Kaip naujos rūšies puslaidininkinė medžiaga, SiC tapo svarbiausia puslaidininkine medžiaga gaminant trumpo bangos ilgio optoelektroninius prietaisus, aukštos temperatūros prietaisus, atsparumo spinduliuotei įtaisus ir didelės galios/didelės galios elektroninius prietaisus dėl savo puikių fizinių ir cheminių savybių. elektrines savybes. Ypač naudojant ekstremaliomis ir atšiauriomis sąlygomis, SiC įrenginių charakteristikos gerokai viršija Si prietaisų ir GaAs įrenginių charakteristikas. Todėl SiC įrenginiai ir įvairių tipų jutikliai pamažu tapo vienu iš pagrindinių įrenginių, atliekančių vis svarbesnį vaidmenį.
SiC įrenginiai ir grandinės sparčiai vystėsi nuo devintojo dešimtmečio, ypač nuo 1989 m., kai į rinką pateko pirmoji SiC substrato plokštelė. Kai kuriose srityse, tokiose kaip šviesos diodai, aukšto dažnio didelės galios ir aukštos įtampos įrenginiai, SiC įrenginiai buvo plačiai naudojami komerciniais tikslais. Vystymasis greitas. Po beveik 10 metų kūrimo SiC įrenginių procesas galėjo gaminti komercinius įrenginius. Nemažai Cree atstovaujamų įmonių pradėjo siūlyti komercinius SiC įrenginių gaminius. Vidaus mokslinių tyrimų institutai ir universitetai taip pat padarė džiuginančių laimėjimų SiC medžiagų augimo ir prietaisų gamybos technologijos srityse. Nors SiC medžiaga turi labai geresnes fizines ir chemines savybes, o SiC įrenginių technologija taip pat yra brandi, tačiau SiC įrenginių ir grandinių našumas nėra pranašesnis. Be SiC medžiagos ir įrenginio procesas turi būti nuolat tobulinamas. Reikėtų dėti daugiau pastangų, kaip išnaudoti SiC medžiagų pranašumus optimizuojant S5C įrenginio struktūrą arba pasiūlant naują įrenginio struktūrą.
Šiuo metu. SiC įrenginių tyrimai daugiausia dėmesio skiria diskretiesiems įrenginiams. Kiekvienam įrenginio struktūros tipui pradinis tyrimas yra tiesiog persodinti atitinkamą Si arba GaAs įrenginio struktūrą į SiC, neoptimizuojant įrenginio struktūros. Kadangi vidinis SiC oksido sluoksnis yra toks pat kaip Si, kuris yra SiO2, tai reiškia, kad dauguma Si prietaisų, ypač m-pa prietaisų, gali būti gaminami naudojant SiC. Nors tai tik paprastas persodinimas, dalis gautų prietaisų pasiekė patenkinamų rezultatų, o dalis įrenginių jau pateko į gamyklų rinką.
SiC optoelektroniniai prietaisai, ypač mėlyni šviesos diodai (BLU-ray šviesos diodai), į rinką pateko 1990-ųjų pradžioje ir yra pirmieji masinės gamybos SiC įrenginiai. Taip pat parduodami aukštos įtampos SiC Schottky diodai, SiC RF galios tranzistoriai, SiC MOSFET ir mesFET. Žinoma, visų šių SiC gaminių našumas toli gražu neatitinka SiC medžiagų super charakteristikų, o stipresnę SiC įrenginių funkciją ir našumą dar reikia ištirti ir tobulinti. Tokie paprasti persodinimai dažnai negali visiškai išnaudoti SiC medžiagų privalumų. Net kai kurių SiC įrenginių pranašumų srityje. Kai kurie iš pradžių pagaminti SiC įtaisai negali prilygti atitinkamų Si arba CaAs įrenginių našumui.
Siekdami geriau transformuoti SiC medžiagų charakteristikų pranašumus į SiC įrenginių privalumus, šiuo metu tiriame, kaip optimizuoti įrenginio gamybos procesą ir įrenginio struktūrą arba kurti naujas struktūras ir naujus procesus, siekiant pagerinti SiC įrenginių funkciją ir veikimą.
Paskelbimo laikas: 2022-08-23