VET Energy PECVD 공정 흑연 웨이퍼 지지대는 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정용으로 설계된 핵심 소모품입니다. 이 제품은 고순도, 고밀도 흑연 재료로 만들어졌으며 우수한 내열성, 내식성, 치수 안정성 및 기타 특성을 갖추고 있어 PECVD 공정에 안정적인 지지 플랫폼을 제공하여 필름 증착의 균일성과 평탄성을 보장할 수 있습니다.
VET Energy 흑연 웨이퍼 지지대의 "흑연 지지" 설계는 웨이퍼를 효과적으로 지지할 수 있을 뿐만 아니라 고온, 고압 PECVD 환경에서 열 안정성을 제공하여 공정의 안정성을 보장합니다.
VET Energy PECVD 공정 흑연 웨이퍼 지지대는 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.
▪고순도:불순물 함량이 매우 낮고 필름 오염을 방지하여 필름 품질을 보장합니다.
▪고밀도:고밀도, 높은 기계적 강도는 고온 및 고압 PECVD 환경을 견딜 수 있습니다.
▪우수한 치수 안정성:공정의 안정성을 보장하기 위해 고온에서 작은 치수 변화가 발생합니다.
▪우수한 열 전도성:효과적으로 열을 전달하여 웨이퍼 과열을 방지합니다.
▪강한 내식성:다양한 부식성 가스 및 플라즈마에 의한 침식에 저항할 수 있습니다.
▪맞춤형 서비스:다양한 크기와 모양의 흑연 지지 테이블을 고객 요구에 따라 맞춤 제작할 수 있습니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 테스트 표준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 부피 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 기공 크기 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/초 |
| 로크웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 특정 전기 저항률 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굴곡강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 압축강도 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 열팽창(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도율(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
고효율 태양전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며 G12 대형 웨이퍼 처리를 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계는 처리량을 크게 증가시켜 수율을 높이고 생산 비용을 낮춥니다.
| 목 | 유형 | 넘버 웨이퍼 캐리어 |
| PEVCD Grephite 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 흑연 보트 | 308 | |
| PEVCD Grephite 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그파이트 보트 | 280 |
