Cheminis nusodinimas iš garų (CVD) yra plačiausiai naudojama technologija puslaidininkių pramonėje, skirta nusodinti įvairias medžiagas, įskaitant daugybę izoliacinių medžiagų, daugumą metalinių medžiagų ir metalų lydinių medžiagas. CVD yra tradicinė plonos plėvelės paruošimo technologija. Jo principas...
Skaityti daugiau