ຂະບວນການພື້ນຖານຂອງSiCການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນແມ່ນແບ່ງອອກເປັນ sublimation ແລະການຍ່ອຍສະຫຼາຍຂອງວັດຖຸດິບໃນອຸນຫະພູມສູງ, ການຂົນສົ່ງຂອງສານໄລຍະອາຍແກັສພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງ gradient ອຸນຫະພູມ, ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ recrystallization ຂອງສານໄລຍະອາຍແກັສຢູ່ທີ່ໄປເຊຍກັນແກ່ນ. ອີງຕາມການນີ້, ພາຍໃນຂອງ crucible ໄດ້ແບ່ງອອກເປັນສາມພາກສ່ວນ: ພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບ, ສະພາການຈະເລີນເຕີບໂຕແລະໄປເຊຍກັນແກ່ນ. ຮູບແບບຈໍາລອງຕົວເລກໄດ້ຖືກແຕ້ມໂດຍອີງໃສ່ຕົວຕ້ານທານຕົວຈິງSiCອຸປະກອນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວ (ເບິ່ງຮູບ 1). ໃນການຄິດໄລ່: ດ້ານລຸ່ມຂອງcrucibleຫ່າງຈາກດ້ານລຸ່ມຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນດ້ານຂ້າງ 90 ມມ, ອຸນຫະພູມເທິງຂອງ crucible ແມ່ນ 2100 ℃, ເສັ້ນຜ່າກາງອະນຸພາກວັດຖຸດິບແມ່ນ 1000 μm, porosity ແມ່ນ 0.6, ຄວາມກົດດັນການຂະຫຍາຍຕົວແມ່ນ 300 Pa, ແລະເວລາການຂະຫຍາຍຕົວແມ່ນ 100 h. . ຄວາມຫນາຂອງ PG ແມ່ນ 5 ມມ, ເສັ້ນຜ່າກາງແມ່ນເທົ່າກັບເສັ້ນຜ່າກາງພາຍໃນຂອງ crucible, ແລະມັນຕັ້ງຢູ່ 30 ມມຂ້າງເທິງວັດຖຸດິບ. ຂະບວນການ sublimation, carbonization, ແລະ recrystallization ຂອງເຂດວັດຖຸດິບໄດ້ຖືກພິຈາລະນາໃນການຄິດໄລ່, ແລະປະຕິກິລິຍາລະຫວ່າງ PG ແລະສານໄລຍະອາຍແກັສບໍ່ໄດ້ຖືກພິຈາລະນາ. ຕົວກໍານົດການຊັບສິນທາງກາຍະພາບທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຄິດໄລ່ແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນຕາຕະລາງ 1.
ຮູບທີ 1 ຮູບແບບການຄິດໄລ່ຈໍາລອງ. (a) ຮູບແບບພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນສໍາລັບການຈໍາລອງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ; (b) ການແບ່ງພື້ນທີ່ພາຍໃນຂອງ crucible ແລະບັນຫາທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
ຕາຕະລາງ 1 ບາງຕົວກໍານົດການທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ໃຊ້ໃນການຄິດໄລ່
ຮູບທີ 2(a) ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າອຸນຫະພູມຂອງໂຄງສ້າງທີ່ມີ PG (ໝາຍເຖິງໂຄງສ້າງ 1) ແມ່ນສູງກວ່າໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ມີ PG (ໝາຍເຖິງໂຄງສ້າງ 0) ຂ້າງລຸ່ມ PG, ແລະຕໍ່າກວ່າໂຄງສ້າງ 0 ຂ້າງເທິງ PG. gradient ອຸນຫະພູມໂດຍລວມເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະ PG ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຕົວກັນຄວາມຮ້ອນ. ອີງຕາມຮູບ 2(b) ແລະ 2(c), ລະດັບອຸນຫະພູມຕາມແກນແລະ radial ຂອງໂຄງສ້າງ 1 ໃນເຂດວັດຖຸດິບແມ່ນນ້ອຍລົງ, ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມແມ່ນເປັນເອກະພາບຫຼາຍ, ແລະການ sublimation ຂອງວັດສະດຸແມ່ນສົມບູນຫຼາຍ. ບໍ່ເຫມືອນກັບເຂດວັດຖຸດິບ, ຮູບ 2(c) ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະດັບອຸນຫະພູມ radial ຢູ່ໄປເຊຍກັນແກ່ນຂອງໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນໃຫຍ່ກວ່າ, ເຊິ່ງອາດຈະເກີດມາຈາກອັດຕາສ່ວນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຮູບແບບການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ຜລຶກຈະເລີນເຕີບໂຕດ້ວຍການໂຕ້ຕອບ convex. . ໃນຮູບ 2(d), ອຸນຫະພູມຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນ crucible ສະແດງໃຫ້ເຫັນທ່າອ່ຽງເພີ່ມຂຶ້ນຍ້ອນວ່າການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ, ແຕ່ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມລະຫວ່າງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງໃນເຂດວັດຖຸດິບແລະຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນໃນຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວ.
ຮູບທີ 2 ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມ ແລະການປ່ຽນແປງໃນ crucible. (a) ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມພາຍໃນ crucible ຂອງໂຄງສ້າງ 0 (ຊ້າຍ) ແລະໂຄງສ້າງ 1 (ຂວາ) ທີ່ 0 h, ຫນ່ວຍ: ℃; (b) ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມຢູ່ໃນເສັ້ນສູນກາງຂອງ crucible ຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ຈາກລຸ່ມສຸດຂອງວັດຖຸດິບກັບໄປເຊຍກັນແກ່ນຢູ່ທີ່ 0 h; (c) ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມຈາກສູນກາງໄປແຂບຂອງ crucible ເທິງຫນ້າດິນໄປເຊຍກັນຂອງເມັດ (A) ແລະດ້ານວັດຖຸດິບ (B), ກາງ (C) ແລະລຸ່ມ (D) ຢູ່ທີ່ 0 h, ແກນອອກຕາມລວງນອນ r ແມ່ນ. radius ໄປເຊຍກັນຂອງແກ່ນສໍາລັບ A, ແລະ radius ພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບສໍາລັບ B ~ D; (d) ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມທີ່ສູນກາງຂອງສ່ວນເທິງ (A), ດ້ານວັດຖຸດິບ (B) ແລະກາງ (C) ຂອງຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ທີ່ 0, 30, 60, ແລະ 100 h.
ຮູບທີ່ 3 ສະແດງໃຫ້ເຫັນການຂົນສົ່ງວັດສະດຸໃນເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນ crucible ຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1. ອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໄລຍະອາຍແກັສໃນພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບແລະຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວເພີ່ມຂຶ້ນຕາມການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຕໍາແຫນ່ງ, ແລະການຂົນສົ່ງວັດສະດຸອ່ອນລົງຍ້ອນວ່າການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ. . ຮູບທີ່ 3 ຍັງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການຈໍາລອງ, ວັດຖຸດິບທໍາອິດ graphitizes ຢູ່ຝາຂ້າງຂອງ crucible ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຢູ່ດ້ານລຸ່ມຂອງ crucible ໄດ້. ນອກຈາກນັ້ນ, ມີການ recrystallization ເທິງຫນ້າດິນຂອງວັດຖຸດິບແລະມັນຄ່ອຍໆ thickens ເມື່ອການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ. ຕົວເລກ 4(a) ແລະ 4(b) ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າອັດຕາການໄຫຼວຽນຂອງວັດສະດຸພາຍໃນວັດຖຸດິບຫຼຸດລົງເມື່ອການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ, ແລະອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸຢູ່ທີ່ 100 ຊົ່ວໂມງແມ່ນປະມານ 50% ຂອງປັດຈຸບັນເບື້ອງຕົ້ນ; ແນວໃດກໍ່ຕາມ, ອັດຕາການໄຫຼແມ່ນຂ້ອນຂ້າງໃຫຍ່ຢູ່ຂອບເນື່ອງຈາກ graphitization ຂອງວັດຖຸດິບ, ແລະອັດຕາການໄຫຼຢູ່ແຂບແມ່ນຫຼາຍກ່ວາ 10 ເທົ່າຂອງອັດຕາການໄຫຼໃນພື້ນທີ່ກາງຢູ່ທີ່ 100 h; ນອກຈາກນັ້ນ, ຜົນກະທົບຂອງ PG ໃນໂຄງສ້າງ 1 ເຮັດໃຫ້ອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໃນພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບຂອງໂຄງສ້າງ 