VET Energy компаниясынын продукт линиясы SiC пластинкасындагы GaN менен эле чектелбейт. Биз ошондой эле жарым өткөргүч субстрат материалдарынын кеңири спектрин камсыз кылабыз, анын ичинде Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, ж. Wafer, келечектеги электр электроника өнөр жайынын жогорку өндүрүмдүүлүктүү түзмөктөргө болгон талабын канааттандыруу үчүн.
VET Energy ийкемдүү ыңгайлаштыруу кызматтарын көрсөтөт жана кардарлардын өзгөчө муктаждыктарына жараша ар кандай калыңдыктагы GaN эпитаксиалдык катмарларын, ар кандай допингдин түрлөрүн жана ар кандай өлчөмдөгү пластиналарды ыңгайлаштыра алат. Мындан тышкары, биз ошондой эле кардарларга тез жогорку натыйжалуу электр электрондук шаймандарды иштеп чыгууга жардам берүү үчүн кесиптик техникалык колдоо жана сатуудан кийинки кызмат менен камсыз кылат.
ВАФЕРИНГДИН спецификациялары
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=Жарым изоляциялоочу
пункт | 8 дюйм | 6-дюйм | 4-дюйм | ||
нП | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Жаа(GF3YFCD)-Абсолюттук маани | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Буруу(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10ммх10мм | <2μm | ||||
Wafer Edge | Бүктөө |
БҮТҮН БҮТҮҮ
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=Жарым изоляциялоочу
пункт | 8 дюйм | 6-дюйм | 4-дюйм | ||
нП | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Беттик бүтүрүү | Эки тараптуу оптикалык поляк, Si- Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Эч кимге уруксат берилбейт (узундугу жана туурасы≥0,5мм) | ||||
чегинүүлөр | Эч кимге уруксат берилбейт | ||||
Чийүүлөр(Si-Face) | Саны.≤5, Кумулятивдүү | Саны.≤5, Кумулятивдүү | Саны.≤5, Кумулятивдүү | ||
Жаракалар | Эч кимге уруксат берилбейт | ||||
Edge Exclusion | 3мм |