Silicio karbido valties atramos pranašumai, palyginti su kvarcinės valties atrama

Pagrindinės funkcijossilicio karbido valtisatrama ir kvarcinės valties atrama yra vienodos.Silicio karbido valtispalaikymas turi puikų našumą, bet aukštą kainą. Tai yra alternatyvus ryšys su kvarcinės valties atrama baterijų apdorojimo įrangoje esant atšiaurioms darbo sąlygoms (pvz., LPCVD įranga ir boro difuzijos įranga). Akumuliatorių apdorojimo įrenginiuose su įprastomis darbo sąlygomis dėl kainų santykių silicio karbido ir kvarco valties atrama tampa kartu egzistuojančiomis ir konkuruojančiomis kategorijomis.

① Pakeitimo santykis LPCVD ir boro difuzijos įrangoje

LPCVD įranga naudojama akumuliatoriaus elementų tuneliniam oksidavimui ir legiruoto polisilicio sluoksnio paruošimo procesui. Veikimo principas:

Esant žemo slėgio atmosferai, kartu su atitinkama temperatūra, susidaro cheminė reakcija ir nusodinimo plėvelė, kad būtų paruoštas itin plonas tunelinis oksido sluoksnis ir polisilicio plėvelė. Tunelinio oksidavimo ir legiruoto polisilicio sluoksnio paruošimo procese valties atrama turi aukštą darbinę temperatūrą, o ant paviršiaus bus nusodinta silicio plėvelė. Kvarco šiluminio plėtimosi koeficientas gerokai skiriasi nuo silicio. Kai naudojamas aukščiau minėtame procese, būtina reguliariai marinuoti ir pašalinti ant paviršiaus nusėdusį silicį, kad kvarcinės valties atrama nesulūžtų dėl šiluminio plėtimosi ir susitraukimo dėl skirtingo silicio šiluminio plėtimosi koeficiento. Dėl dažno ėsdinimo ir mažo stiprumo aukštoje temperatūroje kvarcinis valties laikiklis turi trumpą tarnavimo laiką ir dažnai keičiamas tunelinio oksidacijos ir legiruoto polisilicio sluoksnio paruošimo procese, o tai žymiai padidina akumuliatoriaus elemento gamybos sąnaudas. Išsiplėtimo koeficientassilicio karbidasyra artimas siliciui. Integruotassilicio karbido valtislaikiklis nereikalauja ėsdinimo tunelinio oksidavimo ir legiruoto polisilicio sluoksnio paruošimo procese. Jis pasižymi dideliu stiprumu aukštoje temperatūroje ir ilgą tarnavimo laiką. Tai gera alternatyva kvarciniam valties laikikliui.

Boro plėtimosi įranga daugiausia naudojama boro elementų legiravimui ant baterijos elemento N tipo silicio plokštelės substrato, kad būtų paruoštas P tipo emiteris, kad susidarytų PN jungtis. Darbo principas yra cheminės reakcijos ir molekulinio nusodinimo plėvelės susidarymas aukštos temperatūros atmosferoje. Suformavus plėvelę, ji gali būti išsklaidyta kaitinant aukštoje temperatūroje, kad būtų įgyvendinta silicio plokštelės paviršiaus dopingo funkcija. Dėl aukštos boro plėtimosi įrangos darbinės temperatūros kvarcinis valties laikiklis pasižymi mažu stipriu aukštoje temperatūroje ir trumpu boro plėtimosi įrangos tarnavimo laiku. Integruotassilicio karbido valtisLaikiklis pasižymi dideliu atsparumu aukštai temperatūrai ir yra gera alternatyva kvarciniam valties laikikliui boro plėtimosi procese.

② Pakeitimo santykis kitoje proceso įrangoje

SiC valčių atramos turi mažą gamybos pajėgumą ir puikų našumą. Jų kaina paprastai yra didesnė nei kvarcinių valčių atramų. Bendromis ląstelių apdorojimo įrangos darbo sąlygomis SiC valties atramų ir kvarcinių valčių atramų eksploatavimo trukmės skirtumas yra nedidelis. Tolesni klientai daugiausia lygina ir renkasi kainą ir našumą pagal savo procesus ir poreikius. SiC valčių atramos ir kvarcinės valčių atramos tapo kartu egzistuojančios ir konkurencingos. Tačiau šiuo metu SiC valčių atramų bendrasis pelnas yra gana didelis. Sumažėjus SiC valčių atramų gamybos sąnaudoms, jei SiC valčių atramų pardavimo kaina aktyviai mažės, tai taip pat padidins kvarcinių valčių atramų konkurencingumą.

Naudojimo santykis

Ląstelių technologijos maršrutas daugiausia yra PERC technologija ir TOPCon technologija. PERC technologijos rinkos dalis yra 88%, o TOPCon technologijos rinkos dalis yra 8,3%. Jų bendra rinkos dalis sudaro 96,30%.

Kaip parodyta paveikslėlyje žemiau:

PERC technologijoje priekiniams fosforo difuzijos ir atkaitinimo procesams reikalingos valties atramos. TOPCon technologijoje valties atramos reikalingos priekinės boro difuzijos, LPCVD, užpakalinės fosforo difuzijos ir atkaitinimo procesams. Šiuo metu silicio karbido valčių atramos daugiausia naudojamos TOPCon technologijos LPCVD procese, o jų taikymas boro difuzijos procese buvo iš esmės patikrintas.

Paveikslas Valties atramų taikymas ląstelių apdorojimo procese

Pastaba: po PERC ir TOPCon technologijų priekinės ir galinės dangos, vis dar yra sąsajų, tokių kaip šilkografija, sukepinimas ir bandymas bei rūšiavimas, kuriems nereikia naudoti valties atramų ir kurie nėra išvardyti aukščiau esančiame paveikslėlyje.