklė	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stiprumas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Suspaudimo jėga	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikantis G12 didelio dydžio plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina pralaidumą, todėl gaunamas didesnis derlius ir mažesnės gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis – 156 serija	156-13 grefitinė valtis	144
	156-19 grefitinė valtis	216
	156-21 grefitinė valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis – 125 serija	125-15 grefitinė valtis	196
	125-19 grefitinė valtis	252
	125-21 grfito valtis	280