Kaip parodyta aukščiau, yra tipiškas
Pirmoji pusė:
Šildymo elementas (kaitinimo ritė): esantis aplink krosnies vamzdį, dažniausiai pagamintas iš varžos laidų, naudojamas krosnies vamzdžio vidui šildyti.
Kvarcinis vamzdis: karštos oksidacijos krosnies šerdis, pagaminta iš labai gryno kvarco, kuris gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir išlieka chemiškai inertiškas.
Dujų tiekimas: esantis krosnies vamzdžio viršuje arba šone, jis naudojamas deguoniui ar kitoms dujoms transportuoti į krosnies vamzdžio vidų.
SS Flanšas: komponentai, jungiantys kvarcinius vamzdžius ir dujų linijas, užtikrinantys jungties sandarumą ir stabilumą.
Dujų tiekimo linijos: Vamzdžiai, jungiantys MFC su dujų tiekimo prievadu dujoms perduoti.
MFC (masės srauto valdiklis) : įtaisas, valdantis dujų srautą kvarciniame vamzdyje, kad tiksliai reguliuotų reikiamą dujų kiekį.
Vėdinimo anga: naudojama išmetamosioms dujoms išleisti iš krosnies vamzdžio vidaus į įrangos išorę.
Apatinė dalis
Silicio plokštelės laikiklyje: Silicio plokštelės yra įdėtos į specialų laikiklį, kad būtų užtikrinta vienoda šiluma oksidacijos metu.
Plokščių laikiklis: naudojamas silicio plokštelei laikyti ir užtikrinti, kad silicio plokštelė proceso metu išliktų stabili.
Pjedestalas: konstrukcija, kurioje laikomas silicio plokštelių laikiklis, paprastai pagamintas iš aukštai temperatūrai atsparios medžiagos.
Liftas: naudojamas plokštelių laikikliams pakelti į kvarcinius vamzdžius ir iš jų, kad būtų galima automatiškai įkelti ir iškrauti silicio plokšteles.
Vaflių perkėlimo robotas: esantis krosnies vamzdžio įrenginio šone, jis naudojamas automatiškai išimti silicio plokštelę iš dėžutės ir įdėti į krosnies vamzdelį arba išimti po apdorojimo.
Kasečių laikymo karuselė: Kasečių laikymo karuselė naudojama dėžutei su silicio plokštelėmis laikyti ir ją galima pasukti, kad robotas galėtų pasiekti.
Vaflių kasetė: plokštelių kasetė naudojama apdorotoms silicio plokštelėms laikyti ir perkelti.
Paskelbimo laikas: 2024-04-22