ໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ແນ່ນອນ, ອຸປະກອນການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້. ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່, wafer ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນຊັ້ນຍ່ອຍຂອງການຫຸ້ມຫໍ່, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຂັ້ນຕອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນແມ່ນດໍາເນີນເພື່ອເຮັດໃຫ້ການຫຸ້ມຫໍ່ສໍາເລັດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງລະຫວ່າງ ...
ອ່ານເພີ່ມເຕີມ