Vertical Column Wafer Boat & Подестал

Vertical Column Wafer Boat & Podestal Featured Image

Кыска сүрөттөмө:

Вет-кытайдан чыккан Vertical Column Wafer Boat & Pedestal жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн пластинка менен иштөөдө жогорку туруктуулукту жана тактыкты сунуштайт. Vet-china компаниясынын өркүндөтүлгөн дизайны менен бул система оптималдуу тууралоону жана коопсуз кармоону камсыздайт, операциялык эффективдүүлүктү жогорулатат жана пластинка зыянын азайтат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

vet-china инновациялык Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, жарым өткөргүчтөрдү өркүндөтүлгөн иштетүү үчүн комплекстүү чечимди сунуштайт. Кылдат тактык менен иштелип чыккан, бул пластинкаларды иштетүү системасы жогорку эффективдүү өндүрүш чөйрөлөрү үчүн өтө маанилүү болгон теңдешсиз туруктуулукту жана түздөөнү камсыз кылат.

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal термикалык туруктуулукту жана химиялык коррозияга туруктуулукту кепилдеген премиум материалдар менен курулган, бул аны жарым өткөргүчтөрдү жасоо процесстерин эң талап кылуучу процесстерге ылайыктуу кылат. Анын уникалдуу вертикалдык мамыча дизайны пластинкаларды коопсуз колдоого алып, ташуу жана кайра иштетүү учурунда туура эмес жайгашуу жана мүмкүн болуучу бузулуу коркунучун азайтат.

Вет-кытайдын Vertical Column Wafer Boat & Pedestal интеграциясы менен жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр жакшыртылган өткөрүү жөндөмдүүлүгүн, токтоп калуу убактысын азайтууну жана продукциянын түшүмүн жогорулатууну күтө алышат. Бул система ар кандай өндүрүштүк муктаждыктар үчүн ийкемдүүлүктү жана масштабдуулукту сунуш кылып, ар кандай пластинка өлчөмдөрү жана конфигурациялары менен шайкеш келет.

vet-china компаниясынын мыктылыкка умтулуусу ар бир Vertical Column Wafer Boat & Pedestal сапаттын жана аткаруунун эң жогорку стандарттарына жооп берерин камсыздайт. Бул эң алдыңкы чечимди тандоо менен, сиз жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө эффективдүүлүктү жана ишенимдүүлүктү арттырган вафли менен иштөөгө келечектеги далилдүү ыкманы инвестициялайсыз.

Кайра кристаллдашкан кремний карбидинин касиеттери

Кайра кристаллдашкан кремний карбиди (R-SiC) 2000℃ден жогору жогорку температурада пайда болгон алмаздан кийинки катуулугу менен жогорку натыйжалуу материал. Ал SiC көптөгөн сонун касиеттерин сактайт, мисалы, жогорку температуралык күч, күчтүү коррозияга туруктуулук, мыкты кычкылданууга каршылык, жакшы жылуулук шок каршылык жана башкалар.

● Мыкты механикалык касиеттери. Кайра кристаллдашкан кремний карбиди көмүртек буласына караганда күчтүүлүгүнө жана катуулугуна ээ, жогорку таасирге туруштук берет, экстремалдык температура чөйрөлөрүндө жакшы көрсөткүчтү ойной алат, ар кандай кырдаалдарда жакшыраак тең салмактуулукту ойной алат. Мындан тышкары, ал ошондой эле жакшы ийкемдүүлүккө ээ жана сунуу жана ийүү менен оңой бузулбайт, бул анын иштешин бир топ жакшыртат.

● Жогорку коррозияга туруктуулугу. Кайра кристаллдашкан кремний карбиди ар түрдүү медиага карата жогорку коррозияга туруктуулукка ээ, ар кандай дат басуучу каражаттардын эрозиясын алдын алат, анын механикалык касиеттерин узак убакытка сактай алат, күчтүү адгезияга ээ, ошондуктан ал узак кызмат мөөнөтүн алат. Мындан тышкары, ал ошондой эле жакшы жылуулук туруктуулугу бар, температуранын өзгөрүшүнүн белгилүү бир диапазонуна ылайыкташа алат, анын колдонуу эффектин жакшыртат.

● Агломерация кичирейбейт. Агломерация процесси кичирейбегендиктен, эч кандай калдык стресс буюмдун деформациясына же крекингине алып келбейт жана татаал формадагы жана жогорку тактыктагы тетиктерди даярдоого болот.

重结晶碳化硅物理特性 Кайра кристаллдашкан кремний карбидинин физикалык касиеттери
性质 / Мүлк	典型数值 / Типтүү маани
使用温度/ Иштөө температурасы (°C)	1600°C (кычкылтек менен), 1700°C (редукциялоочу чөйрө)
SiC含量/ SiC мазмуну	> 99,96%
自由Si含量/ Акысыз Si мазмуну	< 0,1%
体积密度/Массалык тыгыздык	2,60-2,70 г/см³
气孔率/ Көрүнгөн көзөнөктүүлүк	< 16%
抗压强度/ Кысуу күчү	> 600МПа
常温抗弯强度/Муздак ийилген күч	80-90 МПа (20°C)
高温抗弯强度Ысык ийилүүчү күч	90-100 МПа (1400°C)
热膨胀系数/ Термикалык кеңейүү @1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数/Жылуулук өткөрүмдүүлүк @1200°C	23В/м•К
杨氏模量/ Эластик модулу	240 GPa
抗热震性/ Термикалык шок каршылык	Абдан жакшы

VET Energy болуп саналат theCVD каптоо менен ылайыкташтырылган графит жана кремний карбид буюмдарын чыныгы өндүрүүчүсү,камсыз кыла алатар кандайжарым өткөргүч жана фотоэлектр өнөр жайы үчүн ылайыкташтырылган тетиктер. Our техникалык командасы жогорку ата мекендик илимий-изилдөө мекемелеринен келет, көбүрөөк кесиптик материалдык чечимдерди камсыз кыла алатсен үчүн.

Биз өнүккөн материалдар менен камсыз кылуу үчүн өнүккөн процесстерди тынымсыз өнүктүрөбүз,жанаэксклюзивдүү патенттелген технологияны иштеп чыгышты, ал жабын менен субстраттын ортосундагы байланышты катуураак жана ажыратууга азыраак ыктай алат.

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негизги физикалык касиеттерикаптоо
性质 / Мүлк	典型数值 / Типтүү маани
晶体结构 / Кристалл структурасы	FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向
密度 / Жыштыгы	3,21 г/см³
硬度 / Катуулугу	2500 维氏硬度（500г жүк）
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Химиялык тазалык	99.99995%
热容 / Жылуулук сыйымдуулугу	640 Дж·кг^-1· К^-1
升华温度 / Сублимация температурасы	2700℃
抗弯强度 / Ийилүү күчү	415 МПа РТ 4-пункту
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt ийилип, 1300 ℃
导热系数 / ТермалӨткөргүчтүк	300W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термикалык кеңейүү (CTE)	4,5×10^-6K^-1