SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어, 흑연 서셉터SiC 에피택시,
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당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특별한 장점은 매우 높은 순도, 균질한 코팅 및 탁월한 서비스 수명을 포함합니다. 또한 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖고 있습니다.
반도체 응용 분야용 흑연 기판의 SiC 코팅은 순도가 뛰어나고 산화 분위기에 대한 저항성이 뛰어난 부품을 생산합니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC는 단순하거나 복잡한 디자인 부품의 Graphite에 적용됩니다. 코팅은 다양한 두께와 매우 큰 부품에 적용될 수 있습니다.
특징:
· 우수한 열충격 저항
· 우수한 물리적 충격 저항
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태의 가용성
· 산화분위기에서 사용 가능
애플리케이션:
기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항력: | 11μΩm |
| 굴곡 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 해안 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116W/mK(100kcal/mhr-℃) |
탄소 공급 서셉터현재의 모든 에피택시 반응기를 위한 흑연 구성 요소. 당사의 포트폴리오에는 응용 및 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD 및 Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 응용 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다. SGL은 선도적인 OEM과의 강력한 파트너십, 재료 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 귀하의 용도에 맞는 최적의 디자인을 제안합니다.
