VET Energy PECVD 로딩 트레이는 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정용으로 설계된 정밀 캐리어입니다. 고순도, 고밀도 흑연재료로 제작된 고품질 증착 흑연트레이입니다. 내열성, 내식성, 치수 안정성 및 기타 특성이 우수합니다. PECVD 공정을 위한 안정적인 캐리어 플랫폼을 제공하고 필름 증착의 균일성과 평탄성을 보장할 수 있습니다.
VET Energy PECVD 로딩 트레이는 반도체, 광전지, LED 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 예를 들어:
▪ 반도체: 실리콘 웨이퍼, 에피택시 웨이퍼 등 반도체 소재의 PECVD 공정.
▪ Photovoltaic: 태양전지 박막을 위한 PECVD 공정.
▪ LED: LED 칩용 PECVD 공정.
제품 장점
▪필름 품질 향상:균일한 필름 증착을 보장하고 필름 품질을 향상시킵니다.
▪장비 수명 연장:내식성이 뛰어나 PECVD 장비의 수명을 연장합니다.
▪생산 비용 절감:고품질 흑연 트레이는 불량률을 줄이고 생산 비용을 절감할 수 있습니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 테스트 표준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 부피 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 기공 크기 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/초 |
| 로크웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 특정 전기 저항률 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굴곡강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 압축강도 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 열팽창(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도율(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
고효율 태양전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며 G12 대형 웨이퍼 처리를 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계는 처리량을 크게 증가시켜 수율을 높이고 생산 비용을 낮춥니다.
| 목 | 유형 | 넘버 웨이퍼 캐리어 |
| PEVCD Grephite 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 흑연 보트 | 308 | |
| PEVCD Grephite 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그파이트 보트 | 280 |
