VET Energy pii carbide (SiC) laganum epitaxiale est summus effectus bandgap lata semiconductor materia magna cum resistentia caliditas excellentissima, magna frequentia et indoles virtutis altae. Idealis subiecta est pro nova potentiae generatione electronicis cogitationibus. VET Energy technologiae epitaxialis provectae MOCVD ad qualitatem SiC epitaxialem stratis SiC subiectae crescentibus utitur, praestantem effectum et constantiam lagani procurans.
Noster Silicon Carbide (SiC) Wafer epitaxialem optimam convenientiam praebet cum variis materiis semiconductoribus inclusis Si Wafer, SiC Substratum, SOI Wafer et SiN Substratum. Cum epitaxiali robusto iacuit, processuum progressuum sustinet ut Epi Wafer incrementum et integrationem cum materiis sicut Gallium Oxide Ga2O3 et AlN Wafer, versatilem usum per diversas technologias procurans. Designatum esse compatible cum industria-vexillaribus Cassette tractandis systematibus, efficientes et turpis operationes efficit in ambitus fabricationis semiconductoris.
VET Energy productum linea non limitatur ad lagana SiC epitaxial. Praebuimus etiam amplis materiae semiconductoris subiectae, incluso Si Wafer, SiC Substratae, SOI Wafer, SiN Substratae, Epi Wafer, etc. Addimus etiam activo modo enucleare novas materias latas bandgap semiconductores, ut Gallium Oxide Ga2O3 et AlN. Wafer, ut obviam futurae virtutis electronicae industriae postulatum altioribus inceptis perficiendis.
WAFERING SPECIFICATIONS
*n-Pm=n-type Pm-Grade, n-Ps=n-type Ps-Grade, Sl=Semi-lnsulating
Item | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Arcum (GF3YFCD) -Absolute Value | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Azymum Edge | Beveling |
AEQUOR TERMINUS
*n-Pm=n-type Pm-Grade, n-Ps=n-type Ps-Grade, Sl=Semi-lnsulating
Item | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Superficiem Conclusio | Duplex latus Poloniae Optical, Si- Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Ora Chips | Nulla permittitur (longitudo et width≥0.5mm) | ||||
Indents | nemo licet | ||||
Scalpit (Si-Fac) | Qty.≤5, Cumulativo | Qty.≤5, Cumulativo | Qty.≤5, Cumulativo | ||
Cracks | nemo licet | ||||
Ore exclusio | 3mm |