ໃນຖານະເປັນບັນທຸກຂອງ wafers ຊິລິຄອນປົກກະຕິໃນການຜະລິດຂະບວນການເຄືອບ, ໄດ້ເຮືອ graphiteມີ wafers ເຮືອຈໍານວນຫຼາຍທີ່ມີໄລຍະຫ່າງທີ່ແນ່ນອນໃນໂຄງສ້າງ, ແລະມີຊ່ອງແຄບຫຼາຍລະຫວ່າງສອງ wafers ເຮືອທີ່ຢູ່ຕິດກັນ, ແລະ wafers ຊິລິໂຄນໄດ້ຖືກວາງໄວ້ທັງສອງດ້ານຂອງປະຕູເປົ່າ.
ເນື່ອງຈາກວ່າ graphite, ວັດສະດຸຂອງເຮືອ graphite, ມີ conductivity ທີ່ດີແລະຄວາມຮ້ອນ, ແຮງດັນໄຟຟ້າ AC ຖືກນໍາໃຊ້ລະຫວ່າງສອງເຮືອທີ່ຕິດກັນເພື່ອສ້າງເປັນ electrodes ບວກແລະລົບ. ເມື່ອມີຄວາມກົດດັນອາກາດແລະອາຍແກັສທີ່ແນ່ນອນຢູ່ໃນຫ້ອງ, ການໄຫຼຂອງແສງສະຫວ່າງເກີດຂຶ້ນລະຫວ່າງເຮືອທັງສອງ. ການໄຫຼຂອງແສງສາມາດ decompose ອາຍແກັສ SiH4 ແລະ NH3 ໃນອາວະກາດ, ປະກອບເປັນ Si ແລະ N ions, ແລະສົມທົບການເປັນໂມເລກຸນ SiNx ມັນຖືກຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນຂອງ silicon wafer ເພື່ອບັນລຸຈຸດປະສົງຂອງການເຄືອບ.
ໃນຖານະເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງສານເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນຂອງເຊນແສງຕາເວັນ, ໂຄງສ້າງແລະຂະຫນາດຂອງເຮືອ graphite ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບການແປງແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດຂອງ silicon wafer. ຫຼັງຈາກປີຂອງການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາດ້ານວິຊາການ, ປະຈຸບັນ VET Energy ມີອຸປະກອນການຜະລິດທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຜູ້ອອກແບບເຕັກໂນໂລຢີຜູ້ໃຫຍ່ແລະພະນັກງານການຜະລິດທີ່ມີປະສົບການ, ແລະວັດສະດຸແມ່ນວັດຖຸດິບນໍາເຂົ້າ. ໃນປັດຈຸບັນ, ເຮືອ graphite ທີ່ຜະລິດໂດຍບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາມີຂໍ້ດີຂອງປະສິດທິພາບສູງ ໂຄງສ້າງແມ່ນງ່າຍດາຍແລະໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງເຮືອ graphite ແມ່ນສົມເຫດສົມຜົນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການເຄືອບຂອງ silicon wafer ເປັນເອກະພາບ, ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງ.ຊິລິຄອນ wafer, ແລະເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບການແປງພະລັງງານແສງຕາເວັນສູງ. VET Energy ມີເຮືອຫມຶກທຸກປະເພດທີ່ຕະຫຼາດຕ້ອງການໃນປັດຈຸບັນ.
ເຮືອ PECVD Graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບແຜງພະລັງງານແສງອາທິດ
ເວລາປະກາດ: 08-08-2021