ແຫຼ່ງມົນລະພິດແລະການປ້ອງກັນໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor

ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີອຸປະກອນແຍກ, ວົງຈອນປະສົມປະສານແລະຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງພວກເຂົາ.
ການຜະລິດ semiconductor ສາມາດແບ່ງອອກເປັນສາມຂັ້ນຕອນ: ການຜະລິດວັດສະດຸຮ່າງກາຍ, ຜະລິດຕະພັນwaferການຜະລິດແລະການປະກອບອຸປະກອນ. ໃນບັນດາພວກເຂົາ, ມົນລະພິດທີ່ຮ້າຍແຮງທີ່ສຸດແມ່ນຂັ້ນຕອນການຜະລິດ wafer ຜະລິດຕະພັນ.
ມົນລະພິດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແບ່ງອອກເປັນນ້ໍາເສຍ, ອາຍແກັສເສຍແລະສິ່ງເສດເຫຼືອແຂງ.
ຂະບວນການຜະລິດຊິບ:
ຊິລິໂຄນ waferຫຼັງຈາກການຂັດພາຍນອກ - ການເຮັດຄວາມສະອາດ - ການຜຸພັງ - ການຕໍ່ຕ້ານເອກະພາບ - photolithography - ການພັດທະນາ - etching - ການແຜ່ກະຈາຍ, implantation ion - ການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີ - ການຂັດກົນຈັກເຄມີ - metallization, ແລະອື່ນໆ.

ນ້ຳເສຍ
ຈໍານວນນ້ໍາເສຍຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍແມ່ນຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນແຕ່ລະຂັ້ນຕອນຂອງການຜະລິດ semiconductor ແລະການທົດສອບການຫຸ້ມຫໍ່, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນນ້ໍາເສຍອາຊິດຖານ, ນ້ໍາເສຍທີ່ມີອາໂມເນຍແລະນ້ໍາເສຍອິນຊີ.

1. ນ້ຳເສຍທີ່ມີຟລູອໍຣິນ:
ອາຊິດ hydrofluoric ກາຍເປັນຕົວລະລາຍຕົ້ນຕໍທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜຸພັງແລະ etching ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດ oxidizing ແລະ corrosive ຂອງມັນ. ນ້ໍາເສຍທີ່ມີ fluorine ໃນຂະບວນການສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນມາຈາກຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍແລະຂະບວນການຂັດກົນຈັກເຄມີໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບ. ໃນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດຂອງ silicon wafers ແລະເຄື່ອງໃຊ້ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ອາຊິດ hydrochloric ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ຫຼາຍຄັ້ງ. ຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ທັງຫມົດແມ່ນສໍາເລັດໃນຖັງ etching ທີ່ອຸທິດຕົນຫຼືອຸປະກອນທໍາຄວາມສະອາດ, ດັ່ງນັ້ນນ້ໍາເສຍທີ່ມີ fluorine ສາມາດຖືກປ່ອຍອອກເປັນເອກະລາດ. ອີງຕາມຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ, ມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນນ້ໍາເສຍທີ່ມີ fluorine ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງແລະນ້ໍາເສຍທີ່ມີແອມໂມເນຍທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຕ່ໍາ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າເສຍທີ່ມີແອມໂມເນຍທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງສາມາດບັນລຸ 100-1200 mg/L. ບໍລິສັດສ່ວນໃຫຍ່ recycle ສ່ວນນີ້ຂອງນ້ໍາເສຍສໍາລັບຂະບວນການທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຄຸນນະພາບນ້ໍາສູງ.
2. ນ້ຳເສຍທີ່ເປັນກົດ:
ເກືອບທຸກຂະບວນການໃນຂະບວນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການເຮັດຄວາມສະອາດຊິບ. ໃນປັດຈຸບັນ, ອາຊິດຊູນຟູຣິກແລະ hydrogen peroxide ແມ່ນນ້ໍາເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນຂະບວນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ທາດອາຊິດຖານເຊັ່ນອາຊິດ nitric, ອາຊິດ hydrochloric ແລະນ້ໍາ ammonia ຍັງຖືກນໍາໃຊ້.
ນ້ໍາເສຍອາຊິດຖານຂອງຂະບວນການຜະລິດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນມາຈາກຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບ. ໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່, chip ໄດ້ຖືກປະຕິບັດດ້ວຍການແກ້ໄຂອາຊິດຖານໃນລະຫວ່າງການ electroplating ແລະການວິເຄາະທາງເຄມີ. ຫຼັງຈາກການປິ່ນປົວ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງລ້າງດ້ວຍນ້ໍາບໍລິສຸດເພື່ອຜະລິດນ້ໍາເສຍທີ່ເປັນອາຊິດຖານ. ນອກຈາກນັ້ນ, ທາດອາຊິດຖານເຊັ່ນ sodium hydroxide ແລະອາຊິດ hydrochloric ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນສະຖານີນ້ໍາບໍລິສຸດເພື່ອຜະລິດຄືນໃຫມ່ຂອງ anion ແລະ cation resins ເພື່ອຜະລິດນ້ໍາເສຍຂອງອາຊິດ base regeneration. ການລ້າງນ້ໍາຫາງແມ່ນຍັງຜະລິດໃນລະຫວ່າງຂະບວນການລ້າງອາຍແກັສອາຊິດຖານ. ໃນບໍລິສັດຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ, ປະລິມານຂອງນ້ໍາເສຍອາຊິດຖານແມ່ນມີຂະຫນາດໃຫຍ່ໂດຍສະເພາະ.
3. ນ້ຳເສຍອິນຊີ:
ເນື່ອງຈາກຂະບວນການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ປະລິມານຂອງສານລະລາຍອິນຊີທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແມ່ນແຕກຕ່າງກັນຫຼາຍ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເປັນຕົວແທນທໍາຄວາມສະອາດ, ສານລະລາຍອິນຊີຍັງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຊື່ອມຕໍ່ຕ່າງໆຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ການຜະລິດ. ສານລະລາຍບາງອັນກາຍເປັນນໍ້າເສຍທາງອິນຊີ.
4. ນ້ຳເສຍອື່ນໆ:
ຂະບວນການ etching ຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ຈະນໍາໃຊ້ຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ ammonia, fluorine ແລະນ້ໍາຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບການ decontamination, ດັ່ງນັ້ນການສ້າງ ammonia ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງການລະບາຍນ້ໍາເສຍ.
ຂະບວນການ electroplating ແມ່ນຈໍາເປັນໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ semiconductor. ຊິບຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມຫຼັງຈາກ electroplating, ແລະ electroplating ທໍາຄວາມສະອາດນ້ໍາເສຍຈະໄດ້ຮັບການຜະລິດໃນຂະບວນການນີ້. ເນື່ອງຈາກໂລຫະບາງຊະນິດໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນ electroplating, ຈະມີການປ່ອຍອາຍພິດ ion ໂລຫະໃນ electroplating ນ້ໍາເສຍ, ເຊັ່ນ: ນໍາ, ກົ່ວ, ແຜ່ນ, ສັງກະສີ, ອາລູມິນຽມ, ແລະອື່ນໆ.