1 ຕ່ໍາກວ່າໂຄງສ້າງ 0. ໃນຮູບ 4(c), ການໄຫຼເຂົ້າຂອງວັດສະດຸທັງໃນພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບແລະພື້ນທີ່. ສະພາການຈະເລີນເຕີບໂຕຄ່ອຍໆອ່ອນເພຍລົງເມື່ອການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ, ແລະການໄຫຼເຂົ້າຂອງວັດສະດຸໃນພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບຍັງສືບຕໍ່ຫຼຸດລົງ, ເຊິ່ງເກີດມາຈາກການເປີດຊ່ອງທາງການໄຫຼຂອງອາກາດຢູ່ທີ່ຂອບຂອງ crucible ແລະການຂັດຂວາງຂອງ recrystallization ຢູ່ທີ່. ເທິງ; ຢູ່ໃນຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວ, ອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸຂອງໂຄງສ້າງ 0 ຫຼຸດລົງຢ່າງໄວວາໃນ 30 ຊົ່ວໂມງເບື້ອງຕົ້ນເຖິງ 16%, ແລະພຽງແຕ່ຫຼຸດລົງ 3% ໃນເວລາຕໍ່ມາ, ໃນຂະນະທີ່ໂຄງສ້າງ 1 ຍັງຄົງຂ້ອນຂ້າງຄົງທີ່ຕະຫຼອດຂະບວນການເຕີບໂຕ. ດັ່ງນັ້ນ, PG ຊ່ວຍຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໃນຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວ. ຮູບທີ 4(d) ປຽບທຽບອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸຢູ່ດ້ານໜ້າການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ໃນປັດຈຸບັນໃນຕອນຕົ້ນແລະ 100 h, ການຂົນສົ່ງວັດສະດຸໃນເຂດການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແມ່ນເຂັ້ມແຂງກວ່າໃນໂຄງສ້າງ 1, ແຕ່ມີພື້ນທີ່ອັດຕາການໄຫຼສູງຢູ່ສະເຫມີຢູ່ຂອບຂອງໂຄງສ້າງ 0, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການຂະຫຍາຍຕົວຫຼາຍເກີນໄປຢູ່ຂອບ. . ການປະກົດຕົວຂອງ PG ໃນໂຄງສ້າງ 1 ສະກັດກັ້ນປະກົດການນີ້ຢ່າງມີປະສິດທິຜົນ.
ຮູບ 3 ການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໃນ crucible ໄດ້. ເສັ້ນສາຍ (ຊ້າຍ) ແລະ vector ຄວາມໄວ (ຂວາ) ຂອງການຂົນສົ່ງວັດສະດຸອາຍແກັສໃນໂຄງສ້າງ 0 ແລະ 1 ໃນເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຫນ່ວຍ vector ຄວາມໄວ: m / s
ຮູບທີ 4 ການປ່ຽນແປງອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸ. (a) ການປ່ຽນແປງອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໃນກາງຂອງວັດຖຸດິບຂອງໂຄງສ້າງ 0 ທີ່ 0, 30, 60, ແລະ 100 h, r ແມ່ນລັດສະໝີຂອງພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບ; (b) ການປ່ຽນແປງອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໃນກາງຂອງວັດຖຸດິບຂອງໂຄງສ້າງ 1 ທີ່ 0, 30, 60, ແລະ 100 h, r ແມ່ນລັດສະໝີຂອງພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບ; (c) ການປ່ຽນແປງອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸພາຍໃນຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວ (A, B) ແລະພາຍໃນວັດຖຸດິບ (C, D) ຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະ 1 ໃນໄລຍະເວລາ; (d) ການແຜ່ກະຈາຍອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸທີ່ໃກ້ກັບຫນ້າດິນໄປເຊຍກັນຂອງແກ່ນຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະ 1 ທີ່ 0 ແລະ 100 h, r ແມ່ນ radius ຂອງໄປເຊຍກັນເມັດພືດ
