SiC Wafer боюнча 4 дюйм GaN

Кыска сүрөттөмө:

VET Energy компаниясынын SiC пластинкасындагы 4 дюймдук GaN электрдик электроника тармагындагы революциялык продукт болуп саналат. Бул пластинка кремний карбидинин (SiC) эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгүн жогорку кубаттуулуктун тыгыздыгы жана галлий нитридинин (GaN) аз жоготуусу менен айкалыштырат жана аны жогорку жыштыктагы, жогорку кубаттуулуктагы түзүлүштөрдү жасоо үчүн идеалдуу тандоо болуп саналат. VET Energy өнүккөн MOCVD эпитаксиалдык технологиясы аркылуу пластинанын мыкты иштешин жана ырааттуулугун камсыздайт.


Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

VET Energy компаниясынын продукт линиясы SiC пластинкасындагы GaN менен эле чектелбейт. Биз ошондой эле жарым өткөргүч субстрат материалдарынын кеңири спектрин камсыз кылабыз, анын ичинде Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, ж. Wafer, келечектеги электр электроника өнөр жайынын жогорку өндүрүмдүүлүктүү түзмөктөргө болгон талабын канааттандыруу үчүн.

VET Energy ийкемдүү ыңгайлаштыруу кызматтарын көрсөтөт жана кардарлардын өзгөчө муктаждыктарына жараша ар кандай калыңдыктагы GaN эпитаксиалдык катмарларын, ар кандай допингдин түрлөрүн жана ар кандай өлчөмдөгү пластиналарды ыңгайлаштыра алат. Мындан тышкары, биз ошондой эле кардарларга тез жогорку натыйжалуу электр электрондук шаймандарды иштеп чыгууга жардам берүү үчүн кесиптик техникалык колдоо жана сатуудан кийинки кызмат менен камсыз кылат.

第6页-36
第6页-35

ВАФЕРИНГДИН спецификациялары

*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=Жарым изоляциялоочу

пункт

8 дюйм

6-дюйм

4-дюйм

нП

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Жаа(GF3YFCD)-Абсолюттук маани

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Буруу(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10ммх10мм

<2μm

Wafer Edge

Бүктөө

БҮТҮН БҮТҮҮ

*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=Жарым изоляциялоочу

пункт

8 дюйм

6-дюйм

4-дюйм

нП

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Беттик бүтүрүү

Эки тараптуу оптикалык поляк, Si- Face CMP

SurfaceRoughness

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0,5нм

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

Edge Chips

Эч кимге уруксат берилбейт (узундугу жана туурасы≥0,5мм)

чегинүүлөр

Эч кимге уруксат берилбейт

Чийүүлөр(Si-Face)

Саны.≤5, Кумулятивдүү
Length≤0,5×вафли диаметри

Саны.≤5, Кумулятивдүү
Length≤0,5×вафли диаметри

Саны.≤5, Кумулятивдүү
Length≤0,5×вафли диаметри

Жаракалар

Эч кимге уруксат берилбейт

Edge Exclusion

3мм

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Мурунку:
  • Кийинки:

  • WhatsApp онлайн чат!