VET energetikaPECVD proceso grafito laikiklis yra aukštos kokybės eksploatacinės medžiagos, pritaikytos PECVD (plazmoje sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis grafito laikiklis pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos, pasižymintis puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis, gali būti stabili PECVD proceso nešiklio platforma, užtikrinanti plonos plėvelės vienodumą ir plokštumą. nusėdimas.
PECVD proceso grafito nešikliai turi šias charakteristikas:
▪ Didelis grynumas: itin mažas priemaišų kiekis, išvengiant plėvelės užteršimo ir užtikrinant plėvelės kokybę.
▪ Didelis tankis: didelis tankis, didelis mechaninis stiprumas, galintis atlaikyti aukštą temperatūrą ir aukštą slėgį PECVD aplinkoje.
▪ Geras matmenų stabilumas: nedidelis matmenų pokytis aukštoje temperatūroje, užtikrinantis proceso stabilumą.
▪ Puikus šilumos laidumas: efektyviai perduoda šilumą, kad plokštelė neperkaistų.
▪ Stiprus atsparumas korozijai: gali atsispirti įvairių korozinių dujų ir plazmos erozijai.
▪ Individualizuota paslauga: įvairių dydžių ir formų grafito laikikliai gali būti pritaikyti pagal klientų poreikius.
Grafitinė medžiaga iš SGL:
Tipinis parametras: R6510 | |||
Rodyklė | Bandymo standartas | Vertė | Vienetas |
Vidutinis grūdų dydis | ISO 13320 | 10 | μm |
Tūrinis tankis | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Atviras poringumas | DIN66133 | 10 | % |
Vidutinis porų dydis | DIN66133 | 1.8 | μm |
Pralaidumas | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwell kietumas HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Savitoji elektrinė varža | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Lenkimo stiprumas | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Suspaudimo jėga | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngo modulis | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Šiluminis plėtimasis (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2x10-6 | K-1 |
Šilumos laidumas (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikantis G12 didelio dydžio plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina pralaidumą, todėl gaunamas didesnis derlius ir mažesnės gamybos sąnaudos.
Prekė | Tipas | Skaičių plokštelių laikiklis |
PEVCD Grephite valtis – 156 serija | 156-13 grefitinė valtis | 144 |
156-19 grefitinė valtis | 216 | |
156-21 grefitinė valtis | 240 | |
156-23 grafito valtis | 308 | |
PEVCD Grephite valtis – 125 serija | 125-15 grefitinė valtis | 196 |
125-19 grefitinė valtis | 252 | |
125-21 grfito valtis | 280 |