제품D비문
실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 널리 사용됩니다.
장점:
고온 저항:1800 ℃에서 일반 사용
높은 열전도율:흑연재료와 동등
높은 경도:다이아몬드, 질화붕소 다음으로 경도가 높습니다.
내식성:강산 및 알칼리에는 부식이 없으며 내식성은 텅스텐 카바이드 및 알루미나보다 우수합니다.
경량:밀도가 낮고 알루미늄에 가깝습니다.
변형 없음: 낮은 열팽창 계수
열충격 저항:급격한 온도 변화를 견딜 수 있고 열충격에 강하며 안정적인 성능을 제공합니다.
SiC의 물리적 특성
| 재산 | 값 | 방법 |
| 밀도 | 3.21g/cc | 싱크 플로트 및 치수 |
| 비열 | 0.66J/g°K | 펄스 레이저 플래시 |
| 굴곡강도 | 450MPa560MPa | 4포인트 벤드, RT4 포인트 벤드, 1300° |
| 파괴인성 | 2.94MPa·m1/2 | 미세압입 |
| 경도 | 2800 | 비커스, 500g 로드 |
| 탄성률Young's Modulus | 450GPa430GPa | 4포인트 벤드, RT4포인트 벤드, 1300°C |
| 입자 크기 | 2~10μm | SEM |
SiC의 열적 특성
| 열전도율 | 250W/m°K | 레이저 플래시 방식, RT |
| 열팽창(CTE) | 4.5 x 10-6°K | 실온 ~ 950°C, 실리카 팽창계 |
