Kaip parodyta aukščiau, yra tipiškas
Pirmoji pusė:
▪ Šildymo elementas (kaitinimo gyvatukas):
esantis aplink krosnies vamzdį, dažniausiai pagamintas iš varžos laidų, naudojamų krosnies vamzdžio vidui šildyti.
▪ Kvarcinis vamzdis:
Karštos oksidacijos krosnies šerdis, pagaminta iš labai gryno kvarco, kuris gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir išlieka chemiškai inertiškas.
▪ Dujų tiekimas:
Įsikūręs krosnies vamzdžio viršuje arba šone, jis naudojamas deguoniui ar kitoms dujoms transportuoti į krosnies vamzdžio vidų.
▪ SS flanšas:
komponentai, jungiantys kvarcinius vamzdžius ir dujų linijas, užtikrinantys jungties sandarumą ir stabilumą.
▪ Dujų tiekimo linijos:
Vamzdžiai, jungiantys MFC su dujų tiekimo prievadu dujų perdavimui.
▪ MFC (masės srauto valdiklis):
Įtaisas, valdantis dujų srautą kvarciniame vamzdyje, kad tiksliai reguliuotų reikiamą dujų kiekį.
▪ Vėdinimo anga:
Naudojamas išmetamųjų dujų išleidimui iš krosnies vamzdžio vidaus į įrangos išorę.
Apatinė dalis:
▪ Silicio plokštelės laikiklyje:
Silicio plokštelės yra įdėtos į specialų laikiklį, užtikrinantį vienodą šilumą oksidacijos metu.
▪ Vaflių laikiklis:
Naudojamas silicio plokštelei laikyti ir užtikrinti, kad silicio plokštelė proceso metu išliktų stabili.
▪ Pjedestalas:
Konstrukcija, kurioje laikomas silicio plokštelių laikiklis, dažniausiai pagamintas iš aukštai temperatūrai atsparios medžiagos.
▪ Liftas:
Naudojamas plokštelių laikikliams pakelti į kvarcinius vamzdžius ir iš jų, kad būtų galima automatiškai įkelti ir iškrauti silicio plokšteles.
▪ Vaflių perkėlimo robotas:
esantis krosnies vamzdžio įtaiso šone, jis naudojamas automatiškai išimti silicio plokštelę iš dėžutės ir įdėti ją į krosnies vamzdį arba išimti po apdorojimo.
▪ Kasečių laikymo karuselė:
Kasečių laikymo karuselė naudojama dėžutei, kurioje yra silicio plokštelės, laikyti ir gali būti pasukta, kad robotas galėtų pasiekti.
▪ Vaflių kasetė:
plokštelių kasetė naudojama apdorotoms silicio plokštelėms laikyti ir perkelti.
Paskelbimo laikas: 2024-04-22