Graphite Substrate Wafer Holder ສໍາລັບ PECVD

Graphite Substrate Wafer Holder ສໍາລັບຮູບພາບທີ່ໂດດເດັ່ນ PECVD

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

Graphite Substrate Holder ຂອງ VET Energy ແມ່ນວິສະວະກໍາເພື່ອຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafer ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຕະຫຼອດຂະບວນການ PECVD, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍ. Graphite Wafer Holder ສະຫນອງເວທີທີ່ປອດໄພ, ເຖິງແມ່ນວ່າ, ຮັບປະກັນວ່າ wafers ໄດ້ຖືກເປີດເຜີຍຢ່າງເທົ່າທຽມກັນກັບ plasma ສໍາລັບເງິນຝາກທີ່ສອດຄ່ອງແລະມີຄຸນນະພາບສູງ. ດ້ວຍການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງພິເສດ, ຜູ້ຖືນີ້ຊ່ວຍປັບປຸງປະສິດທິພາບຂະບວນການໂດຍລວມແລະການປະຕິບັດຜະລິດຕະພັນ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫຼດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder ແມ່ນຕົວບັນຈຸຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຂະບວນການ PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). ຜູ້ຖືຊັ້ນໃຕ້ດິນ Graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບແລະລັກສະນະອື່ນໆ. ມັນສາມາດສະຫນອງເວທີສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບຂະບວນການ PECVD ແລະຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຮາບພຽງຂອງການຝາກຮູບເງົາ.

ຕາຕະລາງສະຫນັບສະຫນູນ wafer graphite ຂະບວນການ VET Energy PECVD ມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

▪ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:ເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງຮູບເງົາ, ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.

▪ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ:ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນສູງສະພາບແວດລ້ອມ PECVD.

▪ສະຖຽນລະພາບມິຕິທີ່ດີ:ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂະຫນາດນ້ອຍຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

▪ການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ:ປະສິດທິຜົນການໂອນຄວາມຮ້ອນເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ wafer overheating.

▪ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ:ສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນໂດຍອາຍແກັສ corrosive ຕ່າງໆແລະ plasma.

▪ບໍລິການປັບແຕ່ງ:ຕາຕະລາງສະຫນັບສະຫນູນ graphite ຂອງຂະຫນາດແລະຮູບຮ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ

▪ປັບປຸງຄຸນນະພາບຮູບເງົາ:ຮັບປະກັນການຝາກຮູບເງົາເປັນເອກະພາບແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.

▪ຍືດອາຍຸອຸປະກອນ:ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ, ຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ PECVD.

▪ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ:ຖາດ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການຂູດແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ.

ວັດສະດຸ Graphite ຈາກ SGL:

ພາຣາມິເຕີປົກກະຕິ: R6510
ດັດຊະນີ	ມາດຕະຖານການທົດສອບ	ມູນຄ່າ	ໜ່ວຍ
ຂະຫນາດເມັດພືດສະເລ່ຍ	ISO 13320	10	ມມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ຊມ³
ເປີດ porosity	DIN66133	10	%
ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ	DIN66133	1.8	ມມ
ການຊຶມເຊື້ອ	DIN 51935	0.06	cm²/s
ຄວາມແຂງຂອງ Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ	DIN IEC 60413/402	13	μΩມ
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
ແຮງບີບອັດ	DIN 51910	໑໓໐	MPa
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	DIN 51915	11.5×10³	MPa
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ສະຫນັບສະຫນູນການປຸງແຕ່ງ wafer ຂະຫນາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ດີທີ່ສຸດເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂດຍຜ່ານການ, ເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ໍາ.

ລາຍການ	ປະເພດ	ໝາຍເລກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer
PEVCD Grephite boat - ຊຸດ 156	ເຮືອ 156-13 grephite	144
	ເຮືອ 156-19 grephite	216
	ເຮືອ 156-21 grephite	240
	ເຮືອໄຟ 156-23	308
ເຮືອແພ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125	125-15 ເຮືອ grephite	196
	125-19 ເຮືອ grephite	252
	ເຮືອ 125-21 grphite	280