ໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງອຸປະກອນທໍ່ furnace ໄດ້ຖືກອະທິບາຍຢ່າງລະອຽດ

ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ຂ້າງເທິງ, ເປັນແບບປົກກະຕິ

ເຄິ່ງທໍາອິດ:

▪ ອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ (ທໍ່ຄວາມຮ້ອນ):

ຕັ້ງຢູ່ອ້ອມຮອບທໍ່ furnace, ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍສາຍຕໍ່ຕ້ານ, ໃຊ້ເພື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນພາຍໃນທໍ່ furnace.

▪ ທໍ່ Quartz:

ຫຼັກຂອງເຕົາເຜົາຜຸພັງຮ້ອນ, ເຮັດດ້ວຍ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະຍັງຄົງ inert ທາງເຄມີ.

▪ ອາຫານແກ໊ສ:

ຕັ້ງຢູ່ດ້ານເທິງຫຼືຂ້າງຂອງທໍ່ furnace, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງອົກຊີເຈນຫຼືອາຍແກັສອື່ນໆໄປຫາພາຍໃນທໍ່ furnace.

▪ SS Flange:

ອົງປະກອບທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ທໍ່ quartz ແລະສາຍອາຍແກັສ, ຮັບປະກັນຄວາມແຫນ້ນຫນາແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຊື່ອມຕໍ່.

▪ ສາຍອາຫານແກັສ:

ທໍ່ທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ MFC ກັບພອດສະຫນອງອາຍແກັສສໍາລັບການສົ່ງອາຍແກັສ.

▪ MFC (Mass Flow Controller):

ອຸປະກອນທີ່ຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສພາຍໃນທໍ່ quartz ເພື່ອຄວບຄຸມປະລິມານອາຍແກັສທີ່ຕ້ອງການຢ່າງແນ່ນອນ.

▪ ທໍ່ລະບາຍອາກາດ:

ໃຊ້ເພື່ອລະບາຍອາຍແກັສອອກຈາກພາຍໃນທໍ່ furnace ສູ່ພາຍນອກຂອງອຸປະກອນ.

ພາກສ່ວນລຸ່ມ:

▪ Silicon Wafers ໃນ Holder:

Silicon wafers ຖືກຈັດໃສ່ໃນ Holder ພິເສດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງການຜຸພັງ.

▪ ຜູ້ຖື Wafer:

ໃຊ້ເພື່ອຍຶດຊິລິໂຄນ wafer ແລະຮັບປະກັນວ່າຊິລິໂຄນ wafer ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ.

▪ ແທ່ນວາງ:

ໂຄງສ້າງທີ່ຖືເປັນ Silicon wafer Holder, ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ.

▪ ຟ:

ໃຊ້ເພື່ອຍົກຜູ້ຖື Wafer ເຂົ້າໄປໃນແລະອອກຈາກທໍ່ quartz ສໍາລັບການໂຫຼດແລະ unloading wafers ຊິລິໂຄນອັດຕະໂນມັດ.

▪ Wafer Transfer Robot:

ຕັ້ງຢູ່ດ້ານຂ້າງຂອງອຸປະກອນທໍ່ furnace, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເອົາຊິລິໂຄນ wafer ອອກຈາກກ່ອງໂດຍອັດຕະໂນມັດແລະວາງໄວ້ໃນທໍ່ furnace, ຫຼືເອົາມັນອອກຫຼັງຈາກການປຸງແຕ່ງ.