ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ silicon carbide ເມື່ອທຽບກັບການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz

ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງເຮືອ silicon carbideການສະຫນັບສະຫນູນແລະການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz ແມ່ນຄືກັນ.ເຮືອ Silicon carbideສະຫນັບສະຫນູນມີການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດແຕ່ລາຄາສູງ. ມັນປະກອບເປັນຄວາມສໍາພັນທາງເລືອກກັບການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງຫມໍ້ໄຟທີ່ມີສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ຮຸນແຮງ (ເຊັ່ນ: ອຸປະກອນ LPCVD ແລະອຸປະກອນການແຜ່ກະຈາຍ boron). ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງຫມໍ້ໄຟທີ່ມີເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກທໍາມະດາ, ເນື່ອງຈາກການພົວພັນລາຄາ, ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ silicon carbide ແລະ quartz ກາຍເປັນປະເພດຮ່ວມກັນແລະການແຂ່ງຂັນ.

① ການພົວພັນການທົດແທນໃນ LPCVD ແລະອຸປະກອນການແຜ່ກະຈາຍ boron

ອຸປະກອນ LPCVD ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການ oxidation tunneling cell ຫມໍ້ໄຟແລະຂະບວນການກະກຽມຊັ້ນ polysilicon doped. ຫຼັກ​ການ​ເຮັດ​ວຽກ​:

ພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ, ສົມທົບກັບອຸນຫະພູມທີ່ເຫມາະສົມ, ຕິກິຣິຍາເຄມີແລະການສ້າງຮູບເງົາ deposition ແມ່ນບັນລຸໄດ້ເພື່ອກະກຽມຊັ້ນ oxide tunneling ultra-thin ແລະຮູບເງົາ polysilicon. ໃນຂະບວນການກະກຽມຊັ້ນ oxidation tunneling ແລະ doped polysilicon, ສະຫນັບສະຫນູນເຮືອມີອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກສູງແລະຮູບເງົາຊິລິຄອນຈະຖືກຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນ. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ quartz ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງແຕກຕ່າງຈາກຊິລິໂຄນ. ເມື່ອນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການຂ້າງເທິງນີ້, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນທີ່ຈະເກັບແລະເອົາຊິລິໂຄນທີ່ຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນເປັນປະຈໍາເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz ທໍາລາຍເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແລະການຫົດຕົວເນື່ອງຈາກຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຈາກຊິລິຄອນ. ເນື່ອງຈາກການ pickling ເລື້ອຍໆແລະຄວາມແຂງແຮງຂອງອຸນຫະພູມສູງຕ່ໍາ, ຜູ້ຖືເຮືອ quartz ມີອາຍຸສັ້ນແລະຖືກທົດແທນເລື້ອຍໆໃນຂະບວນການ oxidation tunnel ແລະ doped polysilicon ຂະບວນການກະກຽມ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍການຜະລິດຂອງຈຸລັງຫມໍ້ໄຟເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊິລິຄອນຄາໄບຢູ່ໃກ້ກັບຊິລິໂຄນ. ປະສົມປະສານເຮືອ silicon carbideຜູ້ຖືບໍ່ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການດອງຢູ່ໃນອຸໂມງການຜຸພັງແລະຂະບວນການກະກຽມຊັ້ນ polysilicon doped. ມັນມີຄວາມເຂັ້ມແຂງໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຊີວິດການບໍລິການຍາວ. ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດີກັບຜູ້ຖືເຮືອ quartz.

ອຸປະກອນການຂະຫຍາຍ Boron ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບຂະບວນການຂອງ doping ອົງປະກອບ boron ເທິງ substrate silicon wafer N-type ຂອງຈຸລັງຫມໍ້ໄຟທີ່ຈະກະກຽມ P-type emitter ປະກອບເປັນ PN junction. ຫຼັກການການເຮັດວຽກແມ່ນເພື່ອຮັບຮູ້ປະຕິກິລິຢາເຄມີແລະການສ້າງຮູບເງົາຂອງ molecular deposition ໃນບັນຍາກາດອຸນຫະພູມສູງ. ຫຼັງຈາກຮູບເງົາໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ, ມັນສາມາດແຜ່ລາມໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຮັບຮູ້ຫນ້າທີ່ doping ຂອງຫນ້າດິນ wafer ຊິລິໂຄນ. ເນື່ອງຈາກອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກສູງຂອງອຸປະກອນການຂະຫຍາຍ boron, ຜູ້ຖືເຮືອ quartz ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງອຸນຫະພູມສູງຕ່ໍາແລະຊີວິດການບໍລິການສັ້ນໃນອຸປະກອນການຂະຫຍາຍ boron. ປະສົມປະສານເຮືອ silicon carbideຜູ້ຖືມີຄວາມເຂັ້ມແຂງໃນອຸນຫະພູມສູງແລະເປັນທາງເລືອກທີ່ດີສໍາລັບຜູ້ຖືເຮືອ quartz ໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍ boron.

② ການພົວພັນການທົດແທນໃນອຸປະກອນຂະບວນການອື່ນໆ

ເຮືອ SiC ສະຫນັບສະຫນູນມີຄວາມສາມາດຜະລິດທີ່ແຫນ້ນຫນາແລະປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດ. ລາຄາຂອງພວກເຂົາໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນສູງກວ່າທີ່ສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz. ໃນສະພາບການເຮັດວຽກໂດຍທົ່ວໄປຂອງອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງເຊນ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຊີວິດການບໍລິການລະຫວ່າງການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ SiC ແລະການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz ແມ່ນຂະຫນາດນ້ອຍ. ລູກຄ້າລຸ່ມນ້ໍາສ່ວນໃຫຍ່ປຽບທຽບແລະເລືອກລະຫວ່າງລາຄາແລະການປະຕິບັດໂດຍອີງໃສ່ຂະບວນການແລະຄວາມຕ້ອງການຂອງຕົນເອງ. ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ SiC ແລະການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz ໄດ້ກາຍເປັນການຢູ່ຮ່ວມກັນແລະການແຂ່ງຂັນ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ອັດຕາກໍາໄລລວມຂອງການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ SiC ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງໃນປະຈຸບັນ. ດ້ວຍການຫຼຸດລົງຂອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຂອງເຮືອ SiC ສະຫນັບສະຫນູນ, ຖ້າລາຄາຂາຍຂອງເຮືອ SiC ສະຫນັບສະຫນູນຫຼຸດລົງຢ່າງຈິງຈັງ, ມັນຍັງຈະສ້າງຄວາມສາມາດແຂ່ງຂັນຫຼາຍກວ່າເກົ່າເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz.

ອັດຕາສ່ວນການນໍາໃຊ້

ເສັ້ນທາງເທກໂນໂລຍີໂທລະສັບມືຖືສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີ PERC ແລະເຕັກໂນໂລຢີ TOPCon. ສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດຂອງເຕັກໂນໂລຢີ PERC ແມ່ນ 88%, ແລະສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດຂອງເຕັກໂນໂລຢີ TOPCon ແມ່ນ 8,3%. ສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດລວມຂອງທັງສອງແມ່ນ 96.30%.

ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້:

ໃນເທກໂນໂລຍີ PERC, ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອແມ່ນຕ້ອງການສໍາລັບການແຜ່ກະຈາຍ phosphorus ດ້ານຫນ້າແລະຂະບວນການ annealing. ໃນເທກໂນໂລຍີ TOPCon, ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອແມ່ນຕ້ອງການສໍາລັບການແຜ່ກະຈາຍຂອງ boron ດ້ານຫນ້າ, LPCVD, ການແຜ່ກະຈາຍ phosphorus ກັບຄືນໄປບ່ອນແລະຂະບວນການ annealing. ໃນປັດຈຸບັນ, ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ silicon carbide ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການ LPCVD ຂອງເທກໂນໂລຍີ TOPCon, ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງພວກເຂົາໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍຂອງ boron ໄດ້ຖືກກວດສອບສ່ວນໃຫຍ່.

ຮູບທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເຮືອສະຫນັບສະຫນູນໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງເຊນ

ຫມາຍເຫດ: ຫຼັງຈາກການເຄືອບດ້ານຫນ້າແລະດ້ານຫລັງຂອງເທກໂນໂລຍີ PERC ແລະ TOPCon, ຍັງມີການເຊື່ອມໂຍງເຊັ່ນ: ການພິມຫນ້າຈໍ, sintering ແລະການທົດສອບແລະການຈັດລຽງ, ເຊິ່ງບໍ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາໃຊ້ການສະຫນັບສະຫນູນເຮືອແລະບໍ່ໄດ້ລະບຸໄວ້ໃນຮູບຂ້າງເທິງ.