C/Si ມີຜົນກະທົບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ crystalline ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຜິດປົກກະຕິຂອງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC. ຮູບທີ 5(a) ປຽບທຽບການກະຈາຍອັດຕາສ່ວນ C/Si ຂອງສອງໂຄງສ້າງໃນຕອນເລີ່ມຕົ້ນ. ອັດຕາສ່ວນ C/Si ຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງຈາກລຸ່ມສຸດຂອງ crucible, ແລະອັດຕາສ່ວນ C/Si ຂອງໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນສະເຫມີສູງກວ່າໂຄງສ້າງ 0 ໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ຕົວເລກ 5(b) ແລະ 5(c) ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າອັດຕາສ່ວນ C/Si ຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການເພີ່ມຂື້ນຂອງອຸນຫະພູມພາຍໃນໃນຂັ້ນຕອນຕໍ່ມາຂອງການເຕີບໂຕ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງ graphitization ວັດຖຸດິບ, ແລະປະຕິກິລິຍາຂອງ Si. ອົງປະກອບໃນໄລຍະອາຍແກັສທີ່ມີ graphite crucible. ໃນຮູບ 5(d), ອັດຕາສ່ວນ C/Si ຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງແຕກຕ່າງກັນຂ້າງລຸ່ມນີ້ PG (0, 25 ມມ), ແຕ່ແຕກຕ່າງກັນເລັກນ້ອຍຂ້າງເທິງ PG (50 ມມ), ແລະຄວາມແຕກຕ່າງຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນເມື່ອມັນເຂົ້າໄປຫາຜລຶກ. . ໂດຍທົ່ວໄປ, ອັດຕາສ່ວນ C/Si ຂອງໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນສູງກວ່າ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງຜລຶກ ແລະ ຫຼຸດຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການປ່ຽນໄລຍະ.
ຮູບທີ 5 ການແຈກຢາຍ ແລະການປ່ຽນແປງຂອງອັດຕາສ່ວນ C/Si. (a) ການແຈກຢາຍອັດຕາສ່ວນ C/Si ໃນ crucibles ຂອງໂຄງສ້າງ 0 (ຊ້າຍ) ແລະໂຄງສ້າງ 1 (ຂວາ) ທີ່ 0 h; (b) ອັດຕາສ່ວນ C/Si ໃນໄລຍະຫ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນຈາກເສັ້ນສູນກາງຂອງ crucible ຂອງໂຄງສ້າງ 0 ໃນເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (0, 30, 60, 100 ຊົ່ວໂມງ); (c) ອັດຕາສ່ວນ C/Si ໃນໄລຍະຫ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນຈາກເສັ້ນສູນກາງຂອງ crucible ຂອງໂຄງສ້າງ 1 ໃນເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (0, 30, 60, 100 h); (d) ການປຽບທຽບອັດຕາສ່ວນ C/Si ໃນໄລຍະຫ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (0, 25, 50, 75, 100 mm) ຈາກເສັ້ນກາງຂອງ crucible ຂອງໂຄງສ້າງ 0 (ເສັ້ນແຂງ) ແລະໂຄງສ້າງ 1 (ເສັ້ນ dashed) ໃນເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (0, 30, 60, 100 h).
