실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터

수의사 - 중국실리콘 카바이드 세라믹코팅은 매우 단단하고 내마모성이 뛰어난 고성능 보호 코팅입니다.탄화규소(SiC)우수한 화학적 내식성과 고온 안정성을 제공하는 소재입니다. 이러한 특성은 반도체 생산에 매우 중요하므로실리콘 카바이드 세라믹 코팅반도체 제조 장비의 핵심 부품에 널리 사용됩니다.

Vet-China의 구체적인 역할실리콘 카바이드 세라믹반도체 생산의 코팅은 다음과 같습니다.

장비 내구성 강화:탄화규소 세라믹 코팅 탄화규소 세라믹 코팅은 매우 높은 경도와 내마모성을 바탕으로 반도체 제조 장비의 탁월한 표면 보호 기능을 제공합니다. 특히 화학기상증착(CVD), 플라즈마 에칭 등 고온, 부식성이 높은 공정 환경에서 코팅은 화학적 침식이나 물리적 마모로 인해 장비 표면이 손상되는 것을 효과적으로 방지하여 장비의 수명을 크게 연장할 수 있습니다. 잦은 교체 및 수리로 인한 가동 중단 시간을 줄여줍니다.

공정 순도 향상:반도체 제조 공정에서는 작은 오염이라도 제품 불량의 원인이 될 수 있습니다. 탄화규소 세라믹 코팅의 화학적 불활성으로 인해 극한의 조건에서도 안정성을 유지하고 물질이 입자나 불순물을 방출하는 것을 방지하여 공정의 환경적 순도를 보장합니다. 이는 PECVD 및 이온 주입과 같이 고정밀도와 청결도가 요구되는 제조 단계에 특히 중요합니다.

열 관리 최적화:급속열처리(RTP), 산화공정 등 고온 반도체 공정에서는 탄화규소 세라믹 코팅의 높은 열전도율로 장비 내부의 균일한 온도 분포를 가능하게 한다. 이는 온도 변동으로 인한 열 응력과 재료 변형을 줄여 제품 제조 정확도와 일관성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

복잡한 프로세스 환경 지원:ICP 에칭, PSS 에칭 공정 등 복잡한 분위기 제어가 필요한 공정에서 탄화규소 세라믹 코팅의 안정성과 내산화성은 장비가 장기간 작동에도 안정적인 성능을 유지하도록 보장하여 재료 열화나 장비 손상으로 인한 위험을 줄입니다. 환경 변화에.