ອາຍແກັສເສຍ
ນັບຕັ້ງແຕ່ຂະບວນການ semiconductor ມີຄວາມຕ້ອງການສູງທີ່ສຸດສໍາລັບຄວາມສະອາດຂອງຫ້ອງປະຕິບັດການ, fans ປົກກະຕິແລ້ວຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສະກັດປະເພດຕ່າງໆຂອງອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອ volatilized ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ. ດັ່ງນັ້ນ, ການປ່ອຍອາຍພິດຂອງອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແມ່ນມີລັກສະນະໂດຍປະລິມານໄອເສຍຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ໍາ. ການ​ປ່ອຍ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ​ສິ່ງ​ເສດ​ເຫຼືອ​ແມ່ນ​ຍັງ​ມີ​ການ​ຜັນ​ແປ​ສ່ວນ​ໃຫຍ່​.
ການປ່ອຍອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອເຫຼົ່ານີ້ສາມາດແບ່ງອອກເປັນສີ່ປະເພດຕົ້ນຕໍຄື: ອາຍແກັສອາຊິດ, ອາຍແກັສດ່າງ, ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອແລະອາຍແກັສພິດ.
1. ແກ໊ສເສຍອາຊິດຖານ:
ອາຍ​ແກ​ັ​ສ​ຖານ​ຂອງ​ອາ​ຊິດ​ສ່ວນ​ໃຫຍ່​ແມ່ນ​ມາ​ຈາກ​ການ​ແຜ່​ກະ​ຈາຍ​,CVD, CMP ແລະຂະບວນການ etching, ເຊິ່ງໃຊ້ການແກ້ໄຂອາຊິດຖານເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດ wafer.
ໃນປັດຈຸບັນ, ສານລະລາຍທໍາຄວາມສະອາດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນປະສົມຂອງ hydrogen peroxide ແລະອາຊິດຊູນຟູຣິກ.
ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ປະກອບມີທາດອາຍແກັສທີ່ເປັນກົດເຊັ່ນອາຊິດຊູນຟູຣິກ, ອາຊິດ hydrofluoric, ອາຊິດ hydrochloric, ອາຊິດ nitric ແລະ phosphoric, ແລະອາຍແກັສທີ່ເປັນດ່າງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອາໂມເນຍ.
2. ອາຍແກັສຂີ້ເຫຍື້ອອິນຊີ:
ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງອິນຊີສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນມາຈາກຂະບວນການເຊັ່ນ photolithography, ການພັດທະນາ, etching ແລະການແຜ່ກະຈາຍ. ໃນຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, ການແກ້ໄຂອິນຊີ (ເຊັ່ນ: isopropyl alcohol) ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດຫນ້າດິນຂອງ wafer, ແລະອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເກີດຈາກການລະເຫີຍແມ່ນຫນຶ່ງໃນແຫຼ່ງຂອງອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອອິນຊີ;
ໃນຂະນະດຽວກັນ, photoresist (photoresist) ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ photolithography ແລະ etching ປະກອບດ້ວຍສານລະລາຍອິນຊີທີ່ລະເຫີຍເຊັ່ນ butyl acetate, ເຊິ່ງ volatilizes ເຂົ້າໄປໃນບັນຍາກາດໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການປຸງແຕ່ງ wafer, ເຊິ່ງເປັນແຫຼ່ງຂອງອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອອີກອັນຫນຶ່ງ.
3. ແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເປັນພິດ:
ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເປັນພິດສ່ວນຫຼາຍແມ່ນມາຈາກຂະບວນການເຊັ່ນ: epitaxy ໄປເຊຍກັນ, etching ແຫ້ງແລະ CVD. ໃນຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, ຫຼາຍໆທາດອາຍຜິດພິເສດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປຸງແຕ່ງ wafer, ເຊັ່ນ: ຊິລິໂຄນ (SiHj), phosphorus (PH3), ຄາບອນ tetrachloride (CFJ), borane, boron trioxide, ແລະອື່ນໆ, ບາງທາດອາຍຜິດພິເສດແມ່ນເປັນພິດ, asphyxiating ແລະ corrosive.
ໃນເວລາດຽວກັນ, ໃນຂະບວນການ etching ແຫ້ງແລະທໍາຄວາມສະອາດຫຼັງຈາກການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີໃນການຜະລິດ semiconductor, ຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງອາຍແກັສອອກໄຊເຕັມ (PFCS) ຈໍາເປັນຕ້ອງມີ, ເຊັ່ນ NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ແລະອື່ນໆ ທາດປະສົມ perfluorinated ເຫຼົ່ານີ້. ມີ​ການ​ດູດ​ຊຶມ​ທີ່​ເຂັ້ມ​ແຂງ​ໃນ​ພາກ​ພື້ນ​ແສງ infrared ແລະ​ຢູ່​ໃນ​ບັນ​ຍາ​ກາດ​ເປັນ​ເວ​ລາ​ດົນ​ນານ​. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວພວກມັນຖືວ່າເປັນແຫຼ່ງຕົ້ນຕໍຂອງຜົນກະທົບເຮືອນແກ້ວທົ່ວໂລກ.
4. ຂະບວນການບັນຈຸອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອ:
ເມື່ອປຽບທຽບກັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ຜະລິດໂດຍຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງ semiconductor ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອາຍແກັສກົດ, ຢາງ epoxy ແລະຂີ້ຝຸ່ນ.
ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເປັນກົດແມ່ນຜະລິດສ່ວນໃຫຍ່ໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: electroplating;
Baking ອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອແມ່ນສ້າງຂຶ້ນໃນຂະບວນການ baking ຫຼັງຈາກ pasting ຜະລິດຕະພັນແລະການຜະນຶກ;
ເຄື່ອງ dicing ສ້າງອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ປະກອບດ້ວຍຝຸ່ນຊິລິຄອນຕາມຮອຍໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຕັດ wafer.

