반도체용 흑연 기판의 SiC 코팅/코팅, 흑연 트레이, Si 흑연 에피택시 서셉터

간단한 설명:

원산지:저장성, 중국 (본토)

모델 번호:보트3004

화학 성분:SiC 코팅 흑연

굴곡강도:470Mpa

열전도율:300W/mK

품질:완벽한

기능:CVD-SiC

애플리케이션:반도체/태양광

밀도:3.21g/cc

열팽창:4 10-6/K

금연 건강 증진 협회: <5ppm

견본:유효한

HS 코드:6903100000

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제품 세부정보

제품 태그

반도체용 흑연 기판의 SiC 코팅/코팅,흑연 트레이, 식 흑연에피택시 서셉터,
탄소 공급 서셉터, 에피택시와 MOCVD, 에피택시 서셉터, 흑연 트레이, 웨이퍼 서셉터,

CVD-SiC 코팅은 균일한 구조, 치밀한 재료, 고온 저항성, 내산화성, 고순도, 산 및 알칼리 저항성 및 유기 시약의 특성을 가지며 안정적인 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다.

고순도 흑연재료에 비해 흑연은 400℃부터 산화되기 시작하여 산화로 인한 분말의 손실을 초래하여 주변기기 및 진공챔버에 환경오염을 초래하고 고순도 환경의 불순물을 증가시킵니다.

그러나 SiC 코팅은 1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있어 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용되고 있습니다.

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다. 형성된 SIC는 흑연 베이스에 단단히 결합되어 흑연 베이스에 특별한 특성을 부여하여 흑연 표면을 콤팩트하고 다공성이 없으며 고온 저항, 내식성 및 내산화성을 만듭니다.

주요 특징:

1. 고열 산화 저항:

산화 저항은 온도가 1700C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.

2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.

3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.

4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅의 주요 사양: