PECVD Loading Tray Deposition Tray Graphite

PECVD Loading Tray Deposition ຖາດ Graphite ຮູບພາບທີ່ໂດດເດັ່ນ

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

ຖາດ PECVD Loading Tray ຂອງ VET Energy ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງຄວາມປອດໄພແລະແມ້ກະທັ້ງການສະຫນັບສະຫນູນສໍາລັບ wafers ໃນລະຫວ່າງການຝາກ, ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການເງິນຝາກ. ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຖາດ Graphite ຊ່ວຍຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການຄວບຄຸມພາຍໃນຫ້ອງ PECVD, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນປະສິດທິພາບຂະບວນການສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫຼດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ຖາດໂຫຼດ PECVD ພະລັງງານ VET ເປັນເຄື່ອງບັນທຸກຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ອອກແບບມາສໍາລັບຂະບວນການ PECVD (plasma ປັບປຸງ vapor deposition ສານເຄມີ). ຖາດ graphite ທີ່ມີຄຸນະພາບສູງນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ. ມັນທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບແລະລັກສະນະອື່ນໆ. ມັນສາມາດສະຫນອງແພລະຕະຟອມການຂົນສົ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບຂະບວນການ PECVD ແລະຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຮາບພຽງຂອງການຝາກຮູບເງົາ.

ຖາດໂຫຼດ PECVD ພະລັງງານ VET ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ semiconductor, photovoltaic, LED ແລະຂົງເຂດອື່ນໆ. ຕົວຢ່າງ:

▪ Semiconductor: ຂະບວນການ PECVD ສໍາລັບວັດສະດຸ semiconductor ເຊັ່ນ silicon wafers ແລະ epitaxial wafers.

▪ Photovoltaic: ຂະບວນການ PECVD ສໍາລັບຮູບເງົາບາງໆຂອງຈຸລັງແສງຕາເວັນ.

▪ LED: ຂະບວນການ PECVD ສໍາລັບຊິບ LED.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ

▪ປັບປຸງຄຸນນະພາບຮູບເງົາ:ຮັບປະກັນການຝາກຮູບເງົາເປັນເອກະພາບແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.

▪ຍືດອາຍຸອຸປະກອນ:ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ, ຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ PECVD.

▪ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ:ຖາດ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການຂູດແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ.

ວັດສະດຸ Graphite ຈາກ SGL:

ພາຣາມິເຕີປົກກະຕິ: R6510
ດັດຊະນີ	ມາດຕະຖານການທົດສອບ	ມູນຄ່າ	ໜ່ວຍ
ຂະຫນາດເມັດພືດສະເລ່ຍ	ISO 13320	10	ມມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ຊມ³
ເປີດ porosity	DIN66133	10	%
ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ	DIN66133	1.8	ມມ
ການຊຶມເຊື້ອ	DIN 51935	0.06	cm²/s
ຄວາມແຂງຂອງ Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ	DIN IEC 60413/402	13	μΩມ
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
ແຮງບີບອັດ	DIN 51910	໑໓໐	MPa
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	DIN 51915	11.5×10³	MPa
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ສະຫນັບສະຫນູນການປຸງແຕ່ງ wafer ຂະຫນາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ດີທີ່ສຸດເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂດຍຜ່ານການ, ເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ໍາ.

ລາຍການ	ປະເພດ	ໝາຍເລກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer
PEVCD Grephite boat - ຊຸດ 156	ເຮືອ 156-13 grephite	144
	ເຮືອ 156-19 grephite	216
	ເຮືອ 156-21 grephite	240
	ເຮືອໄຟ 156-23	308
ເຮືອແພ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125	125-15 ເຮືອ grephite	196
	125-19 ເຮືອ grephite	252
	ເຮືອ 125-21 grphite	280