ຮູບທີ່ 6 ສະແດງໃຫ້ເຫັນການປ່ຽນແປງຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງ particle ແລະ porosity ຂອງພາກພື້ນວັດຖຸດິບຂອງທັງສອງໂຄງສ້າງ. ຕົວເລກສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງວັດຖຸດິບຫຼຸດລົງແລະ porosity ເພີ່ມຂຶ້ນຢູ່ໃກ້ກັບກໍາແພງ crucible, ແລະ porosity ແຂບຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນແລະເສັ້ນຜ່າກາງຂອງອະນຸພາກສືບຕໍ່ຫຼຸດລົງຍ້ອນວ່າການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ. porosity ຂອບສູງສຸດແມ່ນປະມານ 0.99 ຢູ່ທີ່ 100 h, ແລະເສັ້ນຜ່າກາງອະນຸພາກຕໍາ່ສຸດທີ່ປະມານ 300 μm. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງອະນຸພາກເພີ່ມຂຶ້ນແລະ porosity ຫຼຸດລົງໃນດ້ານເທິງຂອງວັດຖຸດິບ, ທີ່ສອດຄ້ອງກັນກັບ recrystallization. ຄວາມຫນາຂອງພື້ນທີ່ recrystallization ເພີ່ມຂຶ້ນເມື່ອການຂະຫຍາຍຕົວກ້າວຫນ້າ, ແລະຂະຫນາດຂອງອະນຸພາກແລະ porosity ສືບຕໍ່ມີການປ່ຽນແປງ. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງອະນຸພາກສູງສຸດເຖິງຫຼາຍກ່ວາ 1500 μm, ແລະ porosity ຕໍາ່ສຸດທີ່ແມ່ນ 0.13. ນອກຈາກນັ້ນ, ນັບຕັ້ງແຕ່ PG ເພີ່ມອຸນຫະພູມຂອງພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບແລະການ supersaturation ອາຍແກັສແມ່ນຂະຫນາດນ້ອຍ, ຄວາມຫນາ recrystallization ຂອງສ່ວນເທິງຂອງວັດຖຸດິບຂອງໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນຂະຫນາດນ້ອຍ, ເຊິ່ງປັບປຸງອັດຕາການນໍາໃຊ້ວັດຖຸດິບ.
ຮູບທີ່ 6 ການປ່ຽນແປງຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງອະນຸພາກ (ຊ້າຍ) ແລະ porosity (ຂວາ) ຂອງພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ໃນເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຫນ່ວຍງານເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງອະນຸພາກ: μm
ຮູບ 7 ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໂຄງສ້າງ 0 warps ໃນຕອນຕົ້ນຂອງການຂະຫຍາຍຕົວ, ເຊິ່ງອາດຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸຫຼາຍເກີນໄປທີ່ເກີດຈາກ graphitization ຂອງຂອບວັດຖຸດິບ. ລະດັບຂອງ warping ແມ່ນອ່ອນເພຍໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຕໍ່ໄປ, ເຊິ່ງສອດຄ່ອງກັບການປ່ຽນແປງອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸຢູ່ດ້ານຫນ້າຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກຂອງໂຄງສ້າງ 0 ໃນຮູບ 4 (d). ໃນໂຄງສ້າງ 1, ເນື່ອງຈາກຜົນກະທົບຂອງ PG, ການໂຕ້ຕອບຂອງໄປເຊຍກັນບໍ່ໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນ warping. ນອກຈາກນັ້ນ, PG ຍັງເຮັດໃຫ້ອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງໂຄງສ້າງ 1 ຕ່ໍາກວ່າໂຄງສ້າງ 0. ຄວາມຫນາສູນກາງຂອງໄປເຊຍກັນຂອງໂຄງສ້າງ 1 ຫຼັງຈາກ 100 h ແມ່ນມີພຽງແຕ່ 68% ຂອງໂຄງສ້າງ 0.