ບັນຫາມົນລະພິດສິ່ງແວດລ້ອມ
ສຳລັບ​ບັນຫາ​ມົນ​ລະ​ພິດ​ສິ່ງ​ແວດ​ລ້ອມ​ໃນ​ອຸດ​ສາ​ຫະກຳ​ເຊ​ມິ​ຄອນ​ดัก​ເຕີ, ບັນຫາ​ຕົ້ນຕໍ​ທີ່​ຕ້ອງ​ໄດ້​ແກ້​ໄຂ​ແມ່ນ:
· ການປ່ອຍອາຍພິດທາງອາກາດຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ທາດປະສົມອິນຊີທີ່ລະເຫີຍ (VOCs) ໃນຂະບວນການ photolithography;
· ການປ່ອຍທາດປະສົມ perfluorinated (PFCS) ໃນຂະບວນການ plasma etching ແລະ vapor deposition ສານເຄມີ;
· ການຊົມໃຊ້ພະລັງງານ ແລະ ນ້ຳຂະໜາດໃຫຍ່ໃນການຜະລິດ ແລະ ການປົກປ້ອງຄົນງານ;
· ການລີໄຊເຄີນ ແລະ ການຕິດຕາມມົນລະພິດຂອງຜະລິດຕະພັນຜົນກຳໄລ;
· ບັນຫາການນຳໃຊ້ສານເຄມີອັນຕະລາຍໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່.

ການຜະລິດສະອາດ
ອຸປະກອນ semiconductor ເຕັກໂນໂລຊີການຜະລິດສະອາດສາມາດໄດ້ຮັບການປັບປຸງຈາກລັກສະນະຂອງວັດຖຸດິບ, ຂະບວນການແລະການຄວບຄຸມຂະບວນການ.

ປັບປຸງວັດຖຸດິບ ແລະ ພະລັງງານ
ຫນ້າທໍາອິດ, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸຄວນໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການນໍາສະເຫນີຂອງ impurities ແລະ particles.
ອັນທີສອງ, ອຸນຫະພູມຕ່າງໆ, ການກວດພົບການຮົ່ວໄຫຼ, ການສັ່ນສະເທືອນ, ການຊ໊ອກໄຟຟ້າແຮງດັນສູງແລະການທົດສອບອື່ນໆຄວນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດກ່ຽວກັບອົງປະກອບຂາເຂົ້າຫຼືຜະລິດຕະພັນເຄິ່ງສໍາເລັດຮູບກ່ອນທີ່ຈະເອົາເຂົ້າໄປໃນການຜະລິດ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເສີມຄວນໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ມີເທກໂນໂລຍີທີ່ຂ້ອນຂ້າງຫຼາຍທີ່ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອການຜະລິດພະລັງງານທີ່ສະອາດ.

ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການຜະລິດ
ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ຕົວຂອງມັນເອງພະຍາຍາມຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມໂດຍຜ່ານການປັບປຸງເຕັກໂນໂລຢີຂະບວນການ.
ຕົວຢ່າງ, ໃນຊຸມປີ 1970, ທາດລະລາຍອິນຊີສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດ wafers ໃນເຕັກໂນໂລຢີການເຮັດຄວາມສະອາດວົງຈອນປະສົມປະສານ. ໃນຊຸມປີ 1980, ການແກ້ໄຂອາຊິດແລະເປັນດ່າງເຊັ່ນອາຊິດຊູນຟູຣິກໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດ wafers. ຈົນກ່ວາ 1990s, ເຕັກໂນໂລຊີທໍາຄວາມສະອາດອົກຊີເຈນໃນ plasma ໄດ້ຖືກພັດທະນາ.
ໃນດ້ານການຫຸ້ມຫໍ່, ປະຈຸບັນ, ບໍລິສັດສ່ວນໃຫຍ່ໄດ້ນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີ electroplating, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດມົນລະພິດໂລຫະຫນັກຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ.
​ແນວ​ໃດ​ກໍ​ດີ, ໂຮງງານ​ຫຸ້ມ​ຫໍ່​ຢູ່​ຊຽງ​ໄຮ​ບໍ່​ໄດ້​ໃຊ້​ເຕັກ​ໂນ​ໂລ​ຊີ​ແຜ່ນ​ໄຟຟ້າ​ອີກ​ແລ້ວ, ດັ່ງ​ນັ້ນ​ຈຶ່ງ​ບໍ່​ມີ​ການ​ກະທົບ​ຕໍ່​ສິ່ງ​ແວດ​ລ້ອມ. ສາມາດພົບເຫັນໄດ້ວ່າອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ກໍາລັງຄ່ອຍໆຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມໂດຍຜ່ານການປັບປຸງຂະບວນການແລະການທົດແທນສານເຄມີໃນຂະບວນການພັດທະນາຂອງຕົນເອງ, ເຊິ່ງປະຕິບັດຕາມແນວໂນ້ມການພັດທະນາທົ່ວໂລກໃນປະຈຸບັນຂອງຂະບວນການສົ່ງເສີມແລະການອອກແບບຜະລິດຕະພັນໂດຍອີງໃສ່ສະພາບແວດລ້ອມ.

ໃນປັດຈຸບັນ, ການປັບປຸງຂະບວນການທ້ອງຖິ່ນຫຼາຍແມ່ນໄດ້ຖືກປະຕິບັດ, ລວມທັງ:
·ການທົດແທນແລະການຫຼຸດລົງຂອງອາຍແກັສ PFCS ທັງຫມົດ ammonium, ເຊັ່ນ: ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສ PFCs ທີ່ມີຜົນກະທົບເຮືອນແກ້ວຕ່ໍາເພື່ອທົດແທນອາຍແກັສທີ່ມີຜົນກະທົບເຮືອນແກ້ວສູງ, ເຊັ່ນ: ການປັບປຸງການໄຫຼຂອງຂະບວນການແລະການຫຼຸດຜ່ອນຈໍານວນຂອງອາຍແກັສ PFCS ນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ;
·ປັບປຸງການທໍາຄວາມສະອາດຫຼາຍ wafer ກັບການທໍາຄວາມສະອາດ wafer ດຽວເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານຂອງສານທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ.
·​ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ຂະ​ບວນ​ການ​ທີ່​ເຂັ້ມ​ງວດ​:
ກ. ຮັບຮູ້ອັດຕະໂນມັດຂອງຂະບວນການຜະລິດ, ເຊິ່ງສາມາດຮັບຮູ້ການປຸງແຕ່ງທີ່ຊັດເຈນແລະການຜະລິດ batch, ແລະຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາຄວາມຜິດພາດສູງຂອງການດໍາເນີນງານຄູ່ມື;
ຂ. ປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ, ປະມານ 5% ຫຼືຫນ້ອຍຂອງການສູນເສຍຜົນຜະລິດແມ່ນເກີດຈາກຄົນແລະສິ່ງແວດລ້ອມ. ປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການທີ່ສະອາດທີ່ສຸດປະກອບມີຄວາມສະອາດທາງອາກາດ, ນ້ໍາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ອາກາດບີບອັດ, CO2, N2, ອຸນຫະພູມ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ແລະອື່ນໆ. ອາກາດ, ນັ້ນແມ່ນ, ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງອະນຸພາກ;
ຄ. ເພີ່ມທະວີການຊອກຄົ້ນຫາ, ແລະເລືອກເອົາຈຸດສໍາຄັນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຊອກຄົ້ນຫາຢູ່ໃນສະຖານີເຮັດວຽກທີ່ມີຈໍານວນຂີ້ເຫຍື້ອຫຼາຍໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ.

 

ຍິນດີຕ້ອນຮັບລູກຄ້າຈາກທົ່ວໂລກມາຢ້ຽມຢາມພວກເຮົາເພື່ອສົນທະນາຕື່ມອີກ!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j


ເວລາປະກາດ: ສິງຫາ-13-2024
WhatsApp ສົນທະນາອອນໄລນ໌!