SiC 코팅 코팅반도체용 흑연기판,실리콘 카바이드 코팅,MOCVD 서셉터,
흑연 기판, 반도체용 흑연기판, MOCVD 서셉터, 실리콘 카바이드 코팅,
당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특별한 장점은 매우 높은 순도, 균질한 코팅 및 탁월한 서비스 수명을 포함합니다. 또한 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖고 있습니다.
SiC 코팅흑연 기판반도체용으로 순도가 우수하고 산화성 분위기에 강한 부품을 생산합니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC는 단순하거나 복잡한 디자인 부품의 Graphite에 적용됩니다. 코팅은 다양한 두께와 매우 큰 부품에 적용될 수 있습니다.
특징:
· 우수한 열충격 저항
· 우수한 물리적 충격 저항
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태의 가용성
· 산화분위기에서 사용 가능
기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항력: | 11μΩm |
| 굴곡 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 해안 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116W/mK(100kcal/mhr-℃) |
Carbon은 현재의 모든 에피택시 반응기에 서셉터와 흑연 구성 요소를 공급합니다. 당사의 포트폴리오에는 응용 및 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD 및 Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 응용 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다. SGL은 선도적인 OEM과의 강력한 파트너십, 재료 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 귀하의 용도에 맞는 최적의 디자인을 제안합니다.
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