ຮູບທີ 7 ການປ່ຽນແປງການໂຕ້ຕອບຂອງໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ໄປເຊຍກັນຢູ່ທີ່ 30, 60, ແລະ 100 h
ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ Crystal ໄດ້ຖືກປະຕິບັດພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂະບວນການຂອງການຈໍາລອງຕົວເລກ. ໄປເຊຍກັນທີ່ເຕີບໃຫຍ່ໂດຍໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນຮູບ 8(a) ແລະຮູບ 8(b), ຕາມລໍາດັບ. ໄປເຊຍກັນຂອງໂຄງສ້າງ 0 ສະແດງໃຫ້ເຫັນການໂຕ້ຕອບ concave, ມີ undulations ໃນເຂດສູນກາງແລະໄລຍະການຫັນເປັນຢູ່ແຂບ. ຄວາມໂກນຂອງພື້ນຜິວສະແດງເຖິງລະດັບຄວາມບໍ່ຄືກັນໃນການຂົນສົ່ງວັດສະດຸໄລຍະອາຍແກັສ, ແລະການປະກົດຕົວຂອງໄລຍະການຫັນປ່ຽນແມ່ນສອດຄ່ອງກັບອັດຕາສ່ວນ C / Si ຕ່ໍາ. ການໂຕ້ຕອບຂອງໄປເຊຍກັນທີ່ປູກໂດຍໂຄງສ້າງ 1 ແມ່ນ convex ເລັກນ້ອຍ, ບໍ່ພົບການຫັນປ່ຽນໄລຍະ, ແລະຄວາມຫນາແມ່ນ 65% ຂອງໄປເຊຍກັນທີ່ບໍ່ມີ PG. ໂດຍທົ່ວໄປ, ຜົນໄດ້ຮັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກແມ່ນກົງກັນກັບຜົນການຈໍາລອງ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມ radial ທີ່ໃຫຍ່ກວ່າຢູ່ໃນການໂຕ້ຕອບຂອງຜລຶກຂອງໂຄງສ້າງ 1, ການຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງໄວວາຢູ່ຂອບແມ່ນຖືກສະກັດກັ້ນ, ແລະອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໂດຍລວມແມ່ນຊ້າລົງ. ແນວໂນ້ມໂດຍລວມແມ່ນສອດຄ່ອງກັບຜົນການຈໍາລອງຕົວເລກ.
ຮູບທີ 8 ຜລຶກ SiC ຂະຫຍາຍຕົວພາຍໃຕ້ໂຄງສ້າງ 0 ແລະໂຄງສ້າງ 1
ສະຫຼຸບ
PG ແມ່ນເອື້ອອໍານວຍໃຫ້ແກ່ການປັບປຸງອຸນຫະພູມໂດຍລວມຂອງພື້ນທີ່ວັດຖຸດິບແລະການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມ axial ແລະ radial, ສົ່ງເສີມການ sublimation ຢ່າງເຕັມທີ່ແລະການນໍາໃຊ້ວັດຖຸດິບ; ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມເທິງແລະລຸ່ມເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະ gradient radial ຂອງຫນ້າດິນໄປເຊຍກັນເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຮັກສາການຂະຫຍາຍຕົວຂອງການໂຕ້ຕອບ convex. ໃນແງ່ຂອງການໂອນມະຫາຊົນ, ການແນະນໍາຂອງ PG ຫຼຸດລົງອັດຕາການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງມະຫາຊົນທັງຫມົດ, ອັດຕາການໄຫຼຂອງວັດສະດຸໃນຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ມີ PG ມີການປ່ຽນແປງຫນ້ອຍລົງຕາມເວລາ, ແລະຂະບວນການເຕີບໂຕທັງຫມົດແມ່ນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ. ໃນເວລາດຽວກັນ, PG ຍັງມີປະສິດທິຜົນຍັບຍັ້ງການປະກົດຕົວຂອງການເຄື່ອນຍ້າຍມະຫາຊົນຂອງຂອບຫຼາຍເກີນໄປ. ນອກຈາກນັ້ນ, PG ຍັງເພີ່ມອັດຕາສ່ວນ C / Si ຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວ, ໂດຍສະເພາະຢູ່ຂອບດ້ານຫນ້າຂອງການໂຕ້ຕອບຂອງເມັດເມັດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປະກົດຕົວຂອງການປ່ຽນແປງໃນໄລຍະຂະບວນການເຕີບໂຕ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຜົນກະທົບຂອງ insulation ຄວາມຮ້ອນຂອງ PG ຫຼຸດຜ່ອນການປະກົດຕົວຂອງ recrystallization ໃນສ່ວນເທິງຂອງວັດຖຸດິບໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ. ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ, PG ຊ້າລົງອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນ, ແຕ່ການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຕົວແມ່ນ convex ຫຼາຍ. ດັ່ງນັ້ນ, PG ແມ່ນວິທີການທີ່ມີປະສິດທິພາບໃນການປັບປຸງສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບຄຸນນະພາບໄປເຊຍກັນ.
ເວລາປະກາດ: 18-06-2024