기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항력: | 11μΩm |
| 굴곡 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 해안 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열 전도성: | 116W/mK(100kcal/mhr-℃) |
우리는 현재의 모든 에피택시 반응기에 대한 다양한 서셉터와 흑연 구성 요소를 공급합니다.당사의 제품에는 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD 및 Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 응용 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다.
선도적인 OEM과의 강력한 파트너십, 재료 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 vet는 귀하의 응용 분야에 가장 적합한 디자인을 제공합니다.
VET에너지는 그만큼CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화 규소 제품의 실제 제조업체,공급할 수 있다다양한반도체 및 태양광 산업을 위한 맞춤형 부품입니다. O귀하의 기술팀은 국내 최고의 연구 기관 출신이므로 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.
F우리 제품의 특징:
1. 최대 1700도의 고온 내산화성℃.
2. 고순도 및열 균일성
3. 우수한 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
4. 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
5. 수명이 길어지고 내구성이 향상됩니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10μm